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850nm单模面发射分布反馈式激光器 被引量：1
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作者 李南果 刘灿 +6 位作者 张鹏斐 向敏文 汤宝 颜伟年 阚强 陆巧银 国伟华 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期93-104,共12页
介绍一种新型的850 nm单模面发射分布反馈激光器(SEDFB)。采用浅脊波导表面光栅结构提供足够的光反馈,采用含λ/4相移的二阶光栅在实现面发射的同时获得单纵模特性。采用方形氧化孔径构成无源分布布拉格反射镜(DBR)—有源分布式反馈区(D... 介绍一种新型的850 nm单模面发射分布反馈激光器(SEDFB)。采用浅脊波导表面光栅结构提供足够的光反馈,采用含λ/4相移的二阶光栅在实现面发射的同时获得单纵模特性。采用方形氧化孔径构成无源分布布拉格反射镜(DBR)—有源分布式反馈区(DFB)—无源DBR三段结构,从而减小电流注入的有源区体积,获得了与垂直腔面发射激光器(VCSEL)类似的低阈值特性。对于50μm有源区长度的SEDFB,其阈值电流为1.8 mA,当注入电流为6.5 mA时,SEDFB的边模抑制比(SMSR)高达47 dB。同时,该激光器在注入电流为9 mA的情况下获得了17 GHz的弛豫振荡频率。SEDFB实现了准圆形光斑的面发射输出,其远场光斑发散角的半峰全宽约为21°×26°。 展开更多
关键词 激光器 半导体激光器 面发射激光器 分布反馈激光器 表面光栅 阈值电流 单模
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