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ITO区黑化法修复亮点理论模型及工艺参数分析 被引量:2
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作者 吴国东 乔律华 +5 位作者 韩海滨 王彬 张少芬 聂竹华 蔡云牧 王贺卫 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2021年第2期246-257,共12页
本文基于飞秒激光烧蚀机制建立并通过实验验证了ITO区黑化法修复亮点的理论模型,分析了各个工艺参数对修复效果的影响,为亮点不良修复成功率的提升奠定基础。首先通过一系列实验点灯检测、显微镜图片和聚焦离子束(FIB)图片分析结果验证... 本文基于飞秒激光烧蚀机制建立并通过实验验证了ITO区黑化法修复亮点的理论模型,分析了各个工艺参数对修复效果的影响,为亮点不良修复成功率的提升奠定基础。首先通过一系列实验点灯检测、显微镜图片和聚焦离子束(FIB)图片分析结果验证了所创建的修复理论模型;然后利用对比试验分别探究了单脉冲激光单位面积的能量密度e、扫描速度v、激光频率f和光斑大小a等工艺参数对ITO区黑化效果的影响;最后为了深入分析ITO区黑化法的烧蚀机理,提出并验证了囊括所有工艺参数的变量“w”,成功地为亮点不良修复成功率的提升提供了理论依据。实验结果表明,a在4.0~10.0μm,e在1.0 mJ/mm2以上,w在4250~12500 mJ/mm2时,ITO烧蚀后的黑化效果均达到了暗点标准(≥95%),且在点灯条件下未产生其他不良。根据实验结果,将该理论模型和工艺参数分析应用到量产,亮点不良修复成功率达到了95.5%。 展开更多
关键词 黑化 修复 工艺参数 修复成功率
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Trimmer工艺参数对切割效果的影响 被引量:1
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作者 乔律华 刘涛 +2 位作者 李俊峰 吴松 王贺卫 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期661-668,共8页
激光焊切机(Trimmer)是显示面板(TFT-LCD)工业中不可或缺的设备,其作用是利用激光束切除显示面板上的Shorting Bar结构。Trimmer切割效果对于后工段良率有很大影响,因此研究Trimmer的工艺参数对切割效果的影响对于提升产品良率具有重要... 激光焊切机(Trimmer)是显示面板(TFT-LCD)工业中不可或缺的设备,其作用是利用激光束切除显示面板上的Shorting Bar结构。Trimmer切割效果对于后工段良率有很大影响,因此研究Trimmer的工艺参数对切割效果的影响对于提升产品良率具有重要意义。本工作首先通过实验探究激光单脉冲能量E、激光频率f、切割速度v、加工光斑沿切割方向的边长a等工艺参数对于某款165cm(65in)产品的切割效果的影响,然后深入分析了Trimmer的切割机理,提出了囊括所有工艺参数的变量"ε",然后通过实验给出了对于膜厚为0.45μm的Cu材质Shorting Bar,Trimmer激光单脉冲能量必须在7mJ以上,ε在400mJ/mm^2以上,Trimmer可以将Shorting Bar切除干净,并且得出ε与表征切割效果的参量ω之间的函数关系,证实了ε值对于切割效果的影响。 展开更多
关键词 显示面板 激光焊切机 工艺参数 切割效果
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离子束在反应靶上碳沉积的实验研究
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作者 乔律华 李云居 +15 位作者 李志宏 苏俊 李二涛 谌阳平 赵维娟 王友宝 郭冰 曾晟 连刚 颜胜权 甘林 裴常进 韩治宇 李鑫悦 周勇 柳卫平 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期349-353,共5页
碳沉积效应普遍存在于核物理实验中,对低能核反应实验有很大影响。本工作在反应靶前后加不同电压,利用^(12)C束流持续轰击^(13)C靶,研究了^(12) C有效厚度的变化。测量结果表明,碳沉积量与束流轰击时间呈正比。本文分析了碳沉积的成因,... 碳沉积效应普遍存在于核物理实验中,对低能核反应实验有很大影响。本工作在反应靶前后加不同电压,利用^(12)C束流持续轰击^(13)C靶,研究了^(12) C有效厚度的变化。测量结果表明,碳沉积量与束流轰击时间呈正比。本文分析了碳沉积的成因,研究了降低碳沉积效应的有效实验方法,可为相关实验提供参考。 展开更多
关键词 碳沉积 低能核反应 核天体物理 加速器实验
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Radii of the bound states in 16N from the asymptotic normalization coefficients
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作者 李二涛 郭冰 +32 位作者 李志宏 王友宝 李云居 吴志丹 苏俊 庞丹阳 白希祥 杜先超 樊启文 甘林 韩治宇 郝昕 胡世鹏 何建军 景龙 金孙均 李龙 李鑫悦 李志常 连钢 刘建成 罗奇 乔律华 谌阳平 孙慧斌 颜胜权 于祥庆 曾晟 张东海 张立勇 张伟杰 周勇 柳卫平 《Chinese Physics C》 SCIE CAS CSCD 2016年第11期95-100,共6页
The asymptotic normalization coefficients (ANCs) of the virtual decay 16N -- 15N + n are extracted from the 15N(7Li, 6Li)16N reaction populating the ground and first three excited states in 16N. The root-mean-squ... The asymptotic normalization coefficients (ANCs) of the virtual decay 16N -- 15N + n are extracted from the 15N(7Li, 6Li)16N reaction populating the ground and first three excited states in 16N. The root-mean-square (rms) radii of the valence neutron in these four low-lying 16N states are then derived by using the ANCs. The probabilities of the valence neutron staying out of the core potentials are found to be 31%± 8%, 58%± 12%, 3270 ± 8%, and 60% ± 12%. The present results support the conclusion that a one-neutron halo may be formed in the 16N first and third excited states, while the ground and second excited states do not have a one-neutron halo structure. However, the core excitation effect has a strong influence on the one-neutron halo structure of the ground and first excited states in 16N. 展开更多
关键词 neutron halo nuclei matter radius asymptotic normalization coefficients (ANCs)
原文传递
TFT-LCD面板DCS不良定位及维修改善研究
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作者 于凡凡 乔律华 +2 位作者 王彬 黄助兵 王贺卫 《电子技术与软件工程》 2022年第6期95-99,共5页
本文根据此不良的特点,把Array工序获取的不良坐标与Cell工序提供的不良坐标匹配,将不良坐标缩小至可维修的范围内,改善了DCS不良难定位的状况。通过不良定位方法改善之后的量产验证,DCS维修提级率从8%提升到约30%,同时该方法也为其他... 本文根据此不良的特点,把Array工序获取的不良坐标与Cell工序提供的不良坐标匹配,将不良坐标缩小至可维修的范围内,改善了DCS不良难定位的状况。通过不良定位方法改善之后的量产验证,DCS维修提级率从8%提升到约30%,同时该方法也为其他短路线不良维修提供了思路,且具备成本低、易推广等特点,在一定程度上解决了DCS不良维修的难题。 展开更多
关键词 TFT-LCD DCS Array工序
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