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题名集成现场标定功能的MEMS加速度传感器
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作者
吴迪东
董林玺
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机构
杭州电子科技大学电子信息学院
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出处
《杭州电子科技大学学报（自然科学版）》
2017年第5期12-16,50,共6页
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文摘
针对传统机械振动台标定MEMS加速度传感器设备比较复杂且不方便现场标定的情况,设计了一种集成现场标定功能的加速度传感器.采用电磁驱动原理,用通电导线上产生的安培力模拟传统机械振动台惯性力.给出了加速度传感器结构,用有限元仿真软件ANSYS分析了传感器的运动模态和灵敏度,实现了弹性系数以及标定特性的验证.结果表明,所设计的加速度传感器谐振频率为1 528.84Hz,静态位移灵敏度为0.109μm/g.该传感器驱动力矩较大,线性好,同时可实现现场传感器性能标定,具有较好的应用潜力.
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关键词
微机电系统
自标定
电容式传感器
电磁驱动
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Keywords
MEMS
self-calibration
capacitive sensor
electromagnetic drive
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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