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基于微流控技术的高效液相脉冲激光烧蚀法
被引量：
3
1
作者
关
凯
珉
刘晋桥
+1 位作者
徐颖
于颜豪
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期69-74,共6页
液相脉冲激光烧蚀法(PLAL)具有绿色环保、适用范围广及可制备复合材料等优点,受到学术界的广泛关注,但是较低的制备效率限制了它进一步发展。将微流控技术与液相脉冲激光烧蚀法相结合,在硅基微流控芯片中实现了快速高效制备晶格型(400~8...
液相脉冲激光烧蚀法(PLAL)具有绿色环保、适用范围广及可制备复合材料等优点,受到学术界的广泛关注,但是较低的制备效率限制了它进一步发展。将微流控技术与液相脉冲激光烧蚀法相结合,在硅基微流控芯片中实现了快速高效制备晶格型(400~800nm)和球型(100~300nm)硅纳米结构。通过扫描电子显微镜和光谱仪对其形貌结构及分布情况进行了测试表征,获得了微流控流速、激光烧蚀功率与纳米粒子制备效率之间的关系。该方法将液相脉冲激光烧蚀法的最高制备效率提高了30%以上,达到87.5mg/min,为将来液相脉冲激光烧蚀法工业化生产提供一种新的技术路线。
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关键词
激光制造
液相脉冲激光烧蚀法
制备效率
微流体
硅纳米结构
原文传递
题名
基于微流控技术的高效液相脉冲激光烧蚀法
被引量：
3
1
作者
关
凯
珉
刘晋桥
徐颖
于颜豪
机构
吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区
西安交通大学机械工程学院
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第4期69-74,共6页
基金
国家自然科学基金(91423102
91323301
+1 种基金
61605055
21473076)
文摘
液相脉冲激光烧蚀法(PLAL)具有绿色环保、适用范围广及可制备复合材料等优点,受到学术界的广泛关注,但是较低的制备效率限制了它进一步发展。将微流控技术与液相脉冲激光烧蚀法相结合,在硅基微流控芯片中实现了快速高效制备晶格型(400~800nm)和球型(100~300nm)硅纳米结构。通过扫描电子显微镜和光谱仪对其形貌结构及分布情况进行了测试表征,获得了微流控流速、激光烧蚀功率与纳米粒子制备效率之间的关系。该方法将液相脉冲激光烧蚀法的最高制备效率提高了30%以上,达到87.5mg/min,为将来液相脉冲激光烧蚀法工业化生产提供一种新的技术路线。
关键词
激光制造
液相脉冲激光烧蚀法
制备效率
微流体
硅纳米结构
Keywords
laser manufacturing
pulsed laser ablation in liquid
preparation rate
microfluidic
silicon nanostructures
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于微流控技术的高效液相脉冲激光烧蚀法
关
凯
珉
刘晋桥
徐颖
于颜豪
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
3
原文传递
已选择
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