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超高真空粘附、摩擦实验装置的研制 被引量:1
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作者 戚震中 孙建三 +1 位作者 周芷 刘玲 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第3期185-188,共4页
本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。
关键词 摩擦性能 原位分析 粘附力 可动部件 残余气体 摩擦过程 真空度下降 接触电阻 测量系统 冷阴极
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