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题名近场微波显微镜软接触模式测量介电常数的研究
被引量：1
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作者
黄和
彭斌
曾慧中
鞠量
张万里
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《测试技术学报》
2020年第6期461-464,480,共5页
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基金
国家重点研发计划资助项目(2017YFB0406401)。
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文摘
近场微波显微镜测试样品介电常数依赖于针尖与样品的距离,准确控制针尖与样品距离是准确测试介电常数的基础.基于谐振腔谐振频率随针尖-样品距离接近曲线的探究,本文提出了一种准确实现探针与样品软接触的方法,采用软接触模式测量了一系列已知介电常数样品的谐振频率,并对所得的谐振频率-介电常数曲线进行拟合.结果表明,实验结果与理论非常吻合,拟合所得空载谐振频率也与实验一致.本文建立的软接触方法可准确控制针尖与样品的距离,实现介电常数的定量化准确测试.
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关键词
近场微波显微镜
软接触
介电常数
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Keywords
near-field microwave microscopy
soft contact
dielectric constant
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分类号
TB22
[天文地球—大地测量学与测量工程]
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题名近场微波显微镜对石墨烯的无损检测研究
被引量：5
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作者
彭坤
吴喆
杨山
柳建龙
曾葆青
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机构
电子科技大学物理电子学院
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出处
《真空电子技术》
2018年第1期39-41,共3页
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基金
国家自然科学基金(61301053和61601101)
中央高校基本科研业务费ZYGX2016J060和ZYGX2016KYQD097
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文摘
本文基于近场扫描微波显微镜的基本原理,搭建了一套高效测量石墨烯薄膜材料电磁特性的系统。近场扫描微波显微镜是利用探针靠近样品时,记录谐振腔的品质因数或谐振频率的偏移量,然后通过软件仿真探针样品模型的方法得到样品的介电常数、电导率等物理量,以非接触的方式无损表征了石墨烯薄膜的材料特性。
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关键词
石墨烯
检测
近场扫描微波显微镜
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Keywords
Graphene, Detect, near-field scanning microwave microscopy
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分类号
TN107
[电子电信—物理电子学]
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题名近场微波显微镜测量介电常数的研究
被引量：1
- 3
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作者
杨山
吴喆
张兆镗
曾葆青
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机构
电子科技大学物理电子学院
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出处
《真空电子技术》
2016年第2期62-63,68,共3页
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基金
国家自然科学基金(批准号:61301053和11375155)
中国博士后科学基金会(批准号:20100481377)
+1 种基金
微波电真空器件国家级重点实验室
中央高校基本科研业务费专项资金(批准号:ZYGX2011J044)
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文摘
本文介绍了近场微波显微镜(NSMM)的主要结构及其进行介电常数定量测量的方法。本文基于有限元分析方法,采用HFSS和COMSOL软件对NSMM进行仿真,研究了探针和样品间距和样品介电常数引起的测量影响。
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关键词
近场微波显微镜
介电常数
定量测量
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Keywords
near-field scanning microwave microscopy, Dielectric constant, Quantitative measurement
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分类号
TN107
[电子电信—物理电子学]
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