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扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干技术问题
被引量:
2
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作者
谷坤明
汤皎宁
+1 位作者
李冀
吴
深
业
《物理实验》
2007年第2期11-15,共5页
扫描探针显微镜已经成为材料纳米摩擦学研究的主要工具之一,本文探讨了扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干测试技术问题,并用摩擦力显微镜对DLC薄膜的纳米摩擦学行为进行了研究.
关键词
纳米摩擦学
扫描探针显微镜
测试技术
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职称材料
题名
扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干技术问题
被引量:
2
1
作者
谷坤明
汤皎宁
李冀
吴
深
业
机构
深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室
深圳大学光电子研究所
出处
《物理实验》
2007年第2期11-15,共5页
基金
广东省自然科学基金资助(No.021286)
文摘
扫描探针显微镜已经成为材料纳米摩擦学研究的主要工具之一,本文探讨了扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干测试技术问题,并用摩擦力显微镜对DLC薄膜的纳米摩擦学行为进行了研究.
关键词
纳米摩擦学
扫描探针显微镜
测试技术
Keywords
nano-tribology
scanning probe microscope
measurement technique
分类号
TH742 [机械工程—光学工程]
O313.5 [机械工程—仪器科学与技术]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干技术问题
谷坤明
汤皎宁
李冀
吴
深
业
《物理实验》
2007
2
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