离子束混合法制备Sm-Fe-N磁性薄膜 被引量：1

1

作者 孙树滋 王强 +4 位作者 张兆安 宋根宗 徐送宁 马腾才 宫泽祥 《大连理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第2期231-233,共3页

利用离子束混合方法在Ｓｍ质量分数为２０％的Ｓｍ－Ｆｅ多层薄膜中，当注入能量为６０ｋｅＶ的Ｎ离子时，成功地制备出Ｓｍ－Ｆｅ－Ｎ磁性薄膜．经透射电镜（ＴＥＭ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分析发现：当Ｎ离子的注入剂量为１×１... 利用离子束混合方法在Ｓｍ质量分数为２０％的Ｓｍ－Ｆｅ多层薄膜中，当注入能量为６０ｋｅＶ的Ｎ离子时，成功地制备出Ｓｍ－Ｆｅ－Ｎ磁性薄膜．经透射电镜（ＴＥＭ）和Ｘ射线衍射（ＸＲＤ）分析发现：当Ｎ离子的注入剂量为１×１０１７／ｃｍ２时，形成Ｓｍ２Ｆｅ１７Ｎｘ磁性薄膜；而Ｎ离子的注入剂量为２×１０１７／ｃｍ２时，Ｓｍ－Ｆｅ多层薄膜转变成非晶磁性薄膜，而且Ｓｍ２Ｆｅ１７Ｎｘ磁性薄膜和Ｓｍ－Ｆｅ－Ｎ非晶磁性薄膜的磁性（饱和磁性强度。 展开更多

关键词 离子注入 磁性薄膜 薄膜 离子束混合法 永磁体

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Sm─FeCo─N合金薄膜的磁性与微观结构 被引量：1

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作者 徐送宁 孙树滋 +1 位作者 史维东 马腾才 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1996年第5期538-540,共3页

采用离子注入方法制备Ｓｍ－ＦｅＭ－Ｎ磁性合金薄膜，研究少量Ｃｏ部分取代Ｆｅ对薄膜磁性能的影响，探索研究Ｓｍ－ＦｅＭ－Ｎ磁性材料的新途径．实验发现：Ｃｏ＋注入使样品的饱和磁化强度明显增加，Ｓｍ－ＦｅＣｏ－Ｎ薄膜的饱和磁... 采用离子注入方法制备Ｓｍ－ＦｅＭ－Ｎ磁性合金薄膜，研究少量Ｃｏ部分取代Ｆｅ对薄膜磁性能的影响，探索研究Ｓｍ－ＦｅＭ－Ｎ磁性材料的新途径．实验发现：Ｃｏ＋注入使样品的饱和磁化强度明显增加，Ｓｍ－ＦｅＣｏ－Ｎ薄膜的饱和磁化强度是Ｓｍ－Ｆｅ－Ｎ薄膜的１．６倍．经ＴＥＭ分析。 展开更多

关键词 离子注入 磁性合金 薄膜 微观结构 永磁材料

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Cu-Cr Cu-Ti双层薄膜离子束混合与其电阻和硬度性质

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作者 施立群 李梅林 +1 位作者 杨乃恒 孙树滋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第4期235-242,共8页

借助于透射电子显微镜(TEM)研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr^+和350keVXe^+注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行了测量。发现Cu-Cr双层混合,在10^(17)/cm^2Ar^+注入剂量时,TEM形貌图出现了沟纹... 借助于透射电子显微镜(TEM)研究了Cu-Cr、Cu-Ti双层离子束混合。分别用200keVAr^+和350keVXe^+注入Cu-Cr、Cu-Ti双层薄膜,对其混合后的表面硬度和电阻进行了测量。发现Cu-Cr双层混合,在10^(17)/cm^2Ar^+注入剂量时,TEM形貌图出现了沟纹,为一离子择优溅射效果,此时形成了单一的Cu基亚稳相固溶体,经200℃退火后,有孪晶生成,Cr沉淀析出,而Cu-Ti双层离子束混合有Cu_3Ti_2相生成,在400℃退火时生成了Cu_3Ti相。离子束混合的表面硬度和电阻都有了显著地增加。经100～400℃退火,其表面硬度和电阻的变化主要受退火前混合程度、热处理引起的相变及损伤程度的综合影响。 展开更多

关键词 离子束混合 CU-CR CU-TI 双层薄膜 表面硬度 电阻变化 混合程度 透射电子显微镜 注入剂量 硬度测量 碰撞级联

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离子注入金属的实验研究

4

作者 孙树滋 李杰 《东北工学院学报》 CSCD 1990年第3期279-282,共4页

介绍离子注入物理冶金及表面改性方面的研究成果。研究离子注入非晶合金、化合物形成、细化晶粒;离子注入改变金属表面性质的作用。进一步说明了离子注入不仅是一种理想的物理冶金方法,而且也是一种新的表面处理技术。

关键词 离子注入 金属表面处理 非晶合金

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Zr^+注入单晶Cu相形成结构的研究

5

作者 徐送宁 孙树滋 宋丹 《沈阳工业学院学报》 2002年第3期52-56,共5页

将 Zr+注入单晶 Cu中 ,注入能量为 60 ke V,注入剂量分别为 5× 1 0 16,1× 1 0 17,2× 1 0 17ion/cm2 .TEM分析表明 :在单晶 Cu中形成弥散相Cu5Zr和 Cu Zr,该相与原始单晶 Cu的晶面有共格关系 ,且弥散相 Cu5Zr和Cu Zr随注... 将 Zr+注入单晶 Cu中 ,注入能量为 60 ke V,注入剂量分别为 5× 1 0 16,1× 1 0 17,2× 1 0 17ion/cm2 .TEM分析表明 :在单晶 Cu中形成弥散相Cu5Zr和 Cu Zr,该相与原始单晶 Cu的晶面有共格关系 ,且弥散相 Cu5Zr和Cu Zr随注入剂量的增加而增多、变大 。 展开更多

关键词 离子注入 单晶铜 共格关系 表面硬度

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离子轰击温升测量误差分析

6

作者 赵云飞 孙树滋 赵旭华 《东北大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1994年第6期632-636,共5页

用非晶带温升晶化记录法和铂薄膜热电阻温度计分别测量了镀一层铝薄膜的非晶带在氩离子束轰击下引起的温升与轰击束流功率密度的关系．误差分析表明，薄膜温度计测量的系统误差小，但其方法误差很大；非晶记录法相比之下测量绝对误差较... 用非晶带温升晶化记录法和铂薄膜热电阻温度计分别测量了镀一层铝薄膜的非晶带在氩离子束轰击下引起的温升与轰击束流功率密度的关系．误差分析表明，薄膜温度计测量的系统误差小，但其方法误差很大；非晶记录法相比之下测量绝对误差较小．从热力学稳态能量守恒出发，给出了Ｐ－Ｔ关系式的近似表达式． 展开更多

关键词 离子轰击 薄膜 电阻 误差 温度 测量

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离子束混合技术制备低温导热减震器材料的研究

7

作者 徐送宁 孙树滋 马腾才 《新技术新工艺》 北大核心 2003年第1期44-45,共2页

采用离子束混合技术 ,将具有良好导热性能的金属 Ag沉积在具有良好减震性能的金属 Cu上 ,将 1 0 0 ke V的 Ar+ 注入 Ag-Cu基合金中 ,研究离子注入对 Ag-Cu基合金界面混合的影响。分析结果表明 :当 Ar+ 注入剂量达 1× 1 0 1 6 ion/ ... 采用离子束混合技术 ,将具有良好导热性能的金属 Ag沉积在具有良好减震性能的金属 Cu上 ,将 1 0 0 ke V的 Ar+ 注入 Ag-Cu基合金中 ,研究离子注入对 Ag-Cu基合金界面混合的影响。分析结果表明 :当 Ar+ 注入剂量达 1× 1 0 1 6 ion/ cm2 时 ,Ag与 Cu基合金界面出现明显的过渡层 ,界面实现原子级混合。利用该方法获得在低温时具有良好表面导热及减震性能的复合材料 ,并根据此原理 ,应用全方位离子注入增强沉积技术 。 展开更多

关键词 离子束混合 界面 复合材料 低温导热减震器

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N^+注入金属薄膜晶体生长的实验研究

8

作者 徐送宁 孙树滋 《沈阳工业学院学报》 1999年第4期26-29,共4页

研究沉积在相同异反衬底NaCl上的Ag、Au、Al三种金属薄膜，在N＋注入后晶体生长情况和N＋在薄膜中的分布情况．探讨晶体生长与注入条件的关系．

关键词 离子注入 注入剂量 衬底 晶体生长 金属薄膜

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离子束混合制备非晶Sm-Fe-Zr合金薄膜 被引量：1

9

作者 徐送宁 孙树滋 +1 位作者 宫泽祥 马腾才 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第1期107-109,共3页

采用离子束混合技术制备非晶Sm—Fe－Zr合金薄膜，在Sin的含量为x＝400，300，200m／g的Sm—Fe多层薄膜中，注入能量为60KeV，剂量为1×1017ion／cm2的Zr＋，研究非晶形成条件及合金薄膜的磁性能．实验发现：三种成分配比的样品在Z... 采用离子束混合技术制备非晶Sm—Fe－Zr合金薄膜，在Sin的含量为x＝400，300，200m／g的Sm—Fe多层薄膜中，注入能量为60KeV，剂量为1×1017ion／cm2的Zr＋，研究非晶形成条件及合金薄膜的磁性能．实验发现：三种成分配比的样品在Zr＋注入后磁性能皆发生明显的变化．X＝400mg／g样品没有形成非晶，其主相为SmFe5；x＝300，200mg／g样品形成非晶。 展开更多

关键词 离子束 磁性合金 薄膜 注入剂量

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N^+注入Ag薄膜晶体生长机制的研究

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作者 徐送宁 孙树滋 《沈阳工业学院学报》 2000年第1期8-11,共4页

采用离子注入方法在两种取向不同的 Na Cl衬底上制备 Ag单晶薄膜 ,研究离子注入引起晶粒长大、形成单晶体的过程 ,探讨离子注入

关键词 离子注入 银薄膜 氮离子 晶体生长机制 单晶体

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Monte Carlo计算枧模拟—离子注入双层薄膜中的浓度分布

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作者 施立群 杨乃恒 +1 位作者 李梅林 孙树滋 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第1期1-4,共4页

使用Monte Carlo方法模拟350keVXe^+注入Cu/Ti双层结构,研究界面所造成的离子浓度分布的不连续性,并讨论界面位置对浓度分布的影响。在模拟600keV Bi注入Al/Ti双层结构时,当考虑有界面势存在,则其理论值与实验值符合得更好。

关键词 浓度分布 MONTE Carlo 双层薄膜 不连续性 离子浓度 双层结构 界面结构 离子注入 表面改性 程序框架

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