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提拉法单晶炉室与抽真空充气系统
被引量：
1
1
作者
高利强
原
洛
渭
《真空》
CAS
北大核心
2007年第5期52-54,共3页
炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构。然后根据...
炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构。然后根据压力的不同对炉室进行了分类。最后详细论述了抽真空充气系统的综合方法及工作原理。
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关键词
单晶炉
直拉法
炉室
真空与充气系统
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职称材料
双段式加热锗单晶生长设备的结构设计
2
作者
原
洛
渭
高利强
《电子工业专用设备》
2008年第2期11-14,共4页
锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料,锗单晶的生长广泛采用的是CZ(直拉)法,其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等。
关键词
锗单晶
双段式加热
单晶炉
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职称材料
题名
提拉法单晶炉室与抽真空充气系统
被引量：
1
1
作者
高利强
原
洛
渭
机构
西安理工大学
出处
《真空》
CAS
北大核心
2007年第5期52-54,共3页
文摘
炉室是单晶炉的中心环节,内置坩埚、晶体材料、加热系统和保温罩等。直拉法是在半导体领域中应用最广,产量最大的单晶制备方法。本文以提拉法单晶炉为例先介绍不同于其它设备的各种炉室结构、形状及原因,指出有关的附属结构。然后根据压力的不同对炉室进行了分类。最后详细论述了抽真空充气系统的综合方法及工作原理。
关键词
单晶炉
直拉法
炉室
真空与充气系统
Keywords
crystal growing furnace
CZ technique
furnace hearths evacuating
charging system
分类号
TB751 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
双段式加热锗单晶生长设备的结构设计
2
作者
原
洛
渭
高利强
机构
西安理工大学工厂
出处
《电子工业专用设备》
2008年第2期11-14,共4页
文摘
锗单晶和锗单晶片是重要的半导体材料,锗单晶的生长广泛采用的是CZ(直拉)法,其主要结构包括底座及立柱装置、下传动装置、主炉室、插板阀、副炉室、籽晶提升旋转机构、液压驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等。
关键词
锗单晶
双段式加热
单晶炉
Keywords
Single Crystal Germanium
double resistive heater
the single crystal growth furnace
分类号
TN806.9 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
提拉法单晶炉室与抽真空充气系统
高利强
原
洛
渭
《真空》
CAS
北大核心
2007
1
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职称材料
2
双段式加热锗单晶生长设备的结构设计
原
洛
渭
高利强
《电子工业专用设备》
2008
0
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职称材料
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