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薄膜的表面修饰对气体敏感特性的影响￣①
1
作者 戴国瑞 管玉国 +5 位作者 焦伯恒 南金 孙太玺 朱勇 韩征 许秀来 《云南大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1997年第1期93-95,共3页
采用ＰＥＣＶＤ方法制备了氧化物簿膜，为了改善气体敏感特性，将几种元素覆盖于薄膜表面进行了表面修饰。
关键词 表面修饰 薄膜 氧化物半导体 气敏特性
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