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真空共晶技术的研究应用 被引量：25
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作者 谢飞 刘美钥 《电子工艺技术》 2006年第6期344-347,共4页
共晶焊是微电子组装中的一种重要的焊接工艺,在混合集成工艺技术中有着重要的地位。对共晶的概念以及原理进行了介绍,通过比较传统的镊子共晶与真空共晶,对真空共晶工艺的优越性进行了介绍,并分析了真空共晶焊接的工艺原理和工艺过程,... 共晶焊是微电子组装中的一种重要的焊接工艺,在混合集成工艺技术中有着重要的地位。对共晶的概念以及原理进行了介绍,通过比较传统的镊子共晶与真空共晶,对真空共晶工艺的优越性进行了介绍,并分析了真空共晶焊接的工艺原理和工艺过程,对真空共晶的质量影响因素进行了讨论,提出并且论证了提高共晶质量的措施。还针对共晶过程中缺陷的出现原因进行了讨论。通过实验证明了真空共晶的可行性,并且得到了良好的共晶效果。 展开更多
关键词 真空 共晶 氧化 缺陷
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