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液晶空间光调制器的纯相位调制特性研究 被引量：31
1
作者 刘伯晗 张健 吴丽莹 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期213-217,共5页
介绍了液晶空间光调制器的纯相位调制原理,采用泰曼-格林干涉系统对液晶纯相位特性进测试。针对BNS(Boulder Nonlinear Systems)公司的专利产品-256256像素纯相位空间光调制器的相位与电压(灰度)的响应曲线。给出了对任意图形进行相位... 介绍了液晶空间光调制器的纯相位调制原理,采用泰曼-格林干涉系统对液晶纯相位特性进测试。针对BNS(Boulder Nonlinear Systems)公司的专利产品-256256像素纯相位空间光调制器的相位与电压(灰度)的响应曲线。给出了对任意图形进行相位恢复的优化算法流程,利用纯相位调制方法对光束进行方向和强度的快速程序控制。设计了实验装置,实际产生了二维任意衍射图形,图形产生时间小于200 ms。本研究对空间目标进行扫描跟踪,具有精确、响应快、无机械惰性等特点,在激光寻的、制导以及多目标威胁预警和反击中有着重要的研究价值。 展开更多
关键词 空间光调制器 干涉术 优化算法 相位调制
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剪切散斑:一种光学测量技术及其应用 被引量：24
2
作者 洪友仁 何浩培 何小元 《实验力学》 CSCD 北大核心 2006年第6期667-688,共22页
本文综述了剪切散斑测量技术及其成功的应用领域。剪切散斑技术是一种基于激光的全场、非接触表面变形(位移或应变)测量技术,它无需特殊的隔震装置,克服了因参考光束给全息干涉技术所带来的诸多限制。因此,它是用于现场测量的一个有效... 本文综述了剪切散斑测量技术及其成功的应用领域。剪切散斑技术是一种基于激光的全场、非接触表面变形(位移或应变)测量技术,它无需特殊的隔震装置,克服了因参考光束给全息干涉技术所带来的诸多限制。因此,它是用于现场测量的一个有效工具。剪切散斑测量技术已经得到了工业界的普遍认同,尤其是在工业无损检测方面更显示出了它的极大优势,它可以通过识别被诱发的异常变形来显示物体的内部缺陷。剪切散斑的应用还包括应变测量、材料特性表征、残余应力评估、泄漏探测、振动分析和三维形貌测量等。 展开更多
关键词 剪切散斑 干涉术 散斑 位相识别 无损检测 变形测量 残余应力测量 振动分析 泄漏探测 表面轮廓术 三雏形貌测量
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环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究 被引量：21
3
作者 王孝坤 张学军 +1 位作者 王丽辉 郑立功 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期527-532,共6页
利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了... 利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。 展开更多
关键词 环形子孔径拼接 非球面检验 干涉术 Zernike多项式拟合 计算机模拟
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大口径高次、离轴非球面干涉测量中投影畸变的标定方法 被引量：23
4
作者 李锐钢 郑立功 +1 位作者 薛栋林 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期533-538,共6页
提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.96... 提出了运用干涉仪的Fiducial功能确定干涉仪CCD的测量坐标系与非球面镜面坐标系的对应关系,然后对两者关系进行正交化拟合,从而标定出非球面干涉检验中的投影畸变,并用于某高次、离轴非球面进行干涉检验中的投影畸变标定,拟合精度为1.964 53μm。根据标定结果对干涉测量面形图重构,进行了数控抛光实验,最终面形精度达到均方根值λ/20(λ=0.632 8μm),证明拟合精度完全满足数控抛光的要求。 展开更多
关键词 非球面检验 干涉术 Fiducial功能 投影畸变 干涉图重构 标定
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干涉法实时测量浅度非球面技术 被引量：17
5
作者 王孝坤 王丽辉 张学军 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期184-189,共6页
提出了一种实时干涉检测非球面的新方法,该方法无需补偿器、计算全息图等辅助元件就能实现对浅度非球面的测量。对非球面度较小的非球面,直接利用标准球面镜作为参考表面,通过数字干涉仪可以测得全孔径位相分布,将所得的数据剔除参考球... 提出了一种实时干涉检测非球面的新方法,该方法无需补偿器、计算全息图等辅助元件就能实现对浅度非球面的测量。对非球面度较小的非球面,直接利用标准球面镜作为参考表面,通过数字干涉仪可以测得全孔径位相分布,将所得的数据剔除参考球面波相对理论非球面的偏差,并运用最小二乘拟合求得机构定位误差,消去此误差,即可获得真实的面形信息。利用该方法对一口径为350 mm的浅度双曲面进行了测量,通过数据分析和处理得到面形误差的PV值和RMS值分别为0.387λ和0.048λ(λ=632.8 nm),将该结果与零位补偿的检测结果相比较,两面形分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分别为0.033λ和0.006λ,说明该技术用于检测浅度非球面是切实可行的。 展开更多
关键词 光学检测 非球面 干涉术 非球面度 最小二乘拟合
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利用部分补偿透镜进行非球面面形测量 被引量：10
6
作者 刘惠兰 郝群 +1 位作者 朱秋东 沙定国 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第7期625-628,共4页
提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透... 提出用部分补偿透镜进行非球面检验的方法.对部分补偿透镜的设计方法和要求进行了研究,针对3种不同参数的非球面设计了部分补偿透镜,结构比零补偿器更简单.分析了各种部分补偿透镜的非球面度补偿范围,证明用简单且易于制造的部分补偿透镜补偿不同相对孔径和非球面度的非球面.测量精度可达到λ/10. 展开更多
关键词 部分补偿透镜 非球面测量 法线像差 干涉术
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运用泽尼特多项式的相位去包裹算法 被引量：9
7
作者 韦春龙 陈明仪 王之江 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第7期912-917,共6页
提出了一种新的相位去包裹算法，主要针对光学光滑表面以及由于少数低调制度点、散斑点、噪声或灰尘（以下简称误差点）引起的去包裹失败的情形。该算法运用泽尼特（Ｚｅｒｎｉｋｅ）多项式对误差点区域进行拟合，通过一定阈值的设置，... 提出了一种新的相位去包裹算法，主要针对光学光滑表面以及由于少数低调制度点、散斑点、噪声或灰尘（以下简称误差点）引起的去包裹失败的情形。该算法运用泽尼特（Ｚｅｒｎｉｋｅ）多项式对误差点区域进行拟合，通过一定阈值的设置，将误差点清除并予以拟合，具有计算快速的特点。 展开更多
关键词 干涉术 条纹分析 泽尼特多项式 去包裹算法
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剪切散斑干涉术的统计分析 被引量：4
8
作者 陈家璧 周维桢 裴敏 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第4期333-340,共8页
本文用统计光学方法分析了剪切散斑图的成象过程;散斑图的频谱分布以及全场滤波干涉条纹的形成.发现剪切散斑干涉条纹不仅与三维位移微分有关,而且与面内位移量有关.在此基础上又讨论了影响干涉条纹质量的有关因素,并作了实验验证.
关键词 剪切散斑图 干涉术 统计分析
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圆形域干涉图中的相位解包裹 被引量：4
9
作者 李国栋 韦春龙 +2 位作者 于瀛洁 程维明 陈明仪 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2000年第5期473-477,共5页
相位解包裹问题是许多干涉术中存在的基本问题。运用 DCT方法的解包裹算法是十分有效、健壮的 ,然而仅适用于方形域条纹图处理。本文引入加权迭代方法将其有效地运用于常见的圆形域干涉图的处理。模拟结果表明 ,加权迭代法的计算精度可... 相位解包裹问题是许多干涉术中存在的基本问题。运用 DCT方法的解包裹算法是十分有效、健壮的 ,然而仅适用于方形域条纹图处理。本文引入加权迭代方法将其有效地运用于常见的圆形域干涉图的处理。模拟结果表明 ,加权迭代法的计算精度可达 1 0 - 7rad,相对于普通的 DCT解包裹算法有非常大的提高。我们在自行研制的 DOP-2 0 0 0型数字光学轮廓仪上 ,运用相移干涉术对一多刻线样板进行了测量 ,实验结果进一步表明 ,本文的加权迭代法是一种非常有效和实用的方法。 展开更多
关键词 相位解包裹 加权迭代 干涉术 圆形域干涉图
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基于一维快速傅里叶变换的相位去包裹算法 被引量：5
10
作者 韦春龙 陈明仪 王之江 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第9期813-816,共4页
提出了一种新的相位去包裹算法，主要针对那些条纹数少，条纹质量相对较好，仅仅是由于少数低调制度点、散斑点、噪声或灰尘引起的去包裹失败的情形。该算法基于一维ＦＦＴ（快速傅里叶变换），简单且易于实现。
关键词 干涉术 条纹分析 FFT 去包裹算法
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基于分支设置的质量导引相位展开算法 被引量：6
11
作者 路元刚 王向朝 +2 位作者 何国田 钟向红 郑德锋 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期460-464,共5页
二维相位展开方法是近年来较为活跃、引起关注的一个研究课题,它在许多测量应用中有着重要的作用。尽管掩膜阻断算法在多个领域都有成功应用实例,该算法存在着固有的缺陷。为了克服掩膜阻断算法的缺陷,综合分支阻断方法和质量导引方法... 二维相位展开方法是近年来较为活跃、引起关注的一个研究课题,它在许多测量应用中有着重要的作用。尽管掩膜阻断算法在多个领域都有成功应用实例,该算法存在着固有的缺陷。为了克服掩膜阻断算法的缺陷,综合分支阻断方法和质量导引方法的优点,提出一种基于分支设置的质量导引相位展开新算法。它先以一个初始质量图来引导分支的设置,然后把分支对应的相位质量设置为最低,从而产生一个新的质量图,最后按新质量图来引导相位展开,并使用几个包裹相位图来验证此方法的有效性。计算机模拟相位图和实际相位图的相位展开结果表明,在存在复杂轮廓不连续和高噪声的情况下,该算法优于模板阻断算法,能得到较好的相位展开结果。 展开更多
关键词 信息光学 图像处理 三维测量 干涉术 相位展开
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基于最小二乘迭代的多波长同时相移干涉测量方法 被引量：5
12
作者 范金坪 徐小飞 +2 位作者 吕晓旭 刘胜德 钟丽云 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期211-220,共10页
提出一种基于最小二乘迭代的多波长同时相移干涉测量方法。该方法可以在三个波长光波同时入射的同轴相移干涉测量系统中,对所有波长进行同时相移,通过单色CCD采集一系列相移量未知的多波长同时相移干涉条纹图,利用最小二乘迭代算法提取... 提出一种基于最小二乘迭代的多波长同时相移干涉测量方法。该方法可以在三个波长光波同时入射的同轴相移干涉测量系统中,对所有波长进行同时相移,通过单色CCD采集一系列相移量未知的多波长同时相移干涉条纹图,利用最小二乘迭代算法提取出单个波长下的包裹相位分布。结合多波长光学位相解包和降噪处理得到合成波长的相位分布,进而测量出待测物体的三维形貌。对该方法进行了数值模拟和光学实验验证,结果表明该方法实验过程简便、测量精度高、抗噪能力强。 展开更多
关键词 测量 相干光学 干涉术 相位测量 相移技术 多波长相移干涉术 最小二乘迭代算法
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双波长全息干涉术在测量非球面中的应用 被引量：2
13
作者 李月强 杜玲 施涌潮 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期224-225,共2页
双波长全息干涉术在测量非球面中的应用李月强，杜玲，施涌潮（北京机械工业学院１０００８５）ＴｅｓｔｉｎｇＡｓｐｈｅｒｉｃｓｂｙＴＷＨＩ．￥ＬｉＹｕｅｑｉａｎｇ；ＤｕＬｉｎｇ；ＳｈｉＹｏｎｇｃｈａｏ（Ｂｅｉｊｉｎｇｉｎｓ... 双波长全息干涉术在测量非球面中的应用李月强，杜玲，施涌潮（北京机械工业学院１０００８５）ＴｅｓｔｉｎｇＡｓｐｈｅｒｉｃｓｂｙＴＷＨＩ．￥ＬｉＹｕｅｑｉａｎｇ；ＤｕＬｉｎｇ；ＳｈｉＹｏｎｇｃｈａｏ（Ｂｅｉｊｉｎｇｉｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆｍｅｃｈａｎｉｃａ... 展开更多
关键词 全息术 非球面 光学设计 测量 干涉术
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光栅大错位数字散斑干涉术的研究 被引量：4
14
作者 谢蒙萌 姜锦虎 +2 位作者 杨勇 陈大庆 龚浩瀚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期125-128,共4页
提出一种新的大错位数字散斑干涉术。它在成像物镜的像方空间放置光栅 ,利用光栅的衍射原理 ,使来自参考物和被测物的光波在像面发生干涉。用傅里叶光学原理详细讨论了该方法的基本原理 ,并对受均布载荷的周界固定方板这一典型试件的离... 提出一种新的大错位数字散斑干涉术。它在成像物镜的像方空间放置光栅 ,利用光栅的衍射原理 ,使来自参考物和被测物的光波在像面发生干涉。用傅里叶光学原理详细讨论了该方法的基本原理 ,并对受均布载荷的周界固定方板这一典型试件的离面位移场进行了实测。结果表明 ,实验值和理论解吻合。报导了一些应用实例。理论和实验表明 ,该方法不仅具有全息干涉计量术达λ/ 4的高灵敏度 ,还具有防震要求低和能在明场环境下进行现场测量的显著优点。 展开更多
关键词 大错位 数字散斑 光栅 干涉术
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多普勒测速技术的新进展 被引量：1
15
作者 刘童麟 王蕴珊 +1 位作者 王祖增 赵修业 《济南大学学报（社会科学版）》 1995年第1期64-68,共5页
七十年代以来,随着对固体材料冲击波的研究,激光多普勒测速技术有了新进展:广量程和高解析度.最早用于冲击波研究的是位移干涉仪,其局限性是被测速度不能超过200m/sec.为了扩大量程,继而研制出速度干涉仪,从方法上解决了高速度的测量.... 七十年代以来,随着对固体材料冲击波的研究,激光多普勒测速技术有了新进展:广量程和高解析度.最早用于冲击波研究的是位移干涉仪,其局限性是被测速度不能超过200m/sec.为了扩大量程,继而研制出速度干涉仪,从方法上解决了高速度的测量.但速度干涉仪对测速物体表面有磨光的要求,这也限制了它的实际应用.解决的方法是引入广角迈克尔逊干涉仪,以利用物体自然表面的漫射光,这就是对任何反射物的速度干涉仪系统,即VISAR.VISAR是目前激光多普勒测速仪器中最具代表性的一种,本文作了重点介绍. 展开更多
关键词 激光多普勒 干涉术 漫射
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星体斑点干涉术的实验模拟 被引量：5
16
作者 沈忙作 王伟建 《天文学报》 1984年第3期293-299,共7页
本文介绍大气效应的实验室模拟,星体斑点干涉术的数据处理和实验结果,并讨论了这一技术在实际应用中要解决的问题。
关键词 干涉术 传递函数 转移函数 谱(数学) 功率谱 星体 衍射极限 相位板 准直物镜 大气效应 空间频率 长曝光像 天文望远镜 实验模拟
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激光引爆起爆药的机理及其爆轰流场的干涉法研究
17
作者 闫大鹏 苗鹏程 +1 位作者 王海林 贺安之 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期230-237,共8页
本文从实验上研究小型脉冲YAG激光引爆或引燃起爆药的可能性;在理论上,从激光热引爆的机理简述了激光引燃或引爆的判据。并采用大口径长程F—P型干涉仪,外调制序列脉冲激光源和高速记录装置,获得了起爆药爆轰流场和燃烧温度场的时间序... 本文从实验上研究小型脉冲YAG激光引爆或引燃起爆药的可能性;在理论上,从激光热引爆的机理简述了激光引燃或引爆的判据。并采用大口径长程F—P型干涉仪,外调制序列脉冲激光源和高速记录装置,获得了起爆药爆轰流场和燃烧温度场的时间序列干涉图,定量计算了爆轰冲击波的传播速度。 展开更多
关键词 爆轰 流场 干涉术 激光引爆 点火
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实时扫描非接触测量表面微观轮廓仪 被引量：1
18
作者 杨甬英 徐敏 卓永模 《浙江大学学报（自然科学版）》 CSCD 1999年第3期317-322,共6页
介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术，同时研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪．该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样；利用干涉共模抑制技术，有效抑制了各种噪声，测量数据... 介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术，同时研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪．该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样；利用干涉共模抑制技术，有效抑制了各种噪声，测量数据可靠；实时显示表面轮廓参数及轮廓图，仪器横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ． 展开更多
关键词 干涉术 非接触测量 表面粗糙度 表面微观轮廓仪
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一种新颖的点衍射干涉轻敲模式原子力显微镜 被引量：3
19
作者 冷炜 杨甬英 杨李茗 《光学仪器》 2005年第3期65-69,共5页
论述了一种新颖的原子力显微镜,它利用硅微探针的特殊结构和相关光学系统所引起的点衍射干涉现象[1]来扫描成像,因为硅微探针被用作反射型点衍射板,故光路完全共路,再结合锁相检测技术,使得该仪器抗干扰力极强且结构精巧紧凑,可适用于... 论述了一种新颖的原子力显微镜,它利用硅微探针的特殊结构和相关光学系统所引起的点衍射干涉现象[1]来扫描成像,因为硅微探针被用作反射型点衍射板,故光路完全共路,再结合锁相检测技术,使得该仪器抗干扰力极强且结构精巧紧凑,可适用于测试软硬不同材料样品,对软质高分子膜材料检测得到了实际的链状结构。 展开更多
关键词 原子力显微镜 点衍射 锁相 轻敲模式 干涉术
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相移干涉术修正五步算法研究 被引量：2
20
作者 韦春龙 陈明仪 丁峥 《光学仪器》 1997年第6期14-17,共4页
研究了修正五步算法对线性相移误差及探测器二次非线性响应误差的不灵敏特性。数值模拟结果表明，该算法在一定程度上优于B.Zhao＆Y．Sur－rel的六步算法。
关键词 干涉术 相移算法 修正五步算法 相移干涉
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