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蒸发淀积薄膜的柱状显微结构
1
作者
单凤兰
佘
中
志
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1989年第1期44-46,共3页
本文用显微断面术技术,在透射电镜中观察了蒸发淀积Cu膜的显微结构。实验结果表明、薄膜是由直径大致相同的相互平行的倾斜小柱体所组成。对柱状结构形成的机理也进行了初步探讨。
关键词
蒸发淀积
铜薄膜
显微结构
下载PDF
职称材料
题名
蒸发淀积薄膜的柱状显微结构
1
作者
单凤兰
佘
中
志
机构
吉林大学材料科学研究所
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1989年第1期44-46,共3页
文摘
本文用显微断面术技术,在透射电镜中观察了蒸发淀积Cu膜的显微结构。实验结果表明、薄膜是由直径大致相同的相互平行的倾斜小柱体所组成。对柱状结构形成的机理也进行了初步探讨。
关键词
蒸发淀积
铜薄膜
显微结构
分类号
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
蒸发淀积薄膜的柱状显微结构
单凤兰
佘
中
志
《电子显微学报》
CAS
CSCD
1989
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