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能量场辅助激光诱导等离子体加工透明硬脆材料的研究现状及发展趋势
1
作者
江安娜
言兰
+5 位作者
王宁昌
姜峰
李卓
温秋玲
卢希
钊
黄辉
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期254-272,共19页
能量场辅助激光诱导等离子体加工技术是一种新兴的制造技术。基于传统的激光加工技术,通过引入热场、电场、磁场、化学场等能场进行创新,提高激光加工过程的可控性,不仅实现了透明硬脆材料纳米级甚至亚纳米级高精度制造,也有利于满足超...
能量场辅助激光诱导等离子体加工技术是一种新兴的制造技术。基于传统的激光加工技术,通过引入热场、电场、磁场、化学场等能场进行创新,提高激光加工过程的可控性,不仅实现了透明硬脆材料纳米级甚至亚纳米级高精度制造,也有利于满足超精密制造的高质量、低损伤要求。从热场、磁场、电场、化学场分别具体阐述了不同的能量场辅助对激光加工技术的影响,通过分析激光机理和能量场辅助机理总结热场、电场、磁场和化学场对激光加工中的热能、光能、动能和表面能的影响原理,并介绍了能量场辅助激光加工的设备及工艺方法,最后总结能量场辅助激光加工技术目前存在的不足及未来面临的挑战,为进一步发展多能场复合辅助激光诱导等离子体加工技术奠定基础。
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关键词
透明硬脆材料
电场辅助激光加工
磁场辅助激光加工
热场辅助激光加工
化学场辅助激光加工
原文传递
微射流水导改善加工激光能量分布
被引量:
5
2
作者
卢希
钊
江开勇
+1 位作者
姜峰
雷廷平
《应用激光》
CSCD
北大核心
2015年第2期230-235,共6页
微射流水导激光加工是利用Nd∶YAG激光在微射流击穿阈值中全反射传输作用于加工工件上,加工激光经过不同轴方向速度的微射流水导传输后以不同模式叠加,其加工峰值和能量分布得到改变。实验中,激光在微射流中分布峰值下降,光强分布均匀,...
微射流水导激光加工是利用Nd∶YAG激光在微射流击穿阈值中全反射传输作用于加工工件上,加工激光经过不同轴方向速度的微射流水导传输后以不同模式叠加,其加工峰值和能量分布得到改变。实验中,激光在微射流中分布峰值下降,光强分布均匀,加工效果相当于提高并展宽脉冲宽度,达到加工阈值。从理论上分析激光在微射流分布影响下能量分布变化,并模拟水导激光加工及波导传输机理,分析对于激光加工效率的影响。研究结果对进一步系统地提高改善微射流水导激光加工质量,尤其在以该加工方式参与的激光精密、超精密加工中,提高其应用范围有着重要参考价值。
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关键词
微射流水导激光
高斯分布
多模叠加
平顶分布
原文传递
《微机原理及接口技术》课程综合实践教学创新探索
被引量:
3
3
作者
卢希
钊
《创新创业理论研究与实践》
2020年第5期46-47,56,共3页
微机原理及接口技术是一门基础理论和需求紧密结合的工程科学课程。当前微机原理课堂教学中遇到一些困难,为使其适合新时代发展,增强虚拟实践实验(Proteus)与ARM,DSP与FPGA等内容的学习,使之整合成为一门基础与应用综合的课程无疑对于...
微机原理及接口技术是一门基础理论和需求紧密结合的工程科学课程。当前微机原理课堂教学中遇到一些困难,为使其适合新时代发展,增强虚拟实践实验(Proteus)与ARM,DSP与FPGA等内容的学习,使之整合成为一门基础与应用综合的课程无疑对于提升大学计算机素养,提高计算机基础理论知识应用的兴趣,使之成为一门基础理论和实验、应用综合的课堂。以期学生掌握计算机基本结构及运行基理并提高动手解决问题能力,能分析架构初步需求并提出解决方案。
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关键词
微机原理及接口技术
教学更新
虚拟实验
PROTEUS
原文传递
短脉冲红外激光诱导等离子体微刻蚀单晶高温高压金刚石
被引量:
3
4
作者
卢希
钊
陈嘉林
+2 位作者
温秋玲
陆静
姜峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期129-137,共9页
采用短脉冲激光诱导等离子体辅助加工技术加工金刚石微结构,研究短脉冲红外激光的光强、脉宽、重复频率、靶材与金刚石基片之间的距离等加工参数对金刚石的加工线宽、槽深以及加工效果的影响。当用脉冲宽度大于4 ns的激光作用在方向良...
采用短脉冲激光诱导等离子体辅助加工技术加工金刚石微结构,研究短脉冲红外激光的光强、脉宽、重复频率、靶材与金刚石基片之间的距离等加工参数对金刚石的加工线宽、槽深以及加工效果的影响。当用脉冲宽度大于4 ns的激光作用在方向良好的单晶金刚石上时,光热作用明显,诱导产生金属等离子团的能量密度达到一定阈值且复合短脉冲激光能量作用下,单晶金刚石表层温度迅速上升至600°C以上,此时金刚石表层产生了刻蚀微结构;当用脉冲宽度小于4 ns的激光轰击靶材表面时,短脉冲激光轰击靶材诱导金属等离子团,可实现背面溅射相关金属靶材,当等离子体密度达到微刻蚀阈值时也可实现金刚石背部刻蚀以及石墨化。短脉冲红外激光的脉宽、重复频率决定了沉积/刻蚀加工效果。本文研究表明短脉冲激光诱导等离子体辅助加工技术是一种新型可靠的金刚石微结构加工工艺。
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关键词
单晶金刚石
激光诱导等离子体
短脉冲红外激光
铜靶
石墨化
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职称材料
基于Petri网的光学专家系统体系结构设计的研究
5
作者
卢希
钊
王磊
+1 位作者
胡天林
黄元庆
《漳州师范学院学报(自然科学版)》
2007年第4期57-60,共4页
用Petri网本身表示知识,Petri网的标识来表示光学专家系统的内存工作区,达到以Petri网为工具描述整个专家系统的体系结构的目的,也使得Petri的并发运行过程可以规范刻画光学专家系统的并行推理过程.使得透镜组的设计可以规范化,将丰富...
用Petri网本身表示知识,Petri网的标识来表示光学专家系统的内存工作区,达到以Petri网为工具描述整个专家系统的体系结构的目的,也使得Petri的并发运行过程可以规范刻画光学专家系统的并行推理过程.使得透镜组的设计可以规范化,将丰富的镜头人工设计经验应用在人工智能专家系统上.通过Petri网知识分析论证能否保证该人工智能专家系统的鲁棒性.
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关键词
光学专家系统
透镜设计
PETRI网
知识表示
Petri网的并发运行
并行推理
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职称材料
多能场微射流水导激光加工研究发展概况
被引量:
10
6
作者
卢希
钊
江开勇
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2020年第3期26-39,共14页
微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分...
微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分布的同时实现去屑、冷却,使得其轴向加工质量、精度得到提高,并提高激光轴向加工能力.本文介绍并阐述了该加工装置及设备研发的若干关键因素:激光全反射入射角度的选择、光束质量、模式、聚焦位置及激光与水射流的耦合精度.对比了该技术与超短脉冲激光(飞秒激光)的加工特点.阐述了微射流水导激光适当控制激光加工热量,控制激光加工方向,适用于高质量大深径比(约10-100)的深孔、槽、缝的场合以及一些低k绝缘材质,硬质合金、SiC、GaAs、聚晶金刚石等材质的高附加值对象场合.
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关键词
微射流水导激光加工
耦合
全反射传输
加工质量
原文传递
短脉冲光纤激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片研究
7
作者
卢希
钊
颜丙功
江开勇
《电加工与模具》
2022年第4期53-56,共4页
薄盖玻片由于强度低、透明度好、光学性能影响小的优点在图像、光电、生物等传感器中大量应用,激光诱导等离子体辅助加工技术因能对薄透材质有效间接加工成为了一种新选择。基于激光诱导等离子体辅助加工技术加工薄盖玻片的机理,研究了...
薄盖玻片由于强度低、透明度好、光学性能影响小的优点在图像、光电、生物等传感器中大量应用,激光诱导等离子体辅助加工技术因能对薄透材质有效间接加工成为了一种新选择。基于激光诱导等离子体辅助加工技术加工薄盖玻片的机理,研究了激光能量密度、扫描速度、加工距离等参数对加工效果的影响规律,为下一代薄透介质的研究应用提供参考。
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关键词
激光诱导等离子体辅助加工
薄盖玻片
能量密度
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职称材料
题名
能量场辅助激光诱导等离子体加工透明硬脆材料的研究现状及发展趋势
1
作者
江安娜
言兰
王宁昌
姜峰
李卓
温秋玲
卢希
钊
黄辉
机构
华侨大学机电及自动化学院
脆性材料产品智能制造技术国家地方联合工程研究中心
高性能工具全国重点实验室(郑州磨料磨具磨削研究所有限公司)
华侨大学制造工程研究院
高性能工具全国重点实验室(华侨大学)
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第9期254-272,共19页
基金
国家重点研发计划资助项目(2023YFB3407200)。
文摘
能量场辅助激光诱导等离子体加工技术是一种新兴的制造技术。基于传统的激光加工技术,通过引入热场、电场、磁场、化学场等能场进行创新,提高激光加工过程的可控性,不仅实现了透明硬脆材料纳米级甚至亚纳米级高精度制造,也有利于满足超精密制造的高质量、低损伤要求。从热场、磁场、电场、化学场分别具体阐述了不同的能量场辅助对激光加工技术的影响,通过分析激光机理和能量场辅助机理总结热场、电场、磁场和化学场对激光加工中的热能、光能、动能和表面能的影响原理,并介绍了能量场辅助激光加工的设备及工艺方法,最后总结能量场辅助激光加工技术目前存在的不足及未来面临的挑战,为进一步发展多能场复合辅助激光诱导等离子体加工技术奠定基础。
关键词
透明硬脆材料
电场辅助激光加工
磁场辅助激光加工
热场辅助激光加工
化学场辅助激光加工
Keywords
transparent hard brittle materials
electric field assisted laser processing
magnetic field assisted laser processing
thermal field assisted laser processing
chemical field assisted laser processing
分类号
V261 [航空宇航科学与技术—航空宇航制造工程]
TB321 [一般工业技术—材料科学与工程]
原文传递
题名
微射流水导改善加工激光能量分布
被引量:
5
2
作者
卢希
钊
江开勇
姜峰
雷廷平
机构
华侨大学机电及自动化学院
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2015年第2期230-235,共6页
基金
国家自然科学面上基金资助项目(项目编号:51475173
5117904)
文摘
微射流水导激光加工是利用Nd∶YAG激光在微射流击穿阈值中全反射传输作用于加工工件上,加工激光经过不同轴方向速度的微射流水导传输后以不同模式叠加,其加工峰值和能量分布得到改变。实验中,激光在微射流中分布峰值下降,光强分布均匀,加工效果相当于提高并展宽脉冲宽度,达到加工阈值。从理论上分析激光在微射流分布影响下能量分布变化,并模拟水导激光加工及波导传输机理,分析对于激光加工效率的影响。研究结果对进一步系统地提高改善微射流水导激光加工质量,尤其在以该加工方式参与的激光精密、超精密加工中,提高其应用范围有着重要参考价值。
关键词
微射流水导激光
高斯分布
多模叠加
平顶分布
Keywords
laser micro-jet
flatten uniform distribution
multi-model laser superiposing
phase stacking
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
《微机原理及接口技术》课程综合实践教学创新探索
被引量:
3
3
作者
卢希
钊
机构
华侨大学机电自动化学院
出处
《创新创业理论研究与实践》
2020年第5期46-47,56,共3页
基金
福建省本科高校教育教学改革研究项目,新工科建设中的研究生课程体系建设(项目编号:FBJG20180046)
华侨大学教育改革项目,常识和专识系统有机融合的专业课教学新体系建设(项目编号:19JFJXGZ14)
文摘
微机原理及接口技术是一门基础理论和需求紧密结合的工程科学课程。当前微机原理课堂教学中遇到一些困难,为使其适合新时代发展,增强虚拟实践实验(Proteus)与ARM,DSP与FPGA等内容的学习,使之整合成为一门基础与应用综合的课程无疑对于提升大学计算机素养,提高计算机基础理论知识应用的兴趣,使之成为一门基础理论和实验、应用综合的课堂。以期学生掌握计算机基本结构及运行基理并提高动手解决问题能力,能分析架构初步需求并提出解决方案。
关键词
微机原理及接口技术
教学更新
虚拟实验
PROTEUS
Keywords
Microprocessor principle and interface Technology
Update class
Virtual reality
Proteus
分类号
TP368.1-4 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
原文传递
题名
短脉冲红外激光诱导等离子体微刻蚀单晶高温高压金刚石
被引量:
3
4
作者
卢希
钊
陈嘉林
温秋玲
陆静
姜峰
机构
华侨大学机电及自动化学院
华侨大学制造工程研究院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021年第6期129-137,共9页
基金
国家自然科学基金(No.51835004)
福建省自然科学面上基金(No.2019J01059)。
文摘
采用短脉冲激光诱导等离子体辅助加工技术加工金刚石微结构,研究短脉冲红外激光的光强、脉宽、重复频率、靶材与金刚石基片之间的距离等加工参数对金刚石的加工线宽、槽深以及加工效果的影响。当用脉冲宽度大于4 ns的激光作用在方向良好的单晶金刚石上时,光热作用明显,诱导产生金属等离子团的能量密度达到一定阈值且复合短脉冲激光能量作用下,单晶金刚石表层温度迅速上升至600°C以上,此时金刚石表层产生了刻蚀微结构;当用脉冲宽度小于4 ns的激光轰击靶材表面时,短脉冲激光轰击靶材诱导金属等离子团,可实现背面溅射相关金属靶材,当等离子体密度达到微刻蚀阈值时也可实现金刚石背部刻蚀以及石墨化。短脉冲红外激光的脉宽、重复频率决定了沉积/刻蚀加工效果。本文研究表明短脉冲激光诱导等离子体辅助加工技术是一种新型可靠的金刚石微结构加工工艺。
关键词
单晶金刚石
激光诱导等离子体
短脉冲红外激光
铜靶
石墨化
Keywords
Single crystal diamond
Laser induced plasma
Short pulse infrared laser
Copper target
Graphitization
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于Petri网的光学专家系统体系结构设计的研究
5
作者
卢希
钊
王磊
胡天林
黄元庆
机构
厦门大学机电工程系
出处
《漳州师范学院学报(自然科学版)》
2007年第4期57-60,共4页
基金
福建省自然科学基金资助项目(A0210007)
文摘
用Petri网本身表示知识,Petri网的标识来表示光学专家系统的内存工作区,达到以Petri网为工具描述整个专家系统的体系结构的目的,也使得Petri的并发运行过程可以规范刻画光学专家系统的并行推理过程.使得透镜组的设计可以规范化,将丰富的镜头人工设计经验应用在人工智能专家系统上.通过Petri网知识分析论证能否保证该人工智能专家系统的鲁棒性.
关键词
光学专家系统
透镜设计
PETRI网
知识表示
Petri网的并发运行
并行推理
Keywords
Optical Expert Systems (OESs)
Design of Lens
Petri Nets
the Expression of Knowledge
Concurrent Operation Process of Petri Nets
Concurrent Reasoning
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
多能场微射流水导激光加工研究发展概况
被引量:
10
6
作者
卢希
钊
江开勇
机构
华侨大学机电及自动化学院
厦门大学电子科学与技术学院
华侨大学福建省特种能场制造重点实验室
出处
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2020年第3期26-39,共14页
基金
国家自然科学基金(编号:51575198)
福建省重点实验室开放基金(编号:2016JZA002)资助项目
文摘
微射流水导激光加工属于一种多能场复合激光加工技术.该技术利用加工激光耦合稳定压力微射流,改变激光能量分布为平顶高斯光束,并对加工断面进行冷却、冲刷.稳定的小流量压力去离子水射流导引激光柔性延伸加工焦点,改善加工激光能量分布的同时实现去屑、冷却,使得其轴向加工质量、精度得到提高,并提高激光轴向加工能力.本文介绍并阐述了该加工装置及设备研发的若干关键因素:激光全反射入射角度的选择、光束质量、模式、聚焦位置及激光与水射流的耦合精度.对比了该技术与超短脉冲激光(飞秒激光)的加工特点.阐述了微射流水导激光适当控制激光加工热量,控制激光加工方向,适用于高质量大深径比(约10-100)的深孔、槽、缝的场合以及一些低k绝缘材质,硬质合金、SiC、GaAs、聚晶金刚石等材质的高附加值对象场合.
关键词
微射流水导激光加工
耦合
全反射传输
加工质量
Keywords
laser microjet
coupling
inter total reflect
micro-processing quality
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
短脉冲光纤激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片研究
7
作者
卢希
钊
颜丙功
江开勇
机构
华侨大学机电及自动化学院
厦门大学机电工程系
福建省特种能场制造重点实验室
出处
《电加工与模具》
2022年第4期53-56,共4页
基金
福建省自然科学面上基金项目(2019J01059)。
文摘
薄盖玻片由于强度低、透明度好、光学性能影响小的优点在图像、光电、生物等传感器中大量应用,激光诱导等离子体辅助加工技术因能对薄透材质有效间接加工成为了一种新选择。基于激光诱导等离子体辅助加工技术加工薄盖玻片的机理,研究了激光能量密度、扫描速度、加工距离等参数对加工效果的影响规律,为下一代薄透介质的研究应用提供参考。
关键词
激光诱导等离子体辅助加工
薄盖玻片
能量密度
Keywords
laser induced plasma assisted ablation
coverslip
energy density
分类号
TG665 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
能量场辅助激光诱导等离子体加工透明硬脆材料的研究现状及发展趋势
江安娜
言兰
王宁昌
姜峰
李卓
温秋玲
卢希
钊
黄辉
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
原文传递
2
微射流水导改善加工激光能量分布
卢希
钊
江开勇
姜峰
雷廷平
《应用激光》
CSCD
北大核心
2015
5
原文传递
3
《微机原理及接口技术》课程综合实践教学创新探索
卢希
钊
《创新创业理论研究与实践》
2020
3
原文传递
4
短脉冲红外激光诱导等离子体微刻蚀单晶高温高压金刚石
卢希
钊
陈嘉林
温秋玲
陆静
姜峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2021
3
下载PDF
职称材料
5
基于Petri网的光学专家系统体系结构设计的研究
卢希
钊
王磊
胡天林
黄元庆
《漳州师范学院学报(自然科学版)》
2007
0
下载PDF
职称材料
6
多能场微射流水导激光加工研究发展概况
卢希
钊
江开勇
《中国科学:物理学、力学、天文学》
CSCD
北大核心
2020
10
原文传递
7
短脉冲光纤激光诱导等离子体辅助加工薄盖玻片研究
卢希
钊
颜丙功
江开勇
《电加工与模具》
2022
0
下载PDF
职称材料
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