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高线性度电光调制器研究进展 被引量:15
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作者 刘子溪 曾成 夏金松 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第12期196-216,共21页
高线性度电光调制器主要用于解决微波光子系统中电信号到光信号转化时信号非线性失真的问题,微波光子链路的性能会受到电光调制器线性度的影响。本文首先分析了调制器产生非线性的原理,然后从电学域和光学域两方面概述了国内外提高调制... 高线性度电光调制器主要用于解决微波光子系统中电信号到光信号转化时信号非线性失真的问题,微波光子链路的性能会受到电光调制器线性度的影响。本文首先分析了调制器产生非线性的原理,然后从电学域和光学域两方面概述了国内外提高调制器线性度的研究进展,并着重介绍了MZM串/并联法与微环辅助法的原理与研究进展,最后概述了薄膜铌酸锂在高线性度调制器上的应用,并对薄膜铌酸锂高线性度调制器的应用前景进行了展望。 展开更多
关键词 光学器件 高线性度 电光调制器 微波光子器件 薄膜铌酸锂 无杂散动态范围
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沿光轴通光的LiNbO_3的横向电光调制特性 被引量:11
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作者 李克武 王志斌 +2 位作者 张瑞 王国梁 王耀利 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第5期1227-1232,共6页
为了克服现有电光器件的缺陷,选取晶体生长工艺成熟、价格低廉、折射率及电光系数较大的LiNbO3作为电光晶体材料,研究了沿其光轴方向通光的横向电光效应。加工制作了x切、(xzl)45°切和y切3种不同切型的横向电光调制器,并对他们的... 为了克服现有电光器件的缺陷,选取晶体生长工艺成熟、价格低廉、折射率及电光系数较大的LiNbO3作为电光晶体材料,研究了沿其光轴方向通光的横向电光效应。加工制作了x切、(xzl)45°切和y切3种不同切型的横向电光调制器,并对他们的调制性能做了实验分析。研究结果表明,沿LiNbO3光轴方向通光的横向电光调制有相同的电光参量,折射率感应主轴的位置与电场方向有关;3种不同切型的横向体电光调制器的零场泄露均很小,静态消光比均优于1 000∶1,半波电压实测值与理论值的相对误差不超过1.7%;相同调制电压下,它们的调制深度相同,且调制性能稳定。该项研究可为该类电光调制器件的设计和应用提供参考,拓展它们在光通信和光学测量领域的应用。 展开更多
关键词 铌酸锂 电光晶体 电光调制器 横向电光调制 晶体切型 半波电压 调制深度
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全光模数转换的原理及进展 被引量:6
3
作者 韩顺利 胡为良 张鹏 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第8期224-228,共5页
由于电路时钟抖动和比较器弛豫等内禀属性的影响,传统的电子模数转换器已经不能满足高带宽数字信号处理的发展。模数转换主要包括采样、量化和编码。全光模数转换引入光子技术来对模拟电信号采样和量化,可以提高数字信号处理系统的性能... 由于电路时钟抖动和比较器弛豫等内禀属性的影响,传统的电子模数转换器已经不能满足高带宽数字信号处理的发展。模数转换主要包括采样、量化和编码。全光模数转换引入光子技术来对模拟电信号采样和量化,可以提高数字信号处理系统的性能,满足高速和高分辨率的需求,从而解决电子模数转换器的技术瓶颈问题。针对目前主要研究的全光模数方案,如泰勒方案、空间光干涉和偏振干涉的移相光量化方案、孤子自频移的方案、对称双波导长周期波导光栅和波导阵列光栅的方案等,介绍了其基本原理及实验方案,并对各种方案的特点进行了分析。 展开更多
关键词 信号处理 全光模数转换 光采样 光量化 电光调制器
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多频率合成主动抑制激光稳频的剩余幅度调制 被引量:6
4
作者 范夏雷 金尚忠 +3 位作者 张枢 李烨 林弋戈 方占军 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期1-6,共6页
宽带波导型电光调制器(EOM)可以施加多个频率射频信号,通过3个频率的合成,在激光载波上调制出3对边带。利用这3对边带某一侧的3个频率信号进行Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定实验,通过调整其中某一个频率信号的相位,可以实现对频率锁... 宽带波导型电光调制器(EOM)可以施加多个频率射频信号,通过3个频率的合成,在激光载波上调制出3对边带。利用这3对边带某一侧的3个频率信号进行Pound-Drever-Hall(PDH)频率锁定实验,通过调整其中某一个频率信号的相位,可以实现对频率锁定误差信号基线的调整。频率锁定系统中的剩余幅度调制(RAM)噪声同样造成误差信号基线的漂移,通过主动反馈控制系统调制频率信号的相位,实现了对剩余幅度调制噪声的抑制。实验表明,在主动反馈系统闭环后,对剩余幅度调制噪声的抑制程度达到30 d B以上,并有效地抑制了噪声漂移。 展开更多
关键词 激光器 激光频率稳定 频率调制光谱 剩余幅度调制 电光调制器 伺服控制
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高性能薄膜铌酸锂电光调制器(特邀) 被引量:1
5
作者 陈耿鑫 刘柳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第15期1-21,共21页
薄膜铌酸锂凭借着集成度高、透明波段宽、物理化学性质稳定的优势在近年来受到了广泛的关注和研究。相比于传统体材料铌酸锂调制器,薄膜铌酸锂调制器具有小尺寸、宽带宽、低功耗等优势,调制性能远远优于传统体材料铌酸锂调制器,是光通... 薄膜铌酸锂凭借着集成度高、透明波段宽、物理化学性质稳定的优势在近年来受到了广泛的关注和研究。相比于传统体材料铌酸锂调制器,薄膜铌酸锂调制器具有小尺寸、宽带宽、低功耗等优势,调制性能远远优于传统体材料铌酸锂调制器,是光通信领域中极具竞争力的光调制器件形式。薄膜铌酸锂的进一步发展将对信号处理、生物传感和量子信息等领域的广泛应用产生深刻影响。本文简要地概括了铌酸锂晶体材料的发展历史以及薄膜铌酸锂材料的制备方法,重点介绍并总结了不同结构形式、不同工艺平台以及不同工作波长的薄膜铌酸锂调制器,并对调制性能进行对比和综合评估,最后简要概括了薄膜铌酸锂调制器的相关应用。 展开更多
关键词 集成光学 薄膜铌酸锂 微纳光子学 光波导 电光调制器
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高速异型掺杂的硅基槽波导调制器 被引量:3
6
作者 袁华江 孙崇磊 赵佳 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期210-217,共8页
针对硅基单端推挽调制器的pn结结电容大、调制效率低的问题,设计出一种基于异型掺杂和槽波导结构的硅基调制器。通过槽波导结构和L型掺杂增大了耗尽区与光场相互作用,与传统脊波导相比,在相同调制效率下,槽波导的结电容降低了24%,带宽... 针对硅基单端推挽调制器的pn结结电容大、调制效率低的问题,设计出一种基于异型掺杂和槽波导结构的硅基调制器。通过槽波导结构和L型掺杂增大了耗尽区与光场相互作用,与传统脊波导相比,在相同调制效率下,槽波导的结电容降低了24%,带宽提高了32%。采用T型轨道的电极实现阻抗和折射率的匹配,4 V偏压下调制带宽达到42 GHz,实现了峰峰值电压V_(pp)=2 V驱动下70 Gbit/s的OOK信号调制,眼图消光比达5.2 dB。 展开更多
关键词 光学器件 电光调制器 行波电极 马赫-曾德尔调制器
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调制函数对偏振调制激光测距精度影响分析 被引量:5
7
作者 胡恒 杜小平 +1 位作者 张朋 渠晋 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第10期181-187,共7页
为减小传统激光测距方法中复杂电路系统对脉冲计时或相位比较引起的测距误差,针对偏振调制激光测距技术,利用电光调制器中晶体折射率随施加电场线性变化的特性,将待测物体反射的光脉冲调制成时间的函数,通过所得偏振光两个垂直方向上的... 为减小传统激光测距方法中复杂电路系统对脉冲计时或相位比较引起的测距误差,针对偏振调制激光测距技术,利用电光调制器中晶体折射率随施加电场线性变化的特性,将待测物体反射的光脉冲调制成时间的函数,通过所得偏振光两个垂直方向上的光强比值求解待测距离。在研究其测距原理、距离方程及误差分析的基础上,推得文中测距方法所能达到理论测距精度的表达式,并分析调制过程中正弦、锯齿、指数三种调制函数对测距精度的影响,在相同距离范围内,锯齿函数具有更好的适用性,正弦函数与指数函数的组合函数具有更高的测距精度。进一步分析正弦函数不同波段对测距精度的影响可知,采用-π/6~π/6波段调制时其适用性及测距精度都有很大提高。研究结果对提高偏振调制激光测距精度具有重要意义。 展开更多
关键词 偏振调制激光测距 电光调制器 调制函数 测距精度
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硅基电光调制器研究进展(特邀)
8
作者 陈必更 李科 +1 位作者 赵奕儒 虞绍良 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第19期88-99,共12页
电光调制器作为光互连、光通信、光传感等系统中的核心器件,负责电-光信号转换的关键功能。基于绝缘体上硅(SOI)的硅基电光调制器,具有尺寸紧凑、调制效率高、兼容CMOS工艺等优势,不仅一直是学术研究的热点,并且已经实现了大规模的商用... 电光调制器作为光互连、光通信、光传感等系统中的核心器件,负责电-光信号转换的关键功能。基于绝缘体上硅(SOI)的硅基电光调制器,具有尺寸紧凑、调制效率高、兼容CMOS工艺等优势,不仅一直是学术研究的热点,并且已经实现了大规模的商用部署。人工智能技术的普及和大型数据中心的兴起,则进一步推动电光调制技术的发展和创新。本文将从自由载流子等离子色散效应和直流克尔效应两种硅基电光调制的基本原理出发,介绍目前广泛采用的调制机制和经典的器件形式,然后着重介绍近年面向高速光互连、微波光子和光传感等应用的典型创新性研究成果。最后,总结硅基电光调制器发展现状和机遇,并对存在的挑战进行讨论,指出在调制原理方面原始创新的重要性。 展开更多
关键词 硅基光电子 电光调制器 光互连 微波光子 光传感
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基于柔性衬底PDMS的钛酸钡电光调制器
9
作者 易潇源 朱敏敏 《功能材料与器件学报》 CAS 2024年第5期267-273,共7页
电光调制器是光通信链路的核心组件,因此,开发低半波电压、大调制带宽、低损耗且成本低的电光调制器是当前光通信系统研究的重点任务。目前,铌酸锂是调制器系统的主要材料,但由于其电光系数较低,器件性能难以进一步提升。钛酸钡作为电... 电光调制器是光通信链路的核心组件,因此,开发低半波电压、大调制带宽、低损耗且成本低的电光调制器是当前光通信系统研究的重点任务。目前,铌酸锂是调制器系统的主要材料,但由于其电光系数较低,器件性能难以进一步提升。钛酸钡作为电光系数比铌酸锂高30多倍的铁电材料,在电光调制器的研究中具有重要意义。本文通过COMSOL、Lumerical和HFSS软件对钛酸钡调制器的光学和射频参数进行了系统的仿真、计算与优化,最终设计出一种半波电压长度积为0.196 V·cm、器件长度为1 mm、-3 dB调制带宽超过400 GHz的钛酸钡电光调制器。本研究展示了该调制器在低驱动电压和高性能光通信系统中的应用潜力。 展开更多
关键词 光通信 钛酸钡 电光调制器
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低损耗薄膜铌酸锂光集成器件的研究进展
10
作者 林锦添 高仁宏 +3 位作者 管江林 黎春桃 姚妮 程亚 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第3期372-394,共23页
近年来得益于薄膜铌酸锂晶圆离子切片技术和低损耗微纳刻蚀工艺的飞速发展,薄膜铌酸锂光集成结构提供了光场紧束缚、快速电光调谐、高效频率转换和声光转换的空前能力,各种高性能的薄膜铌酸锂光集成器件不断涌现,且朝着大规模光集成芯... 近年来得益于薄膜铌酸锂晶圆离子切片技术和低损耗微纳刻蚀工艺的飞速发展,薄膜铌酸锂光集成结构提供了光场紧束缚、快速电光调谐、高效频率转换和声光转换的空前能力,各种高性能的薄膜铌酸锂光集成器件不断涌现,且朝着大规模光集成芯片的方向迅猛发展,为高速信息处理、精密测量、量子信息、人工智能等重要应用提供了全新的发展动力。本文主要围绕铌酸锂晶体发展历史、薄膜铌酸锂离子切片技术发展历程、极低损耗微纳刻蚀技术演化进程,以及高性能的薄膜铌酸锂光集成器件进展进行总结,并展望了未来的发展趋势。 展开更多
关键词 薄膜铌酸锂 微纳加工 光集成器件 非线性光学 电光调制器 光频梳
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A novel Stokes parameters coding scheme for free-space coherent optical communication 被引量:1
11
作者 Qing WAN Chunhui HUANG 《Frontiers of Optoelectronics》 2012年第2期231-236,共6页
This paper proposes a novel continuous variable coherent optical communication mode. In this mode, two quadrature Stokes parameters are regarded as observed physical quantity, and single linearly polarized component i... This paper proposes a novel continuous variable coherent optical communication mode. In this mode, two quadrature Stokes parameters are regarded as observed physical quantity, and single linearly polarized component is used as carrier wave. At the sending end, electro-optical amplitude modulator (EOM) of 45° azimuth is used to indirectly complete the linear modulation of S2 component, and S3 component is changed by continuously rotating a half-wave plate (HWP). The receiving end adopts the mode of Q-Q-H wave plate are rotated to select the component of measured S2 or S3. The circuit of balance homodyne detection is designed, and the detection system is built by combination with LabVIEW to complete signal demodulation. New optical path scheme is verified by both theory and experiment. 展开更多
关键词 continuous variable coherent optical Stokesparameters electro-optical modulator balance homodynedetection
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基于S型Y分支波导的石墨烯M-Z电光调制器设计 被引量:3
12
作者 周勇 陆荣国 +3 位作者 吕江泊 沈黎明 林瑞 刘永 《半导体光电》 CAS 北大核心 2021年第2期179-184,共6页
利用COMSOL软件设计了一种基于S型Y分支SOI脊波导的石墨烯M-Z电光调制器,并对Y分支波导曲率半径、相位臂长度、芯层间距和输入输出直波导长度等结构参数对调制器的影响进行了分析。在此基础上对电光调制器的性能指标进行了计算和优化,... 利用COMSOL软件设计了一种基于S型Y分支SOI脊波导的石墨烯M-Z电光调制器,并对Y分支波导曲率半径、相位臂长度、芯层间距和输入输出直波导长度等结构参数对调制器的影响进行了分析。在此基础上对电光调制器的性能指标进行了计算和优化,最终设计出了3dB带宽为143GHz、消光比为15.05dB的硅基石墨烯M-Z电光调制器。 展开更多
关键词 石墨烯 M-Z电光调制器 S型Y分支波导 绝缘体上硅脊形波导
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与偏振无关的波导强度调制器 被引量:2
13
作者 王葵如 项允楠 +1 位作者 张海庭 余国贤 《北京邮电大学学报》 EI CAS CSCD 1996年第1期9-14,共6页
用点匹配法计算了与偏振无关调制器的半波电压,用FFT-BPM法分析两平行波导之间的耦合,设计制作了在1.
关键词 集成光学元件 电光调制器 铌酸锂
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金属纳米线阵列表面等离子体电光调制器 被引量:2
14
作者 汪梅婷 王美玉 +2 位作者 郭佳 王福成 童凯 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第4期493-498,共6页
基于表面等离子体共振(SPR)技术,设计了一种具有较高调制系数的金属纳米线阵列电光调制器结构.通过改变驱动电压使反射谱的反射率发生变化,实现电光调制.利用时域有限差分(FDTD)法对金属纳米线阵列层和缓冲介质层的参数进行优化配置,并... 基于表面等离子体共振(SPR)技术,设计了一种具有较高调制系数的金属纳米线阵列电光调制器结构.通过改变驱动电压使反射谱的反射率发生变化,实现电光调制.利用时域有限差分(FDTD)法对金属纳米线阵列层和缓冲介质层的参数进行优化配置,并研究了其结构参数对反射谱反射率的影响。结果表明:当金属纳米线直径为34 nm、缓冲介质层厚度为1600 nm时,电光调制器的模式耦合能力达到最强;随着驱动电压的逐渐增加,反射光谱的全吸收峰出现明显的右移;通过调节加载在电极上的驱动电压可实现电信号对光信号的电光调制. 展开更多
关键词 光电子学 电光调制器 时域有限差分法 表面等离子体共振 金属纳米线阵列
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动态范围可调的波导型SPR传感器模型 被引量:1
15
作者 金红涛 马万云 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第8期8-10,共3页
表面等离子体共振 (SPR)技术是一种简单直接的传感技术 ,SPR对金属表面附近的折射率的变化极为敏感 ,利用这一性质 ,表面等离子体共振传感器已成为生物传感器研究领域的热点。现提出一种电光调制波导型SPR模型 ,模拟计算表明该模型在不... 表面等离子体共振 (SPR)技术是一种简单直接的传感技术 ,SPR对金属表面附近的折射率的变化极为敏感 ,利用这一性质 ,表面等离子体共振传感器已成为生物传感器研究领域的热点。现提出一种电光调制波导型SPR模型 ,模拟计算表明该模型在不损害灵敏度的条件下 ,扩大了探测的动态范围。 展开更多
关键词 表面等离子体共振 电光调制 相位匹配 转移矩阵 生物传感器
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Waveguide electro-optic modulators based on self-assembled material systems 被引量:1
16
作者 LIU Zhi-fu MA Jing +6 位作者 SUN De-gui XU Guo-yang HO Seng-Tiong ZHU Pei wang KANG Hu Antonio Facchetti Tobin J. Marks 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期554-560,共7页
Fabrication and characterization of electro-optic modulators based on the novel organic electro-optic materials composed of self-assembled superlattices (SAS) were presented, both wet-dipping self-assembly and vapor p... Fabrication and characterization of electro-optic modulators based on the novel organic electro-optic materials composed of self-assembled superlattices (SAS) were presented, both wet-dipping self-assembly and vapor phase deposition approaches were discussed. Prototype waveguide electro-optic modulators were fabricated using SAS films integrated with low-loss polymeric materials functioning as partial guiding and cladding layers.Promising electro-optic thin film materials including DTPT and PEPCOOH grown from the vapor phase were used for fabrication and test of electro-optic prototype modulators. Finally,the EO coefficient of tens of pm/V was obtained,which can sufficiently support high-speed and small size EO modulators. 展开更多
关键词 电子波导 光电子调节器 SAS 薄膜
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聚合物电光调制器包覆层材料研究 被引量:1
17
作者 余志滨 于海峰 +1 位作者 连彦青 王晓工 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第6期891-894,共4页
An epoxy-based precursor polymer was prepared from the diglycidyl ether of Bisphenol A and aniline.The precursor polymer was doped with a certain amount of cross-linking agent M20S to obtain a thermal-curable polymeri... An epoxy-based precursor polymer was prepared from the diglycidyl ether of Bisphenol A and aniline.The precursor polymer was doped with a certain amount of cross-linking agent M20S to obtain a thermal-curable polymeric system BPAN+M20S.The thermal curing behavior of BPAN+M20S was studied by means of in-situ infrared spectroscopy and it was found that BPAN+M20S showed significant thermal-curability and had the similar curing dynamics at both 120℃ and 180℃.The curing degree can reach 70 7% at 120℃ and 81 8% at 180℃ within 20 min,respectively.When a two-layer film was prepared with the cured polymer BPAN+M20S as the bottom cladding and an E.O.polymer BPAN-1A-NT as the upper layer,SEM studies showed a perfect interface between the bottom and the upper layers of the two-layer film and the surface of the upper layer was quite smooth.A polymeric planar prototype waveguide,which was fabricated based on the above two-layer film and covered by another layer of UV photoresist,showed good wave-guide performance. 展开更多
关键词 电光调制器 聚合物材料 包覆层材料 双酚A环氧单体 苯胺 开环聚合 光电子信息技术
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SiO_2基光纤型电光调制器
18
作者 李九生 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期54-57,共4页
提出一种新型LiNbO3光纤型电光调制器。用LiNbO3光纤制成的M-Z干涉计置于SiO2基体上,在铌酸锂光纤上部制作电极完成该调制器制作。利用有限元法对非对称共面带线(ACPS)和对称共面带线(SCPS)两种电极的光纤型调制器微波等效折射率、调制... 提出一种新型LiNbO3光纤型电光调制器。用LiNbO3光纤制成的M-Z干涉计置于SiO2基体上,在铌酸锂光纤上部制作电极完成该调制器制作。利用有限元法对非对称共面带线(ACPS)和对称共面带线(SCPS)两种电极的光纤型调制器微波等效折射率、调制带宽和特性阻抗进行分析。在工作波长1.5μm下,SCPS电极光纤型调制器宽带74.03GHz,半波电压为2.29V;ACPS电极光纤型调制器宽带可达82.25GHz,半波电压为1.37V。结果表明,后者性能优于前者,但两种电极的光纤型调制器都可获得大带宽、低半波电压和良好的阻抗匹配。 展开更多
关键词 电光调制器 有限元分析 行波调制器
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SiGe/Si异质结PIN顶注入电光调制器的数值分析
19
作者 冯露露 冯松 +2 位作者 胡祥建 王迪 陈梦林 《西安工业大学学报》 CAS 2022年第4期408-413,共6页
针对电光调制器的调制效率低造成调制器的驱动电压较高的问题。文中基于等离子色散效应理论,利用计算机辅助设计模拟方法,设计了一种SiGe/Si异质结PIN顶注入硅基电光调制器,分析了不同结构尺寸、掺杂浓度下折射率变化、吸收系数变化和... 针对电光调制器的调制效率低造成调制器的驱动电压较高的问题。文中基于等离子色散效应理论,利用计算机辅助设计模拟方法,设计了一种SiGe/Si异质结PIN顶注入硅基电光调制器,分析了不同结构尺寸、掺杂浓度下折射率变化、吸收系数变化和衰减等影响。研究结果表明:该器件有效增大了折射率变化和吸收系数变化,增强了电光调制器的等离子体色散效应,提高了硅基调制器的调制效率。SiGe/Si异质结PIN顶注入电光调制器的20dB衰减所需的驱动电压从1.24V降到0.99V,其调制效率约为硅基调制器的1.25倍,SiGe/Si异质结可以有效增强等离子体色散效应,提高电光调制器的调制效率,改善电光调制器的性能。 展开更多
关键词 电光调制器 硅基调制器 等离子体色散效应 SIGE/SI异质结
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低半波电压铌酸锂薄膜电光调制器仿真与分析
20
作者 王生水 魏朝阳 +2 位作者 姜晨 高睿 万欣 《上海理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期452-459,共8页
针对铌酸锂薄膜Mach-Zehnder电光调制器存在半波电压较大的问题,采用有限元法对方向耦合器耦合模理论进行分析,并对电光调制器的关键结构参数进行优化设计。结果表明:两干涉臂光功率差与波导耦合长度呈正弦函数分布,最小波导耦合长度随... 针对铌酸锂薄膜Mach-Zehnder电光调制器存在半波电压较大的问题,采用有限元法对方向耦合器耦合模理论进行分析,并对电光调制器的关键结构参数进行优化设计。结果表明:两干涉臂光功率差与波导耦合长度呈正弦函数分布,最小波导耦合长度随耦合间距的增大而增大。在调制臂长度为2 cm,光波长为1550 nm时,仿真计算的半波电压值Vπ为0.9 V,半波电压长度积为1.8 V·cm,消光比达到26 dB。通过调制臂截面分析,得到静电场分量Ex,电位移矢量Dx,以及光模分布,并计算出电光重叠积分因子Γ为0.586。基于上述仿真结果,与以往现有的电光调制器的半波电压(1.4~10.2 V)相比,经优化后的电光调制器的半波电压更低,进而使器件的功耗更低,有利于大规模光电集成。 展开更多
关键词 半波电压 铌酸锂薄膜 电光调制器 有限元法 方向耦合器 光波导
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