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题名六自由度奈米测量机之量测系统组装及校正
被引量：1
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作者
沈金钟
觉文郁
吴家鸿
卢群中
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机构
虎尾科技大学自动化工程系
虎尾科技大学
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出处
《工具技术》
2011年第2期103-108,共6页
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文摘
介绍一个六自由度奈米级精度测量机台(行程为25mm×25mm)之量测系统的组装及系统的校正,此六自由度奈米测量机分为两部份,第一部分为利用五根压电致动器所组成的四自由度(Z、θx、θy、θz)补偿平台,用以补偿组装及加工误差。第二部份为利用V型导轨架构成之XY双轴滑轨平台,配合音圈马达之推动,使平台能达到XY轴向之定位移动。在本文中,除了报告量测系统的架设步骤及校正结果外,亦提出初步的控制结果。
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关键词
六自由度
扫描平台
测量系统
校正
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Keywords
six-degrees-of-freedom, scanning stage, nano-stage, measurement systems, calibration.
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分类号
TG803
[金属学及工艺—公差测量技术]
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