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基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究
1
作者 李翔 姜小蛟 +3 位作者 战春鸣 刘昂 孙宁 李加平 《真空》 CAS 2024年第4期6-11,共6页
晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以... 晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求。本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案,以温度均匀性为优化目标,获取最优设计方案。经不同方案验证,该模型的精度在98%以上,可显著提升加热盘设计效率,为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性。此外,基于传热学理论,提出了一种加热盘控温能力的设计方法,通过一维计算的方式,为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用。 展开更多
关键词 半导体 真空镀膜设备 晶圆加热盘 水冷 回归模型 控温能力
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基于状态空间的轮系功率流分析方法研究
2
作者 李胜甲 姜小蛟 +2 位作者 马雅丽 蒲大君 李灿灿 《机械设计与制造工程》 2022年第10期29-32,共4页
基于复杂轮系状态空间理论,提出了一种复杂行星轮系功率流分析的简便方法。首先将复杂轮系拆分成基本单元,通过对单元结合点进行分析,建立相应轮系的特征状态方程以及基本单元的连接约束方程;然后对轮系单元结合点进行特征状态向量分析... 基于复杂轮系状态空间理论,提出了一种复杂行星轮系功率流分析的简便方法。首先将复杂轮系拆分成基本单元,通过对单元结合点进行分析,建立相应轮系的特征状态方程以及基本单元的连接约束方程;然后对轮系单元结合点进行特征状态向量分析,根据轮系的实际情况确定结合点功率正负,判断功率流向;最后以某风机减速器为例,对其轮系的功率流进行分析,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 复杂轮系 功率流向 状态空间 单元结合点
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机械结构设计中的创新与优化探究
3
作者 姜小蛟 《装备维修技术》 2021年第2期216-217,共2页
机械结构设计对机械产品的实用性及可靠性有着较大的影响作用,也体现着我国机械制造水平的高低,在机械制造业的发展中占有重要地位。进行机械结构设计时,需要充分考虑到机械构件的尺寸、形状或位置及材料等各方面因素,而创新设计能够实... 机械结构设计对机械产品的实用性及可靠性有着较大的影响作用,也体现着我国机械制造水平的高低,在机械制造业的发展中占有重要地位。进行机械结构设计时,需要充分考虑到机械构件的尺寸、形状或位置及材料等各方面因素,而创新设计能够实现对传统机械结构设计的优化,使机械结构设计的整体水平得到提高,进而促进机械制造业的可持续发展。通过深入分析创新设计在机械结构设计中的运用,有利于发挥创新设计的运用价值,为机械结构设计业的发展提供有利支持。 展开更多
关键词 创新设计 机械结构设计 运用
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