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题名曲面基底衍射光学元件的激光直写技术
被引量:7
- 1
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作者
姜俊
刘晋桥
徐颖
于颜豪
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机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子学国家重点实验室
西安交通大学机械工程学院
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第6期85-91,共7页
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基金
国家自然科学基金(91423102
91323301
+1 种基金
61605055
21473076)
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文摘
飞秒激光直写技术(FsLDW)因其优异的三维加工能力、高空间分辨率、低附加损伤等优点被广泛地应用于微纳加工领域,但传统飞秒激光直写技术在加工效率、加工面积和加工精度之间存在矛盾。为了实现高速、大面积、高精度的激光微纳加工,构建了一种由大范围水平位移台和高速旋转台组成的极坐标系飞秒激光直写系统。基于该系统,研究了轴对称样品中心对准方法及曲面曲率校准方法,并在曲面上制备了多阶三维结构。最终完成了在透镜曲面上制备直径为10mm的衍射圆光栅结构,实现了飞秒激光高速、大尺寸、高精度地制备大面积三维结构。该研究为高性能折衍混合光学元件的制备提供了有力的技术支持。
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关键词
激光光学
衍射光学元件
飞秒激光直写
极坐标系扫描
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Keywords
laser optics
diffractive optical elements
femtosecond laser direct writing
polar coordinate scanning
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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题名基于微流控技术的高效液相脉冲激光烧蚀法
被引量:3
- 2
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作者
关凯珉
刘晋桥
徐颖
于颜豪
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机构
吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
西安交通大学机械工程学院
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期69-74,共6页
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基金
国家自然科学基金(91423102
91323301
+1 种基金
61605055
21473076)
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文摘
液相脉冲激光烧蚀法(PLAL)具有绿色环保、适用范围广及可制备复合材料等优点,受到学术界的广泛关注,但是较低的制备效率限制了它进一步发展。将微流控技术与液相脉冲激光烧蚀法相结合,在硅基微流控芯片中实现了快速高效制备晶格型(400~800nm)和球型(100~300nm)硅纳米结构。通过扫描电子显微镜和光谱仪对其形貌结构及分布情况进行了测试表征,获得了微流控流速、激光烧蚀功率与纳米粒子制备效率之间的关系。该方法将液相脉冲激光烧蚀法的最高制备效率提高了30%以上,达到87.5mg/min,为将来液相脉冲激光烧蚀法工业化生产提供一种新的技术路线。
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关键词
激光制造
液相脉冲激光烧蚀法
制备效率
微流体
硅纳米结构
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Keywords
laser manufacturing
pulsed laser ablation in liquid
preparation rate
microfluidic
silicon nanostructures
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分类号
O439
[机械工程—光学工程]
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题名浅谈高校数字化图书馆及其数据库资源
- 3
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作者
任玉梅
刘晋桥
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机构
华北工学院图书馆
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出处
《机械管理开发》
2004年第2期62-63,65,共3页
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文摘
就数字化图书馆的概念、特点及我国数字化图书馆的发展情况做了简要的说明,并介绍了几种常用的网络数据库,最后对地方高校数字化图书馆建设给出若干建议。
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关键词
高校图书馆
数字化图书馆
网络数据库
图书馆建设
地方高校
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Keywords
Digital Libraries Net databases
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分类号
G258.6
[文化科学—图书馆学]
G250.76
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题名高校图书馆在网络环境下服务模式的思考
- 4
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作者
刘晋桥
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机构
中北大学图书馆
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出处
《机械管理开发》
2004年第6期108-108,110,共2页
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文摘
简要介绍了高校图书馆网络化的现状,提出了加强图书馆网络化服务的建设、管理策略以及馆员应具有的素质。
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关键词
网络化服务
信息
管理
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Keywords
Network services Information Management
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分类号
G250.73
[文化科学—图书馆学]
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