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微机械线加速度计
被引量：
3
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作者
候
正
君
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996年第3期174-178,共5页
叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ２，且能承受５００００ｍ／ｓ２以上高冲击。
关键词
加速度计
微机械
伺服
变电容
下载PDF
职称材料
题名
微机械线加速度计
被引量：
3
1
作者
候
正
君
机构
四川压电与声光技术研究所
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996年第3期174-178,共5页
文摘
叙述一种新型微机械伺服加速度计，并与电磁式及变电容式线加速度计原理、性能特点进行比较。微机械伺服加速度计测量上限可达±５００ｍ／ｓ２，且能承受５００００ｍ／ｓ２以上高冲击。
关键词
加速度计
微机械
伺服
变电容
Keywords
accelarometer
micromachining
servo
variable capacitance
分类号
TH824.4 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机械线加速度计
候
正
君
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1996
3
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