对 Al Ga N/Ga N HEMT器件采用离子注入技术注入氦离子进行隔离 ,应用该技术制造出的器件在室温下具有很好的特性 .器件的阈值电压在 - 3V左右时 ,源漏间电流为几十 n A.肖特基势垒的反向漏电流在 - 1 0 V下约为几百 n A.与采用干法刻...对 Al Ga N/Ga N HEMT器件采用离子注入技术注入氦离子进行隔离 ,应用该技术制造出的器件在室温下具有很好的特性 .器件的阈值电压在 - 3V左右时 ,源漏间电流为几十 n A.肖特基势垒的反向漏电流在 - 1 0 V下约为几百 n A.与采用干法刻蚀技术进行隔离的器件相比 ,采用离子注入技术不但可以获得全平面化的 HEMTs器件而且还有效地抑制了场区漏电 .研究还表明氦离子注入的温度稳定性大于 70 0℃ .展开更多
采用全耗尽的 In Ga P材料在基区 Ga As表面形成钝化边 (passivation ledge)的方法 ,研制出了带钝化边的自对准 In Ga P/Ga As异质结双极晶体管 (HBT) .通过对不同尺寸、有无钝化边器件性能的比较得出 :钝化边对提高小尺寸器件的直流增...采用全耗尽的 In Ga P材料在基区 Ga As表面形成钝化边 (passivation ledge)的方法 ,研制出了带钝化边的自对准 In Ga P/Ga As异质结双极晶体管 (HBT) .通过对不同尺寸、有无钝化边器件性能的比较得出 :钝化边对提高小尺寸器件的直流增益有明显效果 ,对器件的高频特性无明显影响 .此外 ,钝化边的形成改善了所有实验器件的长期可靠性 .展开更多
文摘对 Al Ga N/Ga N HEMT器件采用离子注入技术注入氦离子进行隔离 ,应用该技术制造出的器件在室温下具有很好的特性 .器件的阈值电压在 - 3V左右时 ,源漏间电流为几十 n A.肖特基势垒的反向漏电流在 - 1 0 V下约为几百 n A.与采用干法刻蚀技术进行隔离的器件相比 ,采用离子注入技术不但可以获得全平面化的 HEMTs器件而且还有效地抑制了场区漏电 .研究还表明氦离子注入的温度稳定性大于 70 0℃ .
文摘采用全耗尽的 In Ga P材料在基区 Ga As表面形成钝化边 (passivation ledge)的方法 ,研制出了带钝化边的自对准 In Ga P/Ga As异质结双极晶体管 (HBT) .通过对不同尺寸、有无钝化边器件性能的比较得出 :钝化边对提高小尺寸器件的直流增益有明显效果 ,对器件的高频特性无明显影响 .此外 ,钝化边的形成改善了所有实验器件的长期可靠性 .