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深亚微米飞行高度测试技术及实验研究
1
作者
李玉和
管恺森
+2 位作者
乔振东
伍
震
环
祁鑫
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第S01期256-260,共5页
近场存储技术中飞行头与存储介质间飞行高度测试成为高密度存储关键技术.本文采用双波长多步法对测试进行数学建模,利用改进遗传算法实现高非线性光学方程组求解;搭建飞行高度测试实验系统,对“起飞”、“着陆”飞行过程进行测试实验与...
近场存储技术中飞行头与存储介质间飞行高度测试成为高密度存储关键技术.本文采用双波长多步法对测试进行数学建模,利用改进遗传算法实现高非线性光学方程组求解;搭建飞行高度测试实验系统,对“起飞”、“着陆”飞行过程进行测试实验与分析计算,与DFHT比对结果表明:工作状态下近场飞高为67 nm,飞高波动小于3nm,该测试方法及求解算法可满足飞行头纳米尺度飞高测量要求.
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关键词
飞行高度
微纳尺度
非线性光学方程组
改进遗传算法
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职称材料
题名
深亚微米飞行高度测试技术及实验研究
1
作者
李玉和
管恺森
乔振东
伍
震
环
祁鑫
机构
清华大学精密仪器系、精密测试技术及仪器国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第S01期256-260,共5页
基金
国家自然科学基金(51275259,61362035)
国家重大仪器专项(2011YQ030134)资助
文摘
近场存储技术中飞行头与存储介质间飞行高度测试成为高密度存储关键技术.本文采用双波长多步法对测试进行数学建模,利用改进遗传算法实现高非线性光学方程组求解;搭建飞行高度测试实验系统,对“起飞”、“着陆”飞行过程进行测试实验与分析计算,与DFHT比对结果表明:工作状态下近场飞高为67 nm,飞高波动小于3nm,该测试方法及求解算法可满足飞行头纳米尺度飞高测量要求.
关键词
飞行高度
微纳尺度
非线性光学方程组
改进遗传算法
Keywords
flying height
micro&nano scale
optical nonlinear equations
improved genetic algorithm
分类号
TH701 [机械工程—仪器科学与技术]
TH741.1 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
深亚微米飞行高度测试技术及实验研究
李玉和
管恺森
乔振东
伍
震
环
祁鑫
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
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