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基于电化学研磨的SPM钨探针制备方法研究 被引量：14
1
作者 黄强先 高桥健 初泽毅 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期258-263,266,共7页
钨探针是扫描隧道显微镜(STM)常用探针之一。为了将钨探针应用于扫描探针显微镜(SPM),根据钨探针的受力,通 过理论分析确定了钨探针的理想轮廓:钨探针的直径变化应具有指数曲线。为了获得指数曲线轮廓、尖锐测头等良好特性的 钨探针,分... 钨探针是扫描隧道显微镜(STM)常用探针之一。为了将钨探针应用于扫描探针显微镜(SPM),根据钨探针的受力,通 过理论分析确定了钨探针的理想轮廓:钨探针的直径变化应具有指数曲线。为了获得指数曲线轮廓、尖锐测头等良好特性的 钨探针,分别提出并研究了改进的钨探针液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法。通过这两种电化学研磨法获得的 探针以及通过传统的交流电化学研磨法获得的钨探针,分别在探针的形状、探针尖端曲率半径、表面质量、研磨速度、可复现 性等多个方面进行了观察和比较。通过实验发现,除了研磨速度外,改进的液面直流电化学研磨法和薄膜直流电化学研磨法 在其他各方面都优于交流电化学研磨法。 展开更多
关键词 探针制备 指数曲线 研磨法 观察 直流电 方法研究 实验 电化学 薄膜 液面
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表面轮廓测定用扫描探针测头研究 被引量：6
2
作者 黄强先 高桥健 初泽毅 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期213-217,共5页
利用压电聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinilidene fluoride)薄膜和压电微音叉(Micro-fork),分别与钨探针结合,构成了三种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与x-y压电工作台结合,采用与TM-AFM(Tapping mode atomic force microscope)相同的工... 利用压电聚偏氟乙烯(PVDF,Polyvinilidene fluoride)薄膜和压电微音叉(Micro-fork),分别与钨探针结合,构成了三种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头与x-y压电工作台结合,采用与TM-AFM(Tapping mode atomic force microscope)相同的工作原理,构成了扫描探针显微镜。分别介绍了这些测头的构成及特点,给出了所构成测量系统所获得的试验结果,证明了这几种新型扫描测头的有效性。 展开更多
关键词 聚偏氟乙烯 微音叉 扫描探针 测头 扫描探针显微镜
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