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锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用
被引量:
1
1
作者
魏守水
张玉林
付
光达
《微细加工技术》
1996年第2期7-11,共5页
采用销相技术,对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器,能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。
关键词
电子束曝光机
工件台
锁相技术
稳速控制
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职称材料
治本贯标抓管理确保质量求发展
2
作者
付
光达
《上海港科技》
2001年第3期5-6,共2页
关键词
企业管理
质量管理
企业发展
产品质量
市场竞争
质量认证
公司
下载PDF
职称材料
推行学校卫生辅导员制度的做法与体会
3
作者
万茂传
付
光达
《现代预防医学》
CAS
北大核心
2007年第6期1127-1127,1131,共2页
几年来,通过卫生部门的努力,学校卫生面貌已有了明显改观。但由于我们大多只注重监督而忽略指导,使学校卫生工作难以得到全面落实。为了进一步做好学校卫生工作,2005年初我市推行了学校卫生辅导员制度,经过1年多的实施,学校卫生...
几年来,通过卫生部门的努力,学校卫生面貌已有了明显改观。但由于我们大多只注重监督而忽略指导,使学校卫生工作难以得到全面落实。为了进一步做好学校卫生工作,2005年初我市推行了学校卫生辅导员制度,经过1年多的实施,学校卫生辅导员对学校卫生安全工作起到了很好的促进作用。
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关键词
学校卫生
辅导员
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职称材料
题名
锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用
被引量:
1
1
作者
魏守水
张玉林
付
光达
机构
山东工业大学自动控制系
出处
《微细加工技术》
1996年第2期7-11,共5页
文摘
采用销相技术,对电子束曝光机工件台运动实现速度环的全数字控制。设计了数字差频积分回路和数字差频比例控制器,能有效消除速度的静态误差和改善系统的动态特性。
关键词
电子束曝光机
工件台
锁相技术
稳速控制
Keywords
electron beam exposure machine
stage
phase-locked method
speed stabilization
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
治本贯标抓管理确保质量求发展
2
作者
付
光达
机构
上海港军工路工贸实业总公司
出处
《上海港科技》
2001年第3期5-6,共2页
关键词
企业管理
质量管理
企业发展
产品质量
市场竞争
质量认证
公司
分类号
F273.2 [经济管理—企业管理]
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职称材料
题名
推行学校卫生辅导员制度的做法与体会
3
作者
万茂传
付
光达
机构
浙江省余姚市卫生监督所
浙江省余姚市卫生局
出处
《现代预防医学》
CAS
北大核心
2007年第6期1127-1127,1131,共2页
文摘
几年来,通过卫生部门的努力,学校卫生面貌已有了明显改观。但由于我们大多只注重监督而忽略指导,使学校卫生工作难以得到全面落实。为了进一步做好学校卫生工作,2005年初我市推行了学校卫生辅导员制度,经过1年多的实施,学校卫生辅导员对学校卫生安全工作起到了很好的促进作用。
关键词
学校卫生
辅导员
分类号
G478 [文化科学—教育学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
锁相技术在电子束曝光机工件台稳速控制中的应用
魏守水
张玉林
付
光达
《微细加工技术》
1996
1
下载PDF
职称材料
2
治本贯标抓管理确保质量求发展
付
光达
《上海港科技》
2001
0
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职称材料
3
推行学校卫生辅导员制度的做法与体会
万茂传
付
光达
《现代预防医学》
CAS
北大核心
2007
0
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职称材料
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