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基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术
被引量：
13
1
作者
叶
虹
呐
曹益平
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期224-228,共5页
相位测量轮廓术凭借其高精度、非接触的优点在现代生活中受到了极大的重视,但其应用却受到正弦光栅复杂制作工艺的限制。根据相位测量轮廓术的基本原理,提出了基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术。同正弦光栅相比,三角形分布光栅的制...
相位测量轮廓术凭借其高精度、非接触的优点在现代生活中受到了极大的重视,但其应用却受到正弦光栅复杂制作工艺的限制。根据相位测量轮廓术的基本原理,提出了基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术。同正弦光栅相比,三角形分布光栅的制作工艺相对简单,更具有实用意义。对这两种方法的精度进行了比较和分析,并分别在无噪声的理想情况和有噪声的实际情况下,分析了光栅周期、条纹对比度以及物体最大高度对测量精度的影响。通过计算机模拟与实验表明,基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术具有较高的精度和可行性。
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关键词
信息光学
光学三维传感
相位测量轮廓术
三角形分布条纹
光栅
相位展开
原文传递
题名
基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术
被引量：
13
1
作者
叶
虹
呐
曹益平
机构
四川大学光电科学技术系
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第11期224-228,共5页
基金
国家863计划(2007AA01Z333)
国家重大专项(2009ZX02204-008)
四川省学术和技术带头人培养基金(07GRC-01)资助课题
文摘
相位测量轮廓术凭借其高精度、非接触的优点在现代生活中受到了极大的重视,但其应用却受到正弦光栅复杂制作工艺的限制。根据相位测量轮廓术的基本原理,提出了基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术。同正弦光栅相比,三角形分布光栅的制作工艺相对简单,更具有实用意义。对这两种方法的精度进行了比较和分析,并分别在无噪声的理想情况和有噪声的实际情况下,分析了光栅周期、条纹对比度以及物体最大高度对测量精度的影响。通过计算机模拟与实验表明,基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术具有较高的精度和可行性。
关键词
信息光学
光学三维传感
相位测量轮廓术
三角形分布条纹
光栅
相位展开
Keywords
information optics
optical three-dimensional sensing
phase measuring profilometry
triangularpattern
grating
phase unwrapping
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于三角形分布光栅的相位测量轮廓术
叶
虹
呐
曹益平
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
13
原文传递
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参考文献
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