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提高(100)晶向磷化铟单晶的成晶率和质量的研究 被引量：6
1
作者 赵有文 段满龙 +5 位作者 孙文荣 杨子祥 焦景华 赵建群 曹慧梅 吕旭如 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第5期460-463,共4页
通过对高压液封直拉法单晶生长过程的热传输和影响熔体温度起伏的几个关键因素的分析,研究适合生长(100)晶向磷化铟单晶的热场系统,有效地降低了孪晶产生的几率,重复地生长出了整锭掺硫和掺铁的、直径为50mm和76mm的(100)磷化铟单晶。... 通过对高压液封直拉法单晶生长过程的热传输和影响熔体温度起伏的几个关键因素的分析,研究适合生长(100)晶向磷化铟单晶的热场系统,有效地降低了孪晶产生的几率,重复地生长出了整锭掺硫和掺铁的、直径为50mm和76mm的(100)磷化铟单晶。测试结果表明我们生长(100)磷化铟单晶的热场在生长过程中使晶锭保持较为平坦的固液界面,可稳定地获得具有低的缺陷密度和良好的电学均匀性的高质量磷化铟单晶材料。 展开更多
关键词 磷化铟 单晶 成晶率 质量 液封直拉法 孪晶 均匀性 固液界面 半导体材料
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高质量InAs单晶材料的制备及其性质 被引量：4
2
作者 赵有文 孙文荣 +4 位作者 段满龙 董志远 杨子祥 吕旭如 王应利 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第8期1391-1395,共5页
利用液封直拉法(LEC)生长了直径50mm〈100〉和〈111〉晶向的InAs单晶.分析研究了n型杂质Sn,S和p型杂质Zn,Mn的分凝特性、晶格硬化作用、掺杂效率等.利用X射线双晶衍射分析了晶体的完整性.对InAs晶片的抛光、化学腐蚀和清洗进行了分析,... 利用液封直拉法(LEC)生长了直径50mm〈100〉和〈111〉晶向的InAs单晶.分析研究了n型杂质Sn,S和p型杂质Zn,Mn的分凝特性、晶格硬化作用、掺杂效率等.利用X射线双晶衍射分析了晶体的完整性.对InAs晶片的抛光、化学腐蚀和清洗进行了分析,在此基础上实现了抛光晶片的开盒即用(EPI-READY). 展开更多
关键词 砷化铟 掺杂 抛光
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磷化铟单晶衬底的缺陷控制和高质量表面制备 被引量：2
3
作者 赵有文 董志远 +3 位作者 孙文荣 段满龙 杨子祥 吕旭如 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期2127-2133,共7页
分析研究了一些缺陷对InP单晶衬底的影响,包括团状结构位错的产生及其对晶格完整性的影响,坑状微缺陷、晶片抛光损伤和残留杂质的清洗腐蚀等.对这些缺陷的形成原因和抑制途径进行了分析.在此基础上获得了“开盒即用(EPI-READY)”、具有... 分析研究了一些缺陷对InP单晶衬底的影响,包括团状结构位错的产生及其对晶格完整性的影响,坑状微缺陷、晶片抛光损伤和残留杂质的清洗腐蚀等.对这些缺陷的形成原因和抑制途径进行了分析.在此基础上获得了“开盒即用(EPI-READY)”、具有良好晶格完整性、表面无损伤的InP单晶衬底抛光片. 展开更多
关键词 磷化铟 缺陷 衬底 抛光
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半绝缘磷化铟中与非化学配比有关的深能级缺陷(英文) 被引量：3
4
作者 赵有文 董志远 +4 位作者 段满龙 孙文荣 杨子祥 吕旭如 王应利 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期535-538,共4页
在不同的化学配比条件下制备了半绝缘磷化铟材料 ,其中包括配比和富铟熔体中的铁掺杂以及磷气氛和磷化铁气氛下高温退火非掺杂晶片。在这些半绝缘磷化铟材料中检测到了与非化学配比有关的深能级缺陷。通过对大量的原生掺铁和非掺退火半... 在不同的化学配比条件下制备了半绝缘磷化铟材料 ,其中包括配比和富铟熔体中的铁掺杂以及磷气氛和磷化铁气氛下高温退火非掺杂晶片。在这些半绝缘磷化铟材料中检测到了与非化学配比有关的深能级缺陷。通过对大量的原生掺铁和非掺退火半绝缘磷化铟材料中的缺陷的研究 ,发现原生深能级缺陷与材料的电学参数质量密切相关。迁移率低、热稳定性差的掺铁半绝缘磷化铟材料中有大量的能级位于 0 .1～ 0 .4eV之间的缺陷。高温退火非掺磷化铟抑制了这些缺陷的产生 ,获得了迁移率高、均匀性好的高质量半绝缘材料。根据这些结果 ,我们提出了一种通过控制化学配比制备高质量半绝缘磷化铟材料的方法。 展开更多
关键词 半绝缘磷化铟 深能级缺陷 磷化铁 高温退火非掺杂晶片 原生掺铁
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针对性护理用于雾化吸入激素治疗哮喘患儿中的价值研究
5
作者 吕旭如 《首都食品与医药》 2024年第6期137-139,共3页
目的研究雾化吸入激素治疗哮喘患儿护理中针对性护理的实施价值.方法纳入80例哮喘患儿,均实施雾化吸入激素治疗,时间为2021年9月-2023年9月,以随机数字表法进行分组,40例实施常规护理(对照组);40例实施针对性护理(研究组).对两组患者护... 目的研究雾化吸入激素治疗哮喘患儿护理中针对性护理的实施价值.方法纳入80例哮喘患儿,均实施雾化吸入激素治疗,时间为2021年9月-2023年9月,以随机数字表法进行分组,40例实施常规护理(对照组);40例实施针对性护理(研究组).对两组患者护理后临床指标、生活质量、依从性、不良反应发生率、满意度进行对比.结果两组临床指标比较,研究组时间更短(P<0.05);与对照组相比,研究组护理后生活质量较高,对比有意义(P<0.05);研究组依从性高于对照组(P<0.05);对照组不良反应发生率更高(P<0.05);研究组满意度高于对照组,组间差异有意义(P<0.05).结论针对性护理可以帮助患儿缩短症状消失时间,提升依从性,改善生活质量,对不良反应的抑制效果好,满意度高. 展开更多
关键词 雾化吸入激素治疗 哮喘 小儿 针对性护理 生活质量 依从性 不良反应
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