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基于PROFIBUS的智能化金属颗粒镀膜测控系统设计
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作者 冯银冉 韩志平 李银生 《工业控制计算机》 2016年第12期53-54,共2页
国内高真空溅射镀膜机多采用单一PLC主机控制的集中式测控系统,可靠性和抗干扰能力弱,增加了系统的不稳定性。设计了一种基于嵌入式控制器的分布式网络化真空镀膜机测控系统,采用ARM为核心的嵌入式主控器通过PROFIBUS-DP现场总线连接低... 国内高真空溅射镀膜机多采用单一PLC主机控制的集中式测控系统,可靠性和抗干扰能力弱,增加了系统的不稳定性。设计了一种基于嵌入式控制器的分布式网络化真空镀膜机测控系统,采用ARM为核心的嵌入式主控器通过PROFIBUS-DP现场总线连接低温泵机组、冷热水机组、溅射室门变频器、溅射电源、转鼓电机变频器、电解质分析仪等,这种网络拓补结构具有可扩展性强、信息化集成度高、控制工艺在线优化便捷等特点。此外,在上位机监控系统中设定不同的真空溅射镀膜参数,并实现对溅射过程中室内压强、气体浓度、水温等重要参数的实时监控和报警信息处理,保证了溅射镀膜系统可靠、稳定地运行。 展开更多
关键词 嵌入式控制器 PROFIBUS 真空镀膜
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