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磁控溅射镀膜中工作气压对沉积速率的影响 被引量:17
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作者 王璘 余欧明 +2 位作者 杭凌侠 赵保平 王忠厚 《真空》 CAS 北大核心 2004年第1期9-12,共4页
沉积速率是磁控溅射镀膜技术中的一项重要指标 ,它由许多因素决定。为了定性地了解沉积速率与工作气压之间的关系 ,通过实验测定了不同工作气压下的沉积速率 ,发现存在一个最大值 ,并对应有一个最佳工作气压。运用气体放电理论对这一现... 沉积速率是磁控溅射镀膜技术中的一项重要指标 ,它由许多因素决定。为了定性地了解沉积速率与工作气压之间的关系 ,通过实验测定了不同工作气压下的沉积速率 ,发现存在一个最大值 ,并对应有一个最佳工作气压。运用气体放电理论对这一现象进行了分析。这个结论为提高薄膜制备效率指明了方向 。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 沉积速率 工作气压 磁场
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磁控溅射离子束流密度的研究 被引量:7
2
作者 徐均琪 杭凌侠 蔡长龙 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期74-76,共3页
磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用。磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况 ,直接决定着薄膜质量的优劣。本文通过对比研究了普通磁控溅射 (MS)和非平衡磁控溅射 (UBMS)两种工作模式下 ,氩气流量、负偏压等工艺参... 磁控溅射镀膜技术由于具有显著的优点而得到了广泛的应用。磁控溅射离子束流密度的大小及分布状况 ,直接决定着薄膜质量的优劣。本文通过对比研究了普通磁控溅射 (MS)和非平衡磁控溅射 (UBMS)两种工作模式下 ,氩气流量、负偏压等工艺参数对离子束流密度大小的影响 ,测试了基片架附近的离子密度 ,分析讨论了测试结果。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 离子束流密度 氩气 磁通量
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无屏蔽罩的矩形平面磁控溅射靶的设计 被引量:1
3
作者 常天海 《华南理工大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期38-41,共4页
通过理论分析、实际设计和实验 ,对矩形平面磁控溅射靶表面水平磁感应强度B的传统取值上限进行了拓展 .结果表明 :若阴极靶体下表面和 4个侧面的的磁感应强度被屏蔽低于 0 .0 0 0 5T ,同时上表面覆盖同一靶材 ,则可抛弃屏蔽罩 ,采用裸... 通过理论分析、实际设计和实验 ,对矩形平面磁控溅射靶表面水平磁感应强度B的传统取值上限进行了拓展 .结果表明 :若阴极靶体下表面和 4个侧面的的磁感应强度被屏蔽低于 0 .0 0 0 5T ,同时上表面覆盖同一靶材 ,则可抛弃屏蔽罩 ,采用裸靶结构 ,靶表面的水平磁感应强度B就可以远高于 0 .0 5T ,达到 0 .0 9T ;此外 ,B的增加显著降低了磁控溅射镀膜工艺的着火电压和维持放电电压 。 展开更多
关键词 屏蔽罩 矩平面磁控溅射 磁控溅射镀膜 磁感应强度 设计原理
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研究型近代物理实验教学模式探索与实践--磁控溅射法氧化锌薄膜的制备及其特性研究 被引量:7
4
作者 陈星辉 周昕 李雪勇 《大学物理实验》 2020年第4期90-94,共5页
为实现“新工科”人才培养目标,近代物理实验课程教学在完成基本实验教学内容之后增设研究型实验教学内容,以“研究性学习与创新性实验”教学形式开展。以磁控溅射法氧化锌薄膜的制备及其特性研究实验为例,介绍了研究型实验教学的实践... 为实现“新工科”人才培养目标,近代物理实验课程教学在完成基本实验教学内容之后增设研究型实验教学内容,以“研究性学习与创新性实验”教学形式开展。以磁控溅射法氧化锌薄膜的制备及其特性研究实验为例,介绍了研究型实验教学的实践过程及以学生为主体“化整为零”的模块化教学和教师适当“问题引导”相结合的实践教学模式。教学实践表明:研究型实验教学推动了学科交叉与专业融合,提高了学生自主学习能力、科学研究能力、工程实践能力和综合能力,以学生为主体“化整为零”的模块化教学和教师适当“问题引导”相结合的教学模式教学效果良好。 展开更多
关键词 近代物理实验 研究型实验 磁控溅射镀膜 教学模式
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材料类专业虚拟仿真实验项目建设与应用 被引量:6
5
作者 朱归胜 陈彩明 +7 位作者 赵昀云 蒋坤朋 张秀云 徐华蕊 许积文 熊健 张坚 陈国华 《高教学刊》 2023年第27期22-25,共4页
虚拟仿真实验项目建设,不仅是材料科学与工程专业自身发展的内在需求,也是工程认证以学生为中心及持续改进的现实需求,更是材料类专业综合性实验教学的迫切需要。在此背景下,该文分析材料类专业建设虚拟仿真实验项目的必要性,以磁控溅... 虚拟仿真实验项目建设,不仅是材料科学与工程专业自身发展的内在需求,也是工程认证以学生为中心及持续改进的现实需求,更是材料类专业综合性实验教学的迫切需要。在此背景下,该文分析材料类专业建设虚拟仿真实验项目的必要性,以磁控溅射镀膜虚拟仿真实验项目建设为例分析材料类专业虚拟仿真实验项目的建设基本思路和建设,介绍磁控溅射虚拟仿真实验项目的应用效果以及对教学改革的促进作用,为材料类专业其他虚拟仿真实验项目的建设提供借鉴。 展开更多
关键词 材料科学 磁控溅射镀膜 虚拟仿真 实验教学 教学改革
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磁控溅射制备的Cr/CrN和Cr/CrN/CrAlN涂层耐腐蚀性能对比研究 被引量:7
6
作者 宋肖肖 欧阳俊杰 +2 位作者 赵婕宇 胡登科 陈亚军 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第2期272-280,共9页
目的比较Cr/CrN/CrAlN涂层和Cr/CrN交替涂层的耐腐蚀性能。方法利用电化学极化曲线、阻抗谱和中性盐雾试验进行测量,结合扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征微观形貌,分析两种涂层耐腐蚀性能的差异。同时,为研究涂层在服役中... 目的比较Cr/CrN/CrAlN涂层和Cr/CrN交替涂层的耐腐蚀性能。方法利用电化学极化曲线、阻抗谱和中性盐雾试验进行测量,结合扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)表征微观形貌,分析两种涂层耐腐蚀性能的差异。同时,为研究涂层在服役中的损伤工况,分析了预制划痕对Cr/CrN/CrAlN涂层耐腐蚀性能的影响。结果Cr/CrN/CrAlN涂层的自腐蚀电流密度较Cr/CrN交替涂层和TC4基体低2个数量级,腐蚀速率较小。无损伤的Cr/CrN/CrAlN涂层的极化电阻Rp为868.7 kΩ·cm^2,预制1条损伤划痕涂层的极化电阻为792.0 kΩ·cm^2,而带有5条损伤划痕涂层的极化电阻Rp仅为77.2 kΩ·cm^2,减小至原始涂层的8%。Cr/CrN/CrAlN涂层经288 h连续盐雾腐蚀后增重仅为0.1 mg/cm^2,远小于CrN涂层和TC4基体,且增重速率趋于平缓。CrN涂层在连续盐雾腐蚀24 h后,腐蚀增重速率明显增加。结论由于Cr/CrN/CrAlN涂层结构增加了微裂纹和位错运动的界面阻塞,避免孔隙的连通,阻碍了腐蚀介质进入基体,因此涂层的耐腐蚀性能提高。对于表面预制划痕的Cr/CrN/CrAlN涂层,首先发生涂层的局部腐蚀,通过阴极极化加速后,腐蚀凹坑延伸到涂层/基体界面,加剧涂层的局部剥离。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 Cr/CrN Cr/CrN/CrAlN 电化学实验 耐腐蚀性能
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镀铝瓦楞纸板制备及其家具设计应用 被引量:5
7
作者 周颐 周威 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第14期46-49,共4页
本着经济的可持续发展理念,探讨了真空镀铝磁控溅射镀膜机理及技术方法,介绍了镀铝瓦楞纸板的制备工艺,从而获得绿色环保的镀铝瓦楞纸板新材料。深入分析了镀铝瓦楞纸板在家具设计中的应用,为生产新颖、美观且具有时代特点的镀铝瓦楞纸... 本着经济的可持续发展理念,探讨了真空镀铝磁控溅射镀膜机理及技术方法,介绍了镀铝瓦楞纸板的制备工艺,从而获得绿色环保的镀铝瓦楞纸板新材料。深入分析了镀铝瓦楞纸板在家具设计中的应用,为生产新颖、美观且具有时代特点的镀铝瓦楞纸板家具提供参考。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 镀铝瓦楞纸板 纸板家具
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磁控溅射镀膜技术的研究及发展趋势 被引量:5
8
作者 赵向杰 《合成材料老化与应用》 2020年第2期120-122,共3页
综述了磁控溅射镀膜技术在非平衡磁场溅射、脉冲磁控溅射等方面的发展,利用新型的磁控溅射镀膜技术可以实现薄膜的高速沉积、高纯薄膜制备以及提高反应溅射沉积薄膜的质量等,并进一步取代电镀等传统表面处理技术。并阐述磁控溅射镀膜技... 综述了磁控溅射镀膜技术在非平衡磁场溅射、脉冲磁控溅射等方面的发展,利用新型的磁控溅射镀膜技术可以实现薄膜的高速沉积、高纯薄膜制备以及提高反应溅射沉积薄膜的质量等,并进一步取代电镀等传统表面处理技术。并阐述磁控溅射镀膜技术在电子、光学、表面功能薄膜等许多方面的应用。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 薄膜制备 应用
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磁溅镀膜轴承新材料的研究 被引量:4
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作者 郭亚军 李庆芬 +2 位作者 尹树桐 任正义 王俊 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2001年第6期93-96,0,共4页
随着造船和汽车工业的发展 ,人们对发动机的功率和转速指标要求越来越高 ,因而对轴瓦、衬套等耐磨零件的服役性能要求也越来越苛刻 ,因此必须寻找新的性能优良的耐磨材料和涂层技术以改善轴承材料的摩擦学性能、耐磨性能、承载能力及适... 随着造船和汽车工业的发展 ,人们对发动机的功率和转速指标要求越来越高 ,因而对轴瓦、衬套等耐磨零件的服役性能要求也越来越苛刻 ,因此必须寻找新的性能优良的耐磨材料和涂层技术以改善轴承材料的摩擦学性能、耐磨性能、承载能力及适应性 .利用国产设备 ,通过理论探索和实验研究 ,创造出一种微观结构优良的轴承材料 ,并获得了磁溅该材料的工艺参数 ,试制的涂层轴瓦材料性能已基本达到了美巴公司产品的性能指标 .关于通过磁控溅射镀膜技术获得的AlSn2 0镀膜的组织结构及性能的研究 ,为进一步开展新型轴承材料的研制奠定了基础 . 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 轴承 AlSn20 滑动轴承
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靶材质量对大面积镀膜生产的影响 被引量:3
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作者 胡冰 王烁 《建筑玻璃与工业玻璃》 2015年第5期18-21,17,共5页
真空磁控溅射镀膜现在已经成为工业镀膜生产中最主要的技术之一。靶材作为磁控溅射镀膜使用的大宗原材料,其质量对膜层性能有很大的影响,同时会影响到镀膜的生产效率和成本,对大面积玻璃镀膜企业有很大的影响。本文结合生产实际使用... 真空磁控溅射镀膜现在已经成为工业镀膜生产中最主要的技术之一。靶材作为磁控溅射镀膜使用的大宗原材料,其质量对膜层性能有很大的影响,同时会影响到镀膜的生产效率和成本,对大面积玻璃镀膜企业有很大的影响。本文结合生产实际使用情况,将靶材对镀膜生产影响的主要特征参数,包括靶材的密度、晶粒尺寸、纯度、与衬管(背板)连接质量等因素进行了分析和研究,并在其参数控制方面给予相关建议。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 生产效率 连接质量 靶材 面积 膜层性能 玻璃镀膜 特征参数
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类金刚石碳膜磁控溅射抗剥离结合强度的实验研究 被引量:3
11
作者 王德山 《廊坊师范学院学报(自然科学版)》 2014年第6期39-41,49,共4页
在复杂型腔制件W18Cr4V钢基体上采用磁控溅射法涂镀类金刚石,研究不同的中间过渡层制备复合结构层的DLC碳膜,薄膜中含有sp3杂化碳原子含量最高,且膜层外观结构光滑无裂痕,韧度、界面结合强度、硬度和厚度等性能指标良好。实验结果对比... 在复杂型腔制件W18Cr4V钢基体上采用磁控溅射法涂镀类金刚石,研究不同的中间过渡层制备复合结构层的DLC碳膜,薄膜中含有sp3杂化碳原子含量最高,且膜层外观结构光滑无裂痕,韧度、界面结合强度、硬度和厚度等性能指标良好。实验结果对比分析发现Ti/Ti N/Ti Al N为过渡层的DLC碳膜抗剥离附着性能好,膜层间的结合强度和致密度大幅提高,涂层的内应力明显降低,DLC碳膜的综合力学性能得到全面改善。 展开更多
关键词 磁控溅射镀膜 类金刚石碳膜 复杂型腔制件 抗剥离特性 结合强度
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用磁控溅射镀膜法取代化学电镀 被引量:1
12
作者 余重文 《环保科技》 1991年第2期36-40,共5页
引言“中国环境报”90年12月6日,刊登了“电镀法将被取代”一文。该文所介绍的这一新技术的重要性在于,它体现了当前世界环保的大趋势:越来越重视采用控制手段来减轻污染。应该在生产源头用新技术控制污染。
关键词 磁控溅射镀膜 镀膜 电镀法 中国环境报 生产源头 污水处理厂 热蒸发 镀膜技术 靶材 双室
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火灾自动环保型闭门器表面磁控溅射镀膜关键技术的研究 被引量:2
13
作者 王德山 陈尤旭 《现代机械》 2020年第1期76-79,共4页
火灾自动闭门器的质量和寿命在国内备受关注,目前大多对闭门器表面处理均采用带有污染性的化学电镀工艺。为解决这一污染环境问题,本文阐述了一种可取代传统湿式电镀或电解镀技术的真空镀膜技术,能够在具有非同一平面内且具有一定复杂... 火灾自动闭门器的质量和寿命在国内备受关注,目前大多对闭门器表面处理均采用带有污染性的化学电镀工艺。为解决这一污染环境问题,本文阐述了一种可取代传统湿式电镀或电解镀技术的真空镀膜技术,能够在具有非同一平面内且具有一定复杂外形结构的自动环保型闭门器的表面,涂有均匀厚度、致密且连续的功能性薄膜。分别从逐级式的过渡沉积、离化率和均一性调控进行研究,验证磁控溅射镀膜的先进性。 展开更多
关键词 火灾自动闭门器 磁控溅射镀膜 功能性薄膜
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泡沫塑料表面的磁控溅射镀膜技术研究 被引量:2
14
作者 刘际伟 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期8-9,共2页
对硬质聚氨酯泡沫塑料进行适当的前处理 (涂刮不饱和聚酯腻子和喷涂双组份聚氨酯清漆 ) ,再采用磁控溅射镀膜技术对其进行紫铜T2镀膜 ,能够有效地降低泡沫塑料的吸水率 ,提高尺寸稳定性。
关键词 泡沫塑料 磁控溅射镀膜 技术 研究 硬质聚氨酯泡沫 吸水率 尺寸稳定性
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磁控溅射镀膜生产ZnO∶Al(AZO)薄膜的工艺探讨 被引量:2
15
作者 陈英 郭卫 《玻璃》 2018年第6期42-45,共4页
讨论了采用磁控溅射镀膜工艺在玻璃衬底上制作AZO透明导电薄膜的工艺方法。分析了AZO透明导电膜产品的质量指标,介绍了磁控溅射镀膜工艺及设备、靶材的选择、玻璃基板加热温度的选择、溅射气体的压力的选择等。
关键词 磁控溅射镀膜 ZnO:Al(AZO)薄膜 工艺
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离子束溅射淀积速率的计算 被引量:2
16
作者 黄壮锐 姜祥祺 陈国梁 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第1期17-21,共5页
一、引言离子束溅射技术已广泛应用于表面刻蚀和制备薄膜。由于离子束电流强度和加速电压能够独立地调节,并且衬底与离子源之间有较大的距离,因而离子能量、电流密度、衬底温度和离子束入射角都能分别控制。离子束溅射还能在比通常的射频。
关键词 离子束溅射 衬底温度 磁控溅射镀膜 刻蚀速率 元素靶 加速电压 薄膜生长 超导薄膜 速率表 离子能量
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化工上市公司公告集萃
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《中国石油和化工》 2023年第8期55-56,共2页
(2023年7月)捷佳伟创│加码钙钛矿业务7月2日晚间,捷佳伟创(300724)发布公告称,拟募集资金总额不超过9.61亿元,用于投资钙钛矿及钙钛矿叠层设备产业化项目及补充流动资金。项目建成达产后可年产160台磁控溅射镀膜设备、119台反应式等离... (2023年7月)捷佳伟创│加码钙钛矿业务7月2日晚间,捷佳伟创(300724)发布公告称,拟募集资金总额不超过9.61亿元,用于投资钙钛矿及钙钛矿叠层设备产业化项目及补充流动资金。项目建成达产后可年产160台磁控溅射镀膜设备、119台反应式等离子镀膜设备及60台真空蒸镀设备。 展开更多
关键词 公司公告 镀膜设备 募集资金 真空蒸镀 磁控溅射镀膜 钙钛矿 流动资金 设备产业化
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镀膜玻璃生产现状与发展 被引量:1
18
作者 戴法震 《建筑玻璃与工业玻璃》 2004年第5期3-11,共9页
玻璃以其透明、高可见光透过率、高硬度、耐磨、重量轻等优异性能早已被广泛应用于建筑物门窗、天窗、幕墙等部位,为建筑物提供景观、装饰、采光及获得阳光辐射能量,成为建筑物不可缺少的主要材料;玻璃同时也是汽车、飞机、轮船等交... 玻璃以其透明、高可见光透过率、高硬度、耐磨、重量轻等优异性能早已被广泛应用于建筑物门窗、天窗、幕墙等部位,为建筑物提供景观、装饰、采光及获得阳光辐射能量,成为建筑物不可缺少的主要材料;玻璃同时也是汽车、飞机、轮船等交通工具制造业、高科技行业及其它很多经济部门重要原材料。有学者预言在未来很长的一个时期还不可能有新的更好的材料取代它。 展开更多
关键词 镀膜玻璃 二次加工 平板玻璃 生产工艺 低辐射膜玻璃 磁控溅射镀膜 在线气相沉积 ITO膜透明导电玻璃 自清洁玻璃 增透膜玻璃 高反射膜玻璃 风挡玻璃
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低辐射镀膜玻璃的色差分析与检测 被引量:1
19
作者 余华骏 《建筑玻璃与工业玻璃》 2004年第5期11-15,共5页
本文从色差的定义与说明入手,简要分析了磁控溅射低辐射镀膜玻璃产生色差的原因,主要有磁控靶内磁场强度不均;工艺气体不纯或气体流不稳定;真空状态不稳定;靶材短路、断路以及传送线出现故障引起的靶材跳闸;工艺参数或走速设置错... 本文从色差的定义与说明入手,简要分析了磁控溅射低辐射镀膜玻璃产生色差的原因,主要有磁控靶内磁场强度不均;工艺气体不纯或气体流不稳定;真空状态不稳定;靶材短路、断路以及传送线出现故障引起的靶材跳闸;工艺参数或走速设置错误以及原片原因等,并相应地提出了减少色差的基本途径和基本的解决办法。接着浅显地讲述了色差的单位;色的宽容量;给出了计算色差的基本原理与色差的检测方法。最后列举了近几年来从国外引进的磁控溅射低辐射镀膜玻璃生产线的几种检测手段。 展开更多
关键词 低辐射镀膜玻璃 色差 磁控溅射镀膜 浮法玻璃 工艺气体 工艺调试 检测方法 透射比在线测量系统 在线检测系统 在线面电阻检测系统 手提测色仪
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基于PLC和WinCC组态的玻璃镀膜机设计
20
作者 张羽洲 《现代制造技术与装备》 2023年第2期194-196,共3页
磁控溅射是一种常见的玻璃镀膜工艺,具有工艺简单、真空度易控制等优点。文章探讨基于磁控溅射技术的玻璃真空镀膜自动控制技术,根据玻璃镀膜的工艺流程,设计了一种通用的真空玻璃镀膜机控制系统。该系统以S7-400型的可编程逻辑控制器(P... 磁控溅射是一种常见的玻璃镀膜工艺,具有工艺简单、真空度易控制等优点。文章探讨基于磁控溅射技术的玻璃真空镀膜自动控制技术,根据玻璃镀膜的工艺流程,设计了一种通用的真空玻璃镀膜机控制系统。该系统以S7-400型的可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)为控制核心,实现了玻璃真空镀膜的逻辑控制和现场数据采集与处理。系统上位机监控采用视窗控制中心(Windows Control Center,WinCC)组态软件设计,并利用Modbus协议实现通信。 展开更多
关键词 可编程逻辑控制器(PLC) 视窗控制中心(WinCC)组态 玻璃镀膜 磁控溅射镀膜 自动控制
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