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土壤重金属铬元素的激光诱导击穿光谱定量分析研究 被引量:47
1
作者 鲁翠萍 文清 +4 位作者 赵南京 陈东 张玉钧 建国 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期388-392,共5页
利用Nd:YAG脉冲激光器(波长:1064nm)作为光源,在实验室自然大气环境下诱导产生土壤激光等离子体,通过等离子体原子发射光谱法定量分析了国家标准土壤样品中元素Cr的含量.实验上研究了在最佳实验条件下土壤中Cr的LIBS分析谱线,测定了Cr... 利用Nd:YAG脉冲激光器(波长:1064nm)作为光源,在实验室自然大气环境下诱导产生土壤激光等离子体,通过等离子体原子发射光谱法定量分析了国家标准土壤样品中元素Cr的含量.实验上研究了在最佳实验条件下土壤中Cr的LIBS分析谱线,测定了Cr元素的定标曲线.实验结果表明,Cr元素浓度在(60—400)×10-6范围内,元素含量与光谱线强度之间有较好的线性关系;元素Cr浓度分析测量的相对标准偏差(RSD)为7.89%,定量分析结果与标准值的相对偏差为5.3%,Cr元素的检测限为16.5×10-6;内标法得到的相对偏差为2.7%,说明内标法可提高测量的精确性;利用相同土壤类型做定标曲线得到的定量分析结果的相对偏差为8%. 展开更多
关键词 土壤污染 定量分析 激光诱导击穿光谱 定标曲线
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石墨富集方式下水中痕量元素铅的激光诱导击穿光谱测量 被引量:23
2
作者 王春龙 建国 +8 位作者 赵南京 石焕 鲁翠萍 马明俊 章炜 陈东 张玉钧 文清 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第11期246-250,共5页
利用中心波长为1064nm的Nd∶YAG脉冲激光器作为激发光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和增强型电荷耦合器件为谱线分离与探测器件,在石墨富集的方式下测量并分析了水中铅元素的激光诱导击穿光谱特性。实验中以铅的405.78nm... 利用中心波长为1064nm的Nd∶YAG脉冲激光器作为激发光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和增强型电荷耦合器件为谱线分离与探测器件,在石墨富集的方式下测量并分析了水中铅元素的激光诱导击穿光谱特性。实验中以铅的405.78nm特征谱线作为分析线,研究了水中铅元素的时间衰减特性,确定了最佳延迟测量时间为900ns,门控测量宽度为1600ns,通过对不同浓度的含铅样品进行测量,给出了铅元素的标定曲线,并计算得到铅元素质量浓度的检测限约为0.0665mg/L。以碳为内标元素有效地消除光谱不稳定性对分析结果的影响,提高了被分析元素的检测限和稳定性。 展开更多
关键词 光谱学 激光诱导击穿光谱 水污染 重金属 石墨
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应用激光诱导击穿光谱测量水体中痕量重金属锌 被引量:20
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作者 石焕 赵南京 +7 位作者 王春龙 鲁翠萍 陈东 马明俊 张玉钧 建国 文清 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2012年第1期141-145,共5页
利用激光诱导击穿光谱(LIBS)对水体中痕量重金属锌进行定性及定量分析,以1064nm波长Nd…YAG脉冲激光为激发光源,采用高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和增强型电荷耦合器件(ICCD)为谱线分离与探测器件,以锌(Zn:481.1nm)特征谱线作... 利用激光诱导击穿光谱(LIBS)对水体中痕量重金属锌进行定性及定量分析,以1064nm波长Nd…YAG脉冲激光为激发光源,采用高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和增强型电荷耦合器件(ICCD)为谱线分离与探测器件,以锌(Zn:481.1nm)特征谱线作为分析线,测定不同浓度下的特征谱线强度。实验中以固体圆饼状石墨块为样品基体进行元素富集,滴定固定量的已知不同浓度的氯化锌溶液于基体表面固定区域,烘干并制备实验待测样品。结果表明,锌的最佳探测延迟时间为1100ns,元素谱线强度随着样品浓度的增加而增大并在较低浓度下呈线性关系,得到水体中锌元素的痕量检测限4.108mg/L。研究结果为进一步开展水体痕量重金属的激光诱导击穿光谱测量提供了方法。 展开更多
关键词 光谱学 光谱分析 激光诱导击穿光谱 水污染检测 重金属 定量分析
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土壤中铜元素的激光诱导击穿光谱测量分析 被引量:14
4
作者 鲁翠萍 文清 +4 位作者 赵南京 陈东 张玉钧 建国 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期3132-3135,共4页
利用Nd:YAG脉冲激光器(1064nm)作为光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和ICCD为谱线分离与探测器件,测量并分析了土壤中铜元素激光诱导击穿光谱特性。以铜的327.396nm特征谱线作为分析线,在同一浓度下,固定探测器门宽,通过调... 利用Nd:YAG脉冲激光器(1064nm)作为光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和ICCD为谱线分离与探测器件,测量并分析了土壤中铜元素激光诱导击穿光谱特性。以铜的327.396nm特征谱线作为分析线,在同一浓度下,固定探测器门宽,通过调节延迟时间,得到铜元素的衰变特性,确定了铜元素的最佳延迟时间为1.1μs。测定不同铜浓度下的特征谱线强度,表明在低浓度下,谱线强度随浓度的增加而增大。文章给出了铜元素的定标曲线,并计算得到铜元素的检测限为13.36μg·g-1。 展开更多
关键词 土壤污染 重金属 激光诱导击穿光谱 激光等离子体
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激光能量及重复频率对土壤等离子体特性的影响 被引量:13
5
作者 鲁翠萍 文清(指导) +4 位作者 赵南京 陈东 张玉钧 建国 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期249-252,共4页
利用波长为1064 nm的Nd∶YAG脉冲激光器作光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和增强型电荷耦合器件(ICCD)作为谱线分离与探测器件,测量并分析了激光能量及重复频率对土壤中铅元素激光诱导击穿光谱特性的影响。实验结果表明... 利用波长为1064 nm的Nd∶YAG脉冲激光器作光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和增强型电荷耦合器件(ICCD)作为谱线分离与探测器件,测量并分析了激光能量及重复频率对土壤中铅元素激光诱导击穿光谱特性的影响。实验结果表明,随着激光脉冲能量(在25~105 mJ范围内)增加,谱线强度呈线性增加,随后谱线强度随脉冲能量(105~165 mJ)的变化呈非线性关系。信背比随激光能量的增加而增大,但激光能量超过60 mJ后基本上不变。激光重复频率为1 Hz时,谱线强度最大,而谱线强度的相对标准偏差则在重复频率为7 Hz时最小。 展开更多
关键词 光谱学 激光诱导击穿光谱 激光能量 重复频率
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土壤中铅元素的激光诱导击穿光谱测量分析 被引量:13
6
作者 鲁翠萍 文清(指导) +4 位作者 赵南京 陈东 张玉钧 建国 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2011年第5期121-124,共4页
利用Nd∶YAG脉冲激光器(波长:1064 nm)作光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和ICCD为谱线分离与探测器件,测量并分析土壤中铅元素的激光诱导击穿光谱(LIBS)特性。以铅的(Pb:405.78 nm)特征谱线作为分析线,测定不同铅... 利用Nd∶YAG脉冲激光器(波长:1064 nm)作光源,以高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和ICCD为谱线分离与探测器件,测量并分析土壤中铅元素的激光诱导击穿光谱(LIBS)特性。以铅的(Pb:405.78 nm)特征谱线作为分析线,测定不同铅浓度下的特征谱线强度。结果表明铅的质量分数在40×10-6~1350×10-6范围内,谱线强度随浓度的增加而增加。给出铅元素的定标曲线,并计算得到铅元素的检测限约为25.82×10-6质量分数。LIBS测量值与X射线荧光光谱(XRF)测量值的相对误差最大值为8%。 展开更多
关键词 光谱学 激光诱导击穿光谱 土壤污染 重金属 定量分析
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可调谐二极管激光吸收光谱诊断技术:原理和应用 被引量:10
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作者 余西龙 曾徽 +3 位作者 林鑫 李飞 张少华 《气体物理》 2016年第5期52-63,共12页
可调谐二极管激光吸收光谱技术是一种非接触的光谱诊断技术,已经广泛应用于高温气动研究中.文章对吸收光谱的发展和应用于高温反应环境温度和组分浓度的测量进行了回顾.对不同的吸收测量策略以及相应的系统组成进行了详细介绍,最后介绍... 可调谐二极管激光吸收光谱技术是一种非接触的光谱诊断技术,已经广泛应用于高温气动研究中.文章对吸收光谱的发展和应用于高温反应环境温度和组分浓度的测量进行了回顾.对不同的吸收测量策略以及相应的系统组成进行了详细介绍,最后介绍了应用吸收光谱技术研究超声速燃烧火星再入以及空间推进系统的详细结果. 展开更多
关键词 可调谐激光吸收光谱 激光诊断 温度 组分浓度 化学反应流
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水体痕量重金属Ni的激光诱导击穿光谱测量研究 被引量:9
8
作者 石焕 赵南京 +7 位作者 王春龙 鲁翠萍 陈东 马明俊 张玉钧 建国 文清 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期25-28,共4页
以1 064nm波长Nd∶YAG脉冲激光为激发光源,采用高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和ICCD为谱线分离与探测器件,实验研究了水体中痕量镍元素的激光诱导等离子体光谱发射特性和检测限;为了延长水体中金属元素的激光等离子体光谱发射... 以1 064nm波长Nd∶YAG脉冲激光为激发光源,采用高分辨率、宽光谱段的中阶梯光栅光谱仪和ICCD为谱线分离与探测器件,实验研究了水体中痕量镍元素的激光诱导等离子体光谱发射特性和检测限;为了延长水体中金属元素的激光等离子体光谱发射时间、提高光谱检测灵敏度并减小ns激光作用下水滴溅射的影响,实验中以固体圆饼状石墨块为样品基体进行元素富集,通过在基体表面固定区域滴定固定量的已知不同浓度的硝酸镍溶液,烘干并制备待测样品。研究表明,镍的最佳探测延迟时间在700ns左右,元素谱线强度随着样品浓度的增加而增大并在较低浓度下呈现良好的线性关系,计算得到水体中Ni元素的痕量检测限为0.28,研究结果为进一步开展水体痕量重金属的激光诱导击穿光谱测量提供了方法。 展开更多
关键词 激光诱导击穿光谱 重金属 石墨 水污染检测
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湿度对激光诱导土壤等离子体特性的影响 被引量:7
9
作者 鲁翠萍 文清 +4 位作者 赵南京 陈东 张玉钧 建国 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2885-2888,共4页
为研究土壤湿度对激光等离子体的影响,通过制备六种不同湿度的土壤样品进行实验,选取铅的特征谱线(Pb:405.78nm)为分析线。实验结果表明,随着土壤湿度的增加,谱线的强度、信噪比及RSD线性减小。在局部热力学平衡近似下,选取铁在400~44... 为研究土壤湿度对激光等离子体的影响,通过制备六种不同湿度的土壤样品进行实验,选取铅的特征谱线(Pb:405.78nm)为分析线。实验结果表明,随着土壤湿度的增加,谱线的强度、信噪比及RSD线性减小。在局部热力学平衡近似下,选取铁在400~440nm波长范围内的四条特征谱线,利用玻尔兹曼图,测定了等离子体温度在不同湿度下的变化特性,随着湿度从零增加到20%,等离子体温度从11800K近似单调的下降到7800K,电子密度从3.3×106cm-3减小到2.8×106cm-3。 展开更多
关键词 激光诱导击穿光谱 激光等离子体 土壤湿度 等离子体温度 电子密度
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高超声速再入试验的辐射光谱定量测量 被引量:6
10
作者 余晓娅 +1 位作者 李瑞 王同权 《中国光学》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期87-94,共8页
利用膨胀管对宽度为45 mm和90 mm的半圆柱模型进行了地球再入高超声速流动试验,再入速度为8 km/s。试验利用配有ICCD相机的光谱仪,测量了具有空间分辨的激波后辐射光谱,光谱范围为250~550 nm,得到了沿流体方向的激波辐射轮廓线。分析发... 利用膨胀管对宽度为45 mm和90 mm的半圆柱模型进行了地球再入高超声速流动试验,再入速度为8 km/s。试验利用配有ICCD相机的光谱仪,测量了具有空间分辨的激波后辐射光谱,光谱范围为250~550 nm,得到了沿流体方向的激波辐射轮廓线。分析发现在该光谱范围内辐射主要为CN(B-X)带系分子光谱。利用卤钨灯对该波段光谱进行定标,得到了激波层辐射的绝对辐射亮度。通过采用两种模型辐射亮度对模型宽度归一化后发现,绕流场高温气体辐射存在较强的自吸收现象,同时观测到了绕流场激波的三维效应。通过实验发现,CN(B-X)Δv=0带系的3-3振动带系385.2 nm波长位置和0-0带系388.4 nm波长位置辐亮度之比随着流场靠近模型边缘而逐渐下降,这表明激波层内辐射的动态非平衡特征。 展开更多
关键词 膨胀管 高超声速流动 辐射定量测量
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基于过焦扫描光学显微镜的光学元件亚表面缺陷检测方法 被引量:2
11
作者 王娜 +4 位作者 宋晓娇 王德钊 王盛阳 李冠楠 周维虎 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第21期112-119,共8页
微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(... 微/纳米尺度亚表面缺陷会降低光学元件等透明样品的物理特性,严重影响光学及半导体领域加工制造技术的发展。为了快速、无损检测透明样品亚表面缺陷,本文针对光学元件亚表面内微米量级缺陷的检测需求,提出了一种基于过焦扫描光学显微镜(TSOM)的检测方法。利用可见光光源显微镜和精密位移台,沿光轴对亚表面缺陷进行扫描,得到亚表面缺陷的一系列光学图像。将采集到的图像按照空间位置进行堆叠,生成TSOM图像。通过获得所测特征的最大灰度值来获得亚表面缺陷的定位信息。提出方法对2000μm深亚表面缺陷的定位相对标准差达到0.12%。该研究为透明样品亚表面缺陷检测及其深度定位提供了一种新方法。 展开更多
关键词 亚表面缺陷 缺陷检测 过焦扫描光学显微镜 深度定位
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激光诱导击穿光谱数据特征自动提取方法研究 被引量:5
12
作者 建国 +6 位作者 赵南京 鲁翠萍 陈东 石焕 王春龙 张玉钧 文清 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期3285-3288,共4页
根据激光诱导击穿光谱(LIBS)展宽主要为非线性Lorentz函数模型,利用Levenberg-Marquardt(L-M)算法对该理论模型中的待定参数进行优化估值,扣除了光谱信号中的连续背景,校正和还原了峰位和峰强,并对拟合数据点自动提取方法进行了分析;以M... 根据激光诱导击穿光谱(LIBS)展宽主要为非线性Lorentz函数模型,利用Levenberg-Marquardt(L-M)算法对该理论模型中的待定参数进行优化估值,扣除了光谱信号中的连续背景,校正和还原了峰位和峰强,并对拟合数据点自动提取方法进行了分析;以MatrixVB与VB混合编程相结合,实现了基于L-M算法的LIBS光谱数据自动拟合与特征参数提取,与手动操作的常用数据分析软件Origin7.5的拟合结果进行了比较,验证了该方法的稳定性与可靠性。 展开更多
关键词 激光诱导击穿光谱 特征提取 LEVENBERG-MARQUARDT算法 非线性拟合
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高超声速飞行目标尾焰红外辐射测量 被引量:5
13
作者 余西龙 +2 位作者 陈宏 张仕忠 张晓源 《气体物理》 2017年第2期47-53,共7页
为了研究超高声速飞行器发动机尾焰喷射高温高速气流的辐射特性,对尾焰成分CO2及H2O分子在4.3和2.7μm大气窗口红外辐射波段进行了测量.利用高温燃气激波风洞模拟产生超高声速飞行器尾焰喷流,喷流速度M=5.5.实验中选用单元型In Sb红外... 为了研究超高声速飞行器发动机尾焰喷射高温高速气流的辐射特性,对尾焰成分CO2及H2O分子在4.3和2.7μm大气窗口红外辐射波段进行了测量.利用高温燃气激波风洞模拟产生超高声速飞行器尾焰喷流,喷流速度M=5.5.实验中选用单元型In Sb红外探测器,并利用黑体进行原位定标.测量距离为0.7 m,采用单透镜成像加光阑的方法收集光信号.实验中分别沿喷流方向喷流垂直方向进行了多点测量,通过定标结果反演得到尾焰在4.3和2.7μm分别沿喷流方向和喷流垂直方向的光谱辐亮度和波段辐亮度分布,测量结果表明4.3μm辐射强度及稳定性均高于2.7μm. 展开更多
关键词 高超声速飞行器 尾焰 红外辐射
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窗口可变滑动相关分析方法在激光诱导击穿光谱谱线自动识别中的应用 被引量:4
14
作者 建国 +7 位作者 赵南京 王寅 王春龙 石焕 马明俊 陈东 张玉钧 文清 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期270-276,共7页
激光诱导击穿光谱(LIBS)谱线具有很窄的展宽,且光谱仪因外界温度条件的变化存在波长漂移,光谱数据为离散数字信号,受噪声、谱线重叠及连续背景的影响,信号存在失真和变形。而目前光谱仪自带谱线识别分析软件主要以"就近原则"... 激光诱导击穿光谱(LIBS)谱线具有很窄的展宽,且光谱仪因外界温度条件的变化存在波长漂移,光谱数据为离散数字信号,受噪声、谱线重叠及连续背景的影响,信号存在失真和变形。而目前光谱仪自带谱线识别分析软件主要以"就近原则"为主,错误率较高,必须依赖于人眼的观察对比。针对这个问题,在研究LIBS光谱特性的基础上,提出了一种窗口可变滑动相关分析方法(CAASW),用于激光诱导击穿光谱谱线自动识别。以土壤标准物质为样品,对该方法进行了实验分析和评价,与光谱仪自带分析识别软件相比,CAASW明显提高了识别准确率和识别速度,最终实现了谱线的自动识别。 展开更多
关键词 激光技术 激光诱导击穿光谱 相关分析 自动识别 土壤样品
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激光诱导击穿光谱元素谱线自动识别方法研究 被引量:2
15
作者 建国 +6 位作者 赵南京 鲁翠萍 陈东 石焕 王春龙 张玉钧 文清 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期20-24,共5页
根据激光诱导击穿光谱谱线展宽机制,对NIST标准谱线数据库中的发射谱线进行了模拟,并与实验光谱进行对比,在对比分析中引入相似性测度,得到模拟光谱和实验光谱的相似程度。对元素谱线的自动归属识别方法进行分析和研究,通过相似性计算... 根据激光诱导击穿光谱谱线展宽机制,对NIST标准谱线数据库中的发射谱线进行了模拟,并与实验光谱进行对比,在对比分析中引入相似性测度,得到模拟光谱和实验光谱的相似程度。对元素谱线的自动归属识别方法进行分析和研究,通过相似性计算对土壤样品340~345nm波段光谱进行了识别分析,利用最小二乘原理计算各谱线之间的比例系数,实现了光谱识别,实验结果验证了基于相似性测度的光谱识别方法的可行性及其自动识别的优越性。 展开更多
关键词 激光诱导击穿光谱 模拟光谱 相似性测度 谱线识别 谱线展宽
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缺陷对极紫外掩模多层结构反射场的扰动研究 被引量:2
16
作者 李冠楠 +2 位作者 周维虎 石俊凯 陈晓梅 《半导体光电》 CAS 北大核心 2020年第2期217-222,共6页
极紫外光刻掩模具有特殊的多层膜堆叠的反射式结构,在工艺制造过程中极易产生缺陷,引起多层膜结构变形,从而对掩模反射场产生干扰。这种掩模缺陷是制约极紫外光刻技术发展的难题之一。建立了含有缺陷的极紫外掩模多层膜结构模型,在此基... 极紫外光刻掩模具有特殊的多层膜堆叠的反射式结构,在工艺制造过程中极易产生缺陷,引起多层膜结构变形,从而对掩模反射场产生干扰。这种掩模缺陷是制约极紫外光刻技术发展的难题之一。建立了含有缺陷的极紫外掩模多层膜结构模型,在此基础上采用时域有限差分(FDTD)法分析了缺陷尺寸和缺陷位置对掩模多层膜结构反射场分布的影响。结果表明,多层膜结构反射场受干扰程度是缺陷的高度和宽度综合作用的结果,并且与缺陷结构的平缓程度有关。反射场受干扰程度也与缺陷在多层膜结构内部的高度位置有关,引起多层膜结构靠近底层变形的缺陷对反射场的影响较小,而引起多层膜结构靠近顶层变形的缺陷对反射场有明显的干扰。 展开更多
关键词 极紫外光刻掩模 相位缺陷 时域有限差分法 扰动分析
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滤波对8字腔掺铒光纤激光器锁模运转的影响 被引量:2
17
作者 石俊凯 王国名 +3 位作者 黎尧 高书苑 周维虎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期122-128,共7页
构建了基于损耗非对称非线性光学环镜的8字腔掺铒光纤锁模激光器,并讨论了腔内滤波带宽对腔内脉冲演化和激光器输出特性的影响.在非线性光学环镜中引入双向输出耦合器,耦合器和传输光纤位置的不对称产生非互易性,实现锁模运转.利用自制... 构建了基于损耗非对称非线性光学环镜的8字腔掺铒光纤锁模激光器,并讨论了腔内滤波带宽对腔内脉冲演化和激光器输出特性的影响.在非线性光学环镜中引入双向输出耦合器,耦合器和传输光纤位置的不对称产生非互易性,实现锁模运转.利用自制的可调谐滤波器实验研究了滤波带宽对激光器的影响.当滤波带宽为2.1 nm时,腔内脉冲的演化过程受滤波和孤子效应的共同作用,激光器顺时针和逆时针输出脉冲半高全宽分别为583.7fs和2.94 ps.随着滤波带宽增大,滤波的作用逐渐减弱,激光器两路输出脉冲参数逐渐接近,并接近傅里叶变换极限脉冲.当滤波带宽较大时,腔内脉冲的演化过程受增益谱和孤子效应的共同作用,激光器顺时针和逆时针输出脉冲均为变换极限脉冲,半高全宽约为440 fs.通过调节滤波器中心波长实现了对激光器输出脉冲光谱的连续调谐,调节范围大于30 nm. 展开更多
关键词 8字腔锁模激光器 损耗非对称 非线性光学环镜 光谱滤波
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土壤激光诱导等离子体光谱环境气体增强特性研究
18
作者 陈东 文清 +4 位作者 张玉钧 建国 赵南京 鲁翠萍 《大气与环境光学学报》 CAS 2010年第6期445-449,共5页
利用Nd:YAG脉冲激光器(波长:1064 nm)作为光源,在空气与Ar环境下激光诱导土壤等离子体,通过等离子体原子发射光谱分析了环境气体对土壤激光诱导等离子发射光谱特性的影响。实验研究了土壤激光诱导等离子体发射光谱时间演化特性,测定了土... 利用Nd:YAG脉冲激光器(波长:1064 nm)作为光源,在空气与Ar环境下激光诱导土壤等离子体,通过等离子体原子发射光谱分析了环境气体对土壤激光诱导等离子发射光谱特性的影响。实验研究了土壤激光诱导等离子体发射光谱时间演化特性,测定了土壤Cr元素的LIBS定标曲线。实验结果表明,环境Ar对土壤激光诱导等离子体发射光谱具有显著的增强作用,增加等离子驻留时间,改善元素浓度与光谱线强度之间的线性关系,提高土壤LIBS检测方法的灵敏度。 展开更多
关键词 土壤 激光诱导等离子体发射光谱 环境气体 CR
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硅片表面纳米颗粒剥离及其成分检测方法研究
19
作者 王春龙 +4 位作者 余晓娅 石俊凯 黎尧 陈晓梅 周维虎 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2020年第16期158-165,共8页
硅片表面纳米级污染颗粒的检测与去除是集成电路制造(Integrated Circuit,IC)的关键环节.本文主要对纳秒级脉冲激光作用至硅片表面后纳米颗粒的动力学过程及颗粒成分在线检测方法进行了研究.搭建了双脉冲激光测量实验系统,并通过实验对3... 硅片表面纳米级污染颗粒的检测与去除是集成电路制造(Integrated Circuit,IC)的关键环节.本文主要对纳秒级脉冲激光作用至硅片表面后纳米颗粒的动力学过程及颗粒成分在线检测方法进行了研究.搭建了双脉冲激光测量实验系统,并通过实验对300 nm Cu颗粒进行了双脉冲激光实验观测,通过分析表征颗粒运动轨迹的击穿光谱特征,从实验上观测到了清洗激光作用后颗粒沿垂直硅片表面向上的运动轨迹.在综合考虑空气碰撞阻力、颗粒重力的影响下,建立了激光清洗后颗粒的运动模型,并与实验相结合求解了运动模型参数,计算获得了清洗激光作用后颗粒的初始速度和激光作用时间内颗粒的平均加速度.本文为激光诱导晶圆表面纳米颗粒去吸附以及激光至纳米颗粒动力学过程研究提供了一种模型方法,也为集成电路污染源在线检测提供了一种重要方法. 展开更多
关键词 纳米颗粒运动模型 激光诱导击穿光谱 激光清洗机理 成分检测
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Suppression of multi-pulse formation in all-polarization-maintaining figure-9 erbium-doped fiber mode-locked laser 被引量:1
20
作者 Jun-Kai Shi Deng-Feng Dong +5 位作者 Ying-Ling Pan Guan-Nan Li Yao Li Li-Tuo Liu Xiao-Mei Chen Wei-Hu Zhou 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2021年第1期262-266,共5页
We report on a novel architecture to suppress the multi-pulse formation in an all-polarization-maintaining figure-9 erbium-doped fiber laser under high pump power. A 2×2 fiber coupler is introduced into the phase... We report on a novel architecture to suppress the multi-pulse formation in an all-polarization-maintaining figure-9 erbium-doped fiber laser under high pump power. A 2×2 fiber coupler is introduced into the phase-biased nonlinear amplifying loop mirror to extract part of intracavity laser power as a laser output, and the dependence of output couple ratio of fiber coupler on the mode-locking state is experimentally investigated. The intracavity nonlinear effect is mitigated by lowering the intracavity laser power, which is conducive to avoiding the multi-pulse formation. In the meantime, the loss-imbalance induced by fiber coupler is helpful in improving the self-starting ability. With the proposed laser structure,the multiple pulse formation can be suppressed and high power single pulse train can be obtained. The laser emits three pulse trains which is convenient for some applications. Finally, the output power values of three ports are 5.3 m W, 51.3 m W,and 13.2 m W, respectively. The total single pulse output power is 69.8 m W, which is more than 10 times the result without OC2. The total slope efficiency is about 10.1%. The repetition rate of three pulse trains is 21.17 MHz, and the pulse widths are 2.8 ps, 2.63 ps, and 6.66 ps, respectively. 展开更多
关键词 figure-9 mode-locked fiber laser nonlinear amplifying loop mirror suppression of multi-pulse formation
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