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空心微球上Al-W多层涂层的制备与表征
1
作者
孙
书
兵
刘艳松
+4 位作者
何小珊
王锋
何智
兵
黄景林
刘磊
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第24期4297-4302,共6页
在惯性约束聚变研究中,高-低Z金属涂层对提高靶丸的性能具有重要的作用。本实验采用直流磁控溅射技术和驱动微球运动的倾斜旋转托盘与敲击装置,在GDP空心微球表面溅射了不同工作气压的Al-W多层涂层,利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM...
在惯性约束聚变研究中,高-低Z金属涂层对提高靶丸的性能具有重要的作用。本实验采用直流磁控溅射技术和驱动微球运动的倾斜旋转托盘与敲击装置,在GDP空心微球表面溅射了不同工作气压的Al-W多层涂层,利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)研究气压变化对多层涂层质量的影响规律。结果表明:多层涂层的厚度均匀性好,达90%以上,涂层均呈致密的柱状晶生长,残余应力小,涂层质量受工作气压影响显著。涂层结构的致密度随气压增大而下降,涂层的形貌与颗粒尺寸发生相应的变化,致使多层涂层的表面粗糙度随气压增大呈现出先减小后增大的变化趋势。当工作气压为0.5Pa时,Al-W涂层的综合性能最好,表面颗粒形貌为细小均匀的塔形,表面粗糙度值低至331.1nm,残余应力小。
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关键词
Al-W多层涂层
工作气压
壁厚均匀性
柱状晶
表面粗糙度
下载PDF
职称材料
敲击间隔对GDP微球表面Al涂层的影响
2
作者
孙
书
兵
何智
兵
+3 位作者
何小珊
李力
王锋
刘艳松
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第6期50-58,共9页
金属涂层作为惯性约束聚变空心微球的保护层,对提高靶丸的性能具有重要的作用。利用磁控溅射技术和旋转与敲击相结合的驱动方式,在辉光放电聚合物微球表面溅射铝涂层,探究改变敲击间隔时长对微球涂层的影响。利用X射线照相机、白光干涉...
金属涂层作为惯性约束聚变空心微球的保护层,对提高靶丸的性能具有重要的作用。利用磁控溅射技术和旋转与敲击相结合的驱动方式,在辉光放电聚合物微球表面溅射铝涂层,探究改变敲击间隔时长对微球涂层的影响。利用X射线照相机、白光干涉仪、扫描电镜和X射线衍射仪对微球铝涂层进行表征分析。结果表明:空心微球表面的铝涂层厚度为(2±0.1)μm,表面粗糙度控制在75 nm以下,涂层表面光滑、无裂缝,呈柱状晶生长,(111)晶面为择优取向晶面,试验重复性好。同时发现:敲击能有效改善微球涂层生长过程中的阴影效应,增加涂层的壁厚均匀性并影响微球涂层的表面粗糙度。当敲击间隔为15 s时,微球铝涂层的综合质量最佳,壁厚均匀性达93.5%,表面粗糙度为30.43 nm,优晶面的晶粒尺寸为13.66 nm。
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关键词
敲击间隔
微球
铝涂层
驱动方式
表面粗糙度
下载PDF
职称材料
题名
空心微球上Al-W多层涂层的制备与表征
1
作者
孙
书
兵
刘艳松
何小珊
王锋
何智
兵
黄景林
刘磊
机构
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
重庆交通大学材料科学与工程学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第24期4297-4302,共6页
基金
国家自然科学基金(51401194)
文摘
在惯性约束聚变研究中,高-低Z金属涂层对提高靶丸的性能具有重要的作用。本实验采用直流磁控溅射技术和驱动微球运动的倾斜旋转托盘与敲击装置,在GDP空心微球表面溅射了不同工作气压的Al-W多层涂层,利用扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、X射线衍射仪(XRD)研究气压变化对多层涂层质量的影响规律。结果表明:多层涂层的厚度均匀性好,达90%以上,涂层均呈致密的柱状晶生长,残余应力小,涂层质量受工作气压影响显著。涂层结构的致密度随气压增大而下降,涂层的形貌与颗粒尺寸发生相应的变化,致使多层涂层的表面粗糙度随气压增大呈现出先减小后增大的变化趋势。当工作气压为0.5Pa时,Al-W涂层的综合性能最好,表面颗粒形貌为细小均匀的塔形,表面粗糙度值低至331.1nm,残余应力小。
关键词
Al-W多层涂层
工作气压
壁厚均匀性
柱状晶
表面粗糙度
Keywords
Al-W multilayer coating
working pressure
uniformity of wall thickness
columnar crystal
surface roughness
分类号
TQ153.2 [化学工程—电化学工业]
下载PDF
职称材料
题名
敲击间隔对GDP微球表面Al涂层的影响
2
作者
孙
书
兵
何智
兵
何小珊
李力
王锋
刘艳松
机构
重庆交通大学材料科学与工程学院
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
重庆交通大学交通土建工程材料国家地方联合实验室
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第6期50-58,共9页
基金
国家自然科学基金(51401194)~~
文摘
金属涂层作为惯性约束聚变空心微球的保护层,对提高靶丸的性能具有重要的作用。利用磁控溅射技术和旋转与敲击相结合的驱动方式,在辉光放电聚合物微球表面溅射铝涂层,探究改变敲击间隔时长对微球涂层的影响。利用X射线照相机、白光干涉仪、扫描电镜和X射线衍射仪对微球铝涂层进行表征分析。结果表明:空心微球表面的铝涂层厚度为(2±0.1)μm,表面粗糙度控制在75 nm以下,涂层表面光滑、无裂缝,呈柱状晶生长,(111)晶面为择优取向晶面,试验重复性好。同时发现:敲击能有效改善微球涂层生长过程中的阴影效应,增加涂层的壁厚均匀性并影响微球涂层的表面粗糙度。当敲击间隔为15 s时,微球铝涂层的综合质量最佳,壁厚均匀性达93.5%,表面粗糙度为30.43 nm,优晶面的晶粒尺寸为13.66 nm。
关键词
敲击间隔
微球
铝涂层
驱动方式
表面粗糙度
Keywords
length of knocking interval
microsphere
aluminum coatings
driving modes
surface roughness
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
空心微球上Al-W多层涂层的制备与表征
孙
书
兵
刘艳松
何小珊
王锋
何智
兵
黄景林
刘磊
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
0
下载PDF
职称材料
2
敲击间隔对GDP微球表面Al涂层的影响
孙
书
兵
何智
兵
何小珊
李力
王锋
刘艳松
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
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参考文献
引证文献
统计分析
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