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林尼克结构干涉测量系统误差分析 被引量:1
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作者 王海珊 史铁林 +2 位作者 刘世元 冯奎 廖广兰 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期143-147,共5页
在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统... 在应用林尼克结构干涉测量系统进行测量时,发现系统存在一个近似为二次曲面的测量误差。根据光学干涉系统的测量原理,分别对林尼克结构干涉测量系统的相移器误差、摄像机误差和光学系统误差进行了分析,确定光学系统误差是干涉测量系统的主要误差源,其中显微物镜焦点轴向误差是产生系统测量误差曲面的主要原因。以平面为实验测量样件,应用测量系统对参考光臂显微物镜的不同轴向位置进行了测量,通过分析测量结果验证了焦点轴向误差对系统测量误差的影响,并与理论结果进行了比较。 展开更多
关键词 林尼克结构干涉测量系统 系统测量误差 焦点轴向误差 相移器误差 摄像机误差
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基于采样定理的白光干涉SEST算法研究
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作者 冯奎 廖广兰 +1 位作者 史铁林 王海珊 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2008年第1期79-81,共3页
研究了基于采样定理的白光干涉测量算法——Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425"m,大大提高了测量速度。在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位... 研究了基于采样定理的白光干涉测量算法——Square-envelop function Estimation by Sampling Theory(SEST)算法,该算法采样间隔是传统算法的数倍,最大可达1.425"m,大大提高了测量速度。在该算法基础上,提出应用循环缓冲器来定位相干区间,减少了存储的采样值及计算量,提高了数据处理速度。仿真结果表明,该算法是快速、有效的。 展开更多
关键词 光学测量 SEST算法 白光干涉 表面形貌
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