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题名串联RF MEMS开关的结构仿真
被引量：4
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作者
谌贵辉
张万里
彭斌
蒋洪川
赵泽宇
候德胜
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机构
电子科技大学微电子与固体电子学院
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
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出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第9期92-95,共4页
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基金
本文工作获微细加工光学技术国家重点实验室开放基金资助
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文摘
RF微机电系统(MEMS)开关“断”状态时的隔离度依赖于其几何结构参数,因而需对其尺寸进行优化设计以获得高的隔离度。利用有限元软件HFSS对串联RFMEMS开关模型进行微波特性分析,系统研究了“断”状态下,MEMS开关的隔离度、回波损耗与其信号线宽度(w)、信号线间距(d)、气隙高度(g)、接触层面积(A)等结构参数的关系。结果表明,较小的w、较大的d、较高的g和较小的A可获得具有较小回波损耗和较大隔离度的MEMS开关。其中信号线间距对微波性能影响最大,是RFMEMS开关结构设计考虑的主要因素。设计了g=3μm,d=60μm,A=80×100μm2,w=100μm一个RFMEMS开关,在5GHz时其回波损耗小于0.2dB,隔离度大于35dB。
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关键词
微机电系统
微波开关
结构仿真
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Keywords
MEMS
Microwave switch
Simulation
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分类号
TN63
[电子电信—电路与系统]
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题名小型波导传感器单元技术研究
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作者
杜春雷
R.E.Kunz
苗景歧
候德胜
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机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
PSIZ
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1996年第S1期19-23,共5页
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基金
微细加工光学技术国家重点实验室基金
中国科学院留学生基金
中国科学院光电技术研究所所长基金资助研究项目
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文摘
本文提出用梯度有效折射率平面波导形成小型波导传感器的方案 ,对关键单元技术进行了分析和实验 。
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关键词
波导传感器
渐变折射率光波导
参数测量
半导体激光器
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Keywords
Waveguide sensor,Graded index optical waveguides,Parameter measurement,Semiconductor laser.
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分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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