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半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法
被引量：
1
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作者
肖玲
李亚文
+6 位作者
梁竹关
李萍
徐晓华
王建
周开邻
рауэ
.
и
.
胡问国
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第4期585-586,共2页
关键词
半导体材料
集成电路
无损显微分层内窥法
下载PDF
职称材料
SEM中用表面电子束激励势法研究半导体特性
2
作者
朱世秋
рауэ
.
и
.
胡问国
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第4期577-578,共2页
关键词
SEM
表面电子束激励势法
半导体特性
下载PDF
职称材料
题名
半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法
被引量：
1
1
作者
肖玲
李亚文
梁竹关
李萍
徐晓华
王建
周开邻
рауэ
.
и
.
胡问国
机构
云南大学物理系
昆明物理研究所
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第4期585-586,共2页
基金
国家科学技术部
国家自然科学基金委员会
云南省应用基础研究基金委员会资助研究项目
关键词
半导体材料
集成电路
无损显微分层内窥法
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
SEM中用表面电子束激励势法研究半导体特性
2
作者
朱世秋
рауэ
.
и
.
胡问国
机构
云南大学
莫斯科大学
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第4期577-578,共2页
基金
国家科学技术部和国家自然科学基金委员会资助研究项目
关键词
SEM
表面电子束激励势法
半导体特性
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法
肖玲
李亚文
梁竹关
李萍
徐晓华
王建
周开邻
рауэ
.
и
.
胡问国
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000
1
下载PDF
职称材料
2
SEM中用表面电子束激励势法研究半导体特性
朱世秋
рауэ
.
и
.
胡问国
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000
0
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职称材料
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