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基于干扰观测器的磁悬浮系统精确反馈线性化 被引量：4
1
作者 姜文雪 周凯 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期1067-1071,共5页
磁悬浮系统是开环不稳定的强非线性系统。为了提高机床磁悬浮系统的悬浮精度,该文结合反馈线性化方法和干扰观测器补偿对磁悬浮系统进行精确线性化。对磁悬浮系统反馈线性化误差进行了分析,建立了磁悬浮系统反馈线性化误差模型。设计了... 磁悬浮系统是开环不稳定的强非线性系统。为了提高机床磁悬浮系统的悬浮精度,该文结合反馈线性化方法和干扰观测器补偿对磁悬浮系统进行精确线性化。对磁悬浮系统反馈线性化误差进行了分析,建立了磁悬浮系统反馈线性化误差模型。设计了干扰观测器,并分析了干扰观测器对反馈线性化误差的补偿作用,最后进行了实验研究。研究表明:干扰观测器能够有效补偿反馈线性化误差,获得精确线性化模型。实验结果表明:磁悬浮进给系统的磁悬浮工作台实现了精确线性化,工作台悬浮精度大幅度提高,达到μm级精度。 展开更多
关键词 机床 磁悬浮 反馈线性化 干扰观测器
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基于ADAMS的伺服冲压线仿真方法 被引量：2
2
作者 姜文雪 吕言 +2 位作者 戈海龙 刘冰 成巍 《锻压技术》 CAS CSCD 北大核心 2019年第10期122-126,共5页
基于ADAMS的伺服冲压线仿真方法,实现伺服冲压线的整线运行仿真,为伺服冲压线的设计、制造及调试提供依据。首先,基于冲压线设备的实际运动曲线,采用样条型数据驱动运动部件,实现了设备的高精度运动仿真。在此基础上,通过将运动曲线的... 基于ADAMS的伺服冲压线仿真方法,实现伺服冲压线的整线运行仿真,为伺服冲压线的设计、制造及调试提供依据。首先,基于冲压线设备的实际运动曲线,采用样条型数据驱动运动部件,实现了设备的高精度运动仿真。在此基础上,通过将运动曲线的时间变量转换为与时间关联的循环变量,解决了设备的自动循环运动仿真问题。为了实现冲压线的运行时序仿真,设置设备的运动起始时间,并基于运动干涉检查调节各设备的运动起始时间,进而获得有效的整线运行时序。最后,采用所提方法,实现了一条汽车伺服冲压线的仿真,整线运行无运动干涉,满足生产节拍要求,验证了仿真方法的有效性。 展开更多
关键词 伺服冲压线 伺服压力机 运行时序 运动干涉检查 运动仿真
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CMP多区压力定量解耦协同控制 被引量：1
3
作者 门延武 张辉 +2 位作者 姜文雪 周凯 叶佩青 《清华大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期750-755,共6页
化学机械抛光(CMP)过程中由于柔性弹性隔膜的存在使得各区之间压力相互耦合,导致多区压力控制变得复杂化。该文提出了一种基于工作点线性化方法的离线辨识+定量耦合度分析+定量解耦控制的方案。利用工作点线性化方法,离线获得多区压力... 化学机械抛光(CMP)过程中由于柔性弹性隔膜的存在使得各区之间压力相互耦合,导致多区压力控制变得复杂化。该文提出了一种基于工作点线性化方法的离线辨识+定量耦合度分析+定量解耦控制的方案。利用工作点线性化方法,离线获得多区压力系统的3输入3输出模型;通过相对增益矩阵方法定量分析出各区之间的耦合程度;采用前馈补偿解耦控制器实现各区压力之间的定量解耦控制。仿真以及实验结果表明:该方案在工程实践中能够实现各区压力的定量解耦控制,使得系统在相同控制算法下获得更快的响应速度以及更小的超调量。 展开更多
关键词 化学机械抛光(CMP) 多输入多输出(MIMO) 定量解耦 相对增益矩阵
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