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结合多光束光学应力传感器与改进的Canny算法求曲率半径的方法研究 被引量：2
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作者 周陈昊 凌晓 +1 位作者 杨连乔 张建华 《电子测量与仪器学报》 CSCD 北大核心 2022年第7期82-90,共9页
利用多光束光学应力传感器(MOSS)求薄膜曲率需要测量出光束在反射前后的间距,根据相邻入射(折射)光束间距即可计算出薄膜的曲率半径。光束的间距可由接收到的光斑中心点确定。提取光斑的中心点主要利用Canny边缘检测算法和椭圆拟合算法... 利用多光束光学应力传感器(MOSS)求薄膜曲率需要测量出光束在反射前后的间距,根据相邻入射(折射)光束间距即可计算出薄膜的曲率半径。光束的间距可由接收到的光斑中心点确定。提取光斑的中心点主要利用Canny边缘检测算法和椭圆拟合算法。用CMOS传感器得到的光斑阵列图像,在光斑周围参杂有很大的椒盐噪声,对于传统的Canny算法,无法准确的检测出光斑的边缘。利用一种改进的Canny边缘检测算法,可有效的消除光斑周围的噪声,并较好的保留光斑边缘。最后利用椭圆拟合算法对边缘进行拟合,求得光斑阵列的所有中心点。实验最后选用标准件进行验证,用测得的间距算出曲率半径与实际进行对比,误差结果在2%~4%,证明该方法可行。 展开更多
关键词 光束间距 薄膜曲率 边缘检测 椭圆拟合
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