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溅射靶材用Cr20Ni80合金管材的微观组织与再结晶退火
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作者 段旭斌 吴宇宁 +5 位作者 袁志钟 王梦飞 卿海标 钟成铭 罗锐 程晓农 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 2022年第11期12-19,共8页
对溅射靶材用Cr20Ni80合金冷轧管材的微观组织和再结晶退火工艺进行了研究。首先观察了冷轧管材轴向与径向的微观组织变化;其次利用JMatPro计算了Cr20Ni80合金的相图,并设计了再结晶退火工艺;最后对冷轧管材进行了再结晶退火试验,表征... 对溅射靶材用Cr20Ni80合金冷轧管材的微观组织和再结晶退火工艺进行了研究。首先观察了冷轧管材轴向与径向的微观组织变化;其次利用JMatPro计算了Cr20Ni80合金的相图,并设计了再结晶退火工艺;最后对冷轧管材进行了再结晶退火试验,表征了退火后管材的微观组织、晶粒尺寸和硬度。结果表明,冷轧管材沿轴向均为拉长晶,且存在大量孪晶;管材沿径向的微观组织中晶粒尺寸因形变量的增大而减小;当再结晶退火温度为690℃时,冷轧管材试样已开始发生再结晶;790℃×30 min时,形变晶粒已完全再结晶,平均晶粒尺寸为24.1μm,为最优再结晶退火工艺;当退火温度进一步升高、保温时间进一步延长时,再结晶晶粒逐渐长大;试样的硬度随退火温度的升高而减小。 展开更多
关键词 溅射靶材 Cr20Ni80合金 再结晶退火 微观组织 硬度
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