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AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
被引量：
3
1
作者
黄强先
万
耿
华
+4 位作者
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期217-223,共7页
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于...
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法。实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差。
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关键词
干涉误差
光杠杆法
悬臂
原子力显微镜
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职称材料
自校准YTO锁相环路的实现
被引量：
4
2
作者
万
耿
华
凌云志
《微波学报》
CSCD
北大核心
2011年第3期75-78,共4页
为了实现高载波通信,宽带YTO(YIG Tuning Oscillator)微波合成本振已成为方案设计的主要途径。由于YTO自身的磁滞、非线性特性等因素的影响,常规的手动校准预置容易使环路在捕捉的过程中失锁。基于单锁相环路的原理和YIG振荡器的可调谐...
为了实现高载波通信,宽带YTO(YIG Tuning Oscillator)微波合成本振已成为方案设计的主要途径。由于YTO自身的磁滞、非线性特性等因素的影响,常规的手动校准预置容易使环路在捕捉的过程中失锁。基于单锁相环路的原理和YIG振荡器的可调谐特性,设计了一种能够自动校准的YTO单锁相环路,避免了因YTO磁滞特性和非线性特性造成的环路失锁,并且缩短了环路捕捉时间;另外,反馈环路中混频环节的引入,减少了环路相位噪声的恶化量。最终测量的校准曲线分析可以表明,在YTO环路的设计中引入自校准功能具有很大的必要性。
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关键词
锁相环路
YIG调谐振荡器
自校准
相位噪声
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职称材料
基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜
被引量：
2
3
作者
黄强先
王广红
+1 位作者
万
耿
华
倪康
《工具技术》
2010年第4期72-75,共4页
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表...
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制。探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的Z向定位通过相位反馈控制实现。此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图。
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关键词
压电微音叉
相位反馈控制
锁相环路
扫描探针显微镜
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职称材料
一种改进的基于自适应陷波器的频率检测方法
被引量：
1
4
作者
万
耿
华
张西鹏
邓前锋
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1822-1823,1826,共3页
变频航空电源系统中，基波频率变化范围为360～800Hz，其频率检测方法需要具有自适应性以跟踪变化的基波频率。基于自适应陷波器（ANF）的频率检测方法能够在变化范围较大的环境下提取出基波频率，但是其结构较复杂。特别是存在谐波时...
变频航空电源系统中，基波频率变化范围为360～800Hz，其频率检测方法需要具有自适应性以跟踪变化的基波频率。基于自适应陷波器（ANF）的频率检测方法能够在变化范围较大的环境下提取出基波频率，但是其结构较复杂。特别是存在谐波时。大大增加了ANF中的子陷波器个数。研究了现有的基于ANF的频率检测方法。针对频率检测模块的动态响应微分方程提出一种改进方法，该改进方法可以在保证动态响应性能的前提下，有效地简化系统结构。实验结果证明了该方法的有效性。
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关键词
变频
自适应陷波器
频率检测
动态响应
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职称材料
题名
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
被引量：
3
1
作者
黄强先
万
耿
华
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
产业技术综合研究所日本国家计量院筑波
合肥工业大学计算机与信息学院
产业技术综合研究所日本国家计量院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期217-223,共7页
基金
Supported by the Foundation of Creating Research Group Programme, Hefei University of Technology, and Provincial Key Labora-tory "Quality Engineering of Modern Test and Manufacture" Foundation of Anhui
文摘
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法。实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差。
关键词
干涉误差
光杠杆法
悬臂
原子力显微镜
Keywords
interference error
optical lever method
cantilever
AFM
分类号
TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TH89 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
自校准YTO锁相环路的实现
被引量：
4
2
作者
万
耿
华
凌云志
机构
中国电子科技集团公司第四十一研究所
出处
《微波学报》
CSCD
北大核心
2011年第3期75-78,共4页
基金
国家科技重大专项(2011ZX03001-003-01)
文摘
为了实现高载波通信,宽带YTO(YIG Tuning Oscillator)微波合成本振已成为方案设计的主要途径。由于YTO自身的磁滞、非线性特性等因素的影响,常规的手动校准预置容易使环路在捕捉的过程中失锁。基于单锁相环路的原理和YIG振荡器的可调谐特性,设计了一种能够自动校准的YTO单锁相环路,避免了因YTO磁滞特性和非线性特性造成的环路失锁,并且缩短了环路捕捉时间;另外,反馈环路中混频环节的引入,减少了环路相位噪声的恶化量。最终测量的校准曲线分析可以表明,在YTO环路的设计中引入自校准功能具有很大的必要性。
关键词
锁相环路
YIG调谐振荡器
自校准
相位噪声
Keywords
PLL
YTO
self-calibration
phase noise
分类号
TN911.8 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜
被引量：
2
3
作者
黄强先
王广红
万
耿
华
倪康
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
合肥工业大学
出处
《工具技术》
2010年第4期72-75,共4页
基金
国家重点实验室开放基金资助项目(PIL0513)
国家自然科学基金资助项目(50975075)
文摘
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制。探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的Z向定位通过相位反馈控制实现。此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图。
关键词
压电微音叉
相位反馈控制
锁相环路
扫描探针显微镜
Keywords
piezo-electrical micro-fork
phase feedback control
phase locked loop
scanning probe microscope
分类号
TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TH89 [机械工程—仪器科学与技术]
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职称材料
题名
一种改进的基于自适应陷波器的频率检测方法
被引量：
1
4
作者
万
耿
华
张西鹏
邓前锋
机构
国网重庆璧山供电公司
出处
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第10期1822-1823,1826,共3页
文摘
变频航空电源系统中，基波频率变化范围为360～800Hz，其频率检测方法需要具有自适应性以跟踪变化的基波频率。基于自适应陷波器（ANF）的频率检测方法能够在变化范围较大的环境下提取出基波频率，但是其结构较复杂。特别是存在谐波时。大大增加了ANF中的子陷波器个数。研究了现有的基于ANF的频率检测方法。针对频率检测模块的动态响应微分方程提出一种改进方法，该改进方法可以在保证动态响应性能的前提下，有效地简化系统结构。实验结果证明了该方法的有效性。
关键词
变频
自适应陷波器
频率检测
动态响应
Keywords
variable frequency
adaptive notch filter
frequency detection
dynamic response
分类号
TM912 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
黄强先
万
耿
华
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
下载PDF
职称材料
2
自校准YTO锁相环路的实现
万
耿
华
凌云志
《微波学报》
CSCD
北大核心
2011
4
下载PDF
职称材料
3
基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜
黄强先
王广红
万
耿
华
倪康
《工具技术》
2010
2
下载PDF
职称材料
4
一种改进的基于自适应陷波器的频率检测方法
万
耿
华
张西鹏
邓前锋
《电源技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013
1
下载PDF
职称材料
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