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多壁碳纳米管增强水泥基复合材料的纳米力学性能 被引量:17
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作者 刘巧玲 李汉彩 +1 位作者 彭玉娇 董晓斌 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第4期952-961,共10页
采用纳米压痕技术探讨了多壁碳纳米管(MWCNTs)对有骨料水泥基复合材料纳米尺度上力学性能的影响,分别对压痕模量(M)小于50 GPa和压痕硬度(H)小于4.0 GPa的数据进行了统计,对其频率分布进行了Gaussian函数(PDF)的解卷积分峰处理,并对低... 采用纳米压痕技术探讨了多壁碳纳米管(MWCNTs)对有骨料水泥基复合材料纳米尺度上力学性能的影响,分别对压痕模量(M)小于50 GPa和压痕硬度(H)小于4.0 GPa的数据进行了统计,对其频率分布进行了Gaussian函数(PDF)的解卷积分峰处理,并对低密度水化硅酸钙凝胶(LD C-S-H)和高密度水化硅酸钙(HD C-S-H)凝胶进行了定量的体积分数计算。结果表明,除LD C-S-H、 HD C-S-H、 Ca(OH)2(CH)外,还出现了一个假相。MWCNTs降低了水化产物中LD C-S-H的体积分数,提高了HD C-S-H的体积分数,提高了C-S-H凝胶的压痕模量,但利用压痕模量和压痕硬度统计结果计算出的各相体积分数存在一定的差异。MWCNTs作为一种纳米晶核,对HD C-S-H凝胶形成起到了一定的诱导作用,从纳观尺度阐释了MWCNTs对水泥基材料的改性机制。 展开更多
关键词 多壁碳纳米管 水泥基材料 纳米力学性能 纳米压痕 压痕模量 压痕硬度
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微观性能对烧结矿低温还原粉化的影响 被引量:15
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作者 李建 毛晓明 彭新 《钢铁》 CAS CSCD 北大核心 2018年第8期15-20,共6页
为了研究在使用两种化学成分基本相同的烧结矿时,高炉上部压差和炉况差异较大的问题,对两种烧结矿分别喷洒氯化钙溶液后,进行了低温还原粉化检测。发现氯化钙溶液对A烧结矿无影响,但可显著降低B烧结矿的低温还原粉化指数。进而,采用真... 为了研究在使用两种化学成分基本相同的烧结矿时,高炉上部压差和炉况差异较大的问题,对两种烧结矿分别喷洒氯化钙溶液后,进行了低温还原粉化检测。发现氯化钙溶液对A烧结矿无影响,但可显著降低B烧结矿的低温还原粉化指数。进而,采用真密度测定仪、光学显微镜及图像分析、纳米力学测试系统,测量了两种烧结矿微观结构的差异。A烧结矿孔隙率高、晶粒细小、物相硬度低,强度差。喷洒氯化钙后,还原初期部分界面被隔绝,后期闭孔打开后,因总孔隙率高,反应界面大,且结构强度低,难以抵抗还原应力,低温还原粉化指标未得到改善。B烧结矿喷洒氯化钙后,隔绝部分气固反应界面,因孔隙率低、晶粒粗大、反应界面小,物相硬度高,矿物结构强度高,能很好地抵抗还原应力,喷洒不同量氯化钙溶液能降低低温还原粉化率10.00%~27.25%。结果表明,微观结构和性能是影响烧结矿低温还原粉化的重要因素,有助于加深对烧结矿还原粉化行为的认识。 展开更多
关键词 烧结矿 还原粉化 孔隙特征 矿相结构 纳米力学性能
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原子力显微镜研究聚丙烯酸的单链力学性质聚丙烯酸的单分子力谱 被引量:4
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作者 李宏斌 张希 沈家骢 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1998年第5期824-826,共3页
自从1986年发明原子力显微镜(AFM)以来,AFM已经发展成为应用最为广泛的扫描探针显微镜[1],它给材料科学家、化学家和生物学家提供了一个极为便利的研究手段.目前,原子力显微镜的空间分辨率已经达到原子尺度,同时又... 自从1986年发明原子力显微镜(AFM)以来,AFM已经发展成为应用最为广泛的扫描探针显微镜[1],它给材料科学家、化学家和生物学家提供了一个极为便利的研究手段.目前,原子力显微镜的空间分辨率已经达到原子尺度,同时又具有非常高的力的敏感性,可以探测1... 展开更多
关键词 原子力显微镜 单分子力谱 纳米力学 聚丙烯酸
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用纳米压痕复合扫描电子显微镜分析水泥砂浆中单一组相的力学性能(英文) 被引量:5
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作者 高岳毅 张亚梅 +1 位作者 胡传林 李宗津 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1559-1563,共5页
采用纳米压痕复合扫描电子显微镜研究了硬化水泥砂浆的物相和对应的微观力学性能。结果发现:微观尺度上,砂子、未水化水泥颗粒和氢氧化钙的弹性模量分别为105.55、107.06 GPa和60.88 GPa。同时,低密度水化产物和高密度水化产物的存在得... 采用纳米压痕复合扫描电子显微镜研究了硬化水泥砂浆的物相和对应的微观力学性能。结果发现:微观尺度上,砂子、未水化水泥颗粒和氢氧化钙的弹性模量分别为105.55、107.06 GPa和60.88 GPa。同时,低密度水化产物和高密度水化产物的存在得到了验证,其弹性模量的统计分析值分别为18.42GPa和32.53GPa。从测试结果的对比分析可以看出,未水化水泥颗粒弹性模量的测试值与文献值基本保持一致,氢氧化钙弹性模量的测试值高于文献值;水化产物弹性模量统计分析的结果虽与文献保持一致,但超高密度水化产物的存在仍有不确定性。 展开更多
关键词 纳米力学性能 弹性模量 单一物相 纳米压痕 背散射电子图象
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采用纳米压痕及动态模量图研究C-S-H凝胶/水泥颗粒界面的纳米力学性能(英文) 被引量:4
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作者 Jing XU David J.CORR Surendra P.SHAH 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期38-46,共9页
目的:揭示水泥基材料中C-S-H凝胶/水泥颗粒界面的尺寸及微观力学特性,为从纳米尺度理解水泥基材料的性能提供依据。创新点:采用动态模量图技术对C-S-H凝胶/水泥颗粒界面微区的尺度及力学行为进行研究,借助动态模量图的高分辨性,可获得... 目的:揭示水泥基材料中C-S-H凝胶/水泥颗粒界面的尺寸及微观力学特性,为从纳米尺度理解水泥基材料的性能提供依据。创新点:采用动态模量图技术对C-S-H凝胶/水泥颗粒界面微区的尺度及力学行为进行研究,借助动态模量图的高分辨性,可获得该微区精确且有效的信息。方法:对比利用纳米压痕及动态模量图对C-S-H凝胶/水泥颗粒界面进行研究。结论:纳米压痕仅能粗略估计界面微区的尺寸及力学参量,相比之下,动态模量图的分辨率要高出2个数量级(表2),因此可获得更精确的测量值。C-S-H凝胶/水泥颗粒界面的尺寸在250 nm左右,模量值介于60 GPa和70 GPa之间。此界面区可认为是包覆水泥颗粒周围的一层紧密的水化层结构,其致密性将阻止内部水泥的进一步水化。 展开更多
关键词 水泥基材料 界面 纳米力学特性 动态模量图
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水热法合成一维硒纳米材料及其力学性能分析 被引量:4
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作者 牛一凡 杨赢 杨文韬 《无机化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2016年第12期2129-2135,共7页
采用环境友好的一步水热法,以GeSe4玻璃为原料,水溶液为反应介质,在80℃合成三方相硒(t-Se)一维纳米结构。用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段表征了一维Se纳米纤维... 采用环境友好的一步水热法,以GeSe4玻璃为原料,水溶液为反应介质,在80℃合成三方相硒(t-Se)一维纳米结构。用透射电子显微镜(TEM)、拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段表征了一维Se纳米纤维的形貌和结构。结果表明,合成的Se纤维沿t-Se的[001]方向生长,截面为六边形。反应144h后,纤维长度达到毫米级,平均直径为1—5μm。对合成的Se纤维进行纳米压痕实验,测得其硬度和弹性模量分别为(399.5±20.4)MPa和(1.13±0.05)GPa。在pH=12.0的NaOH溶液(80℃)中,Se纳米纤维生长速度高于酸性(pH=3.3)和中性(pH=6.3)介质,反应24h后,纤维平均长度和直径达到344和1.12μm。 展开更多
关键词 三方相硒 纳米纤维 水热法 纳米力学性能
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聚丙烯酸的单分子应力-应变行为 被引量:3
7
作者 李宏斌 刘冰冰 +3 位作者 张希 高春晓 沈家骢 邹广田 《高分子学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1998年第4期444-448,共5页
利用原子力显微镜的一种新方法单分子力谱技术研究了聚丙烯酸单链的弹性性质,得到了聚丙烯酸链的拉力与拉伸曲线.其拉力与拉伸曲线可以通过修改的Langevin方程进行较好地拟合.结果表明聚丙烯酸链的弹性性质与长度线性成... 利用原子力显微镜的一种新方法单分子力谱技术研究了聚丙烯酸单链的弹性性质,得到了聚丙烯酸链的拉力与拉伸曲线.其拉力与拉伸曲线可以通过修改的Langevin方程进行较好地拟合.结果表明聚丙烯酸链的弹性性质与长度线性成比例,聚丙烯酸链具有相同的Kuhn长度(064±005nm)和链段弹性系数(13000±2000pN/nm),充分表明我们位伸的是聚丙烯酸的单链。 展开更多
关键词 AFM 单链 纳米力学性质 聚丙烯酸 弹性
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Nanoindentation of Teeth-A Review 被引量:3
8
作者 B.R.Hairul Nizam C.T.Lim 《实验力学》 CSCD 北大核心 2006年第1期35-50,共16页
This paper reviews some of the nanoindentation research that has been done on teeth and discusses the usefulness of this technique in studying the structure-property-function relationship at the micro and nanometer sc... This paper reviews some of the nanoindentation research that has been done on teeth and discusses the usefulness of this technique in studying the structure-property-function relationship at the micro and nanometer scale. In particular, examples on the use of nanoindentation technique in investigating the effects of cleansing and bleaching agents as well as drinks on the micro- and nanostructures and mechanical properties of teeth are highlighted. Although nanoindentation on teeth is a relatively new area of research, it provides an excellent way of probing and relating the structures and mechanical properties of teeth at the submicron and nanometer scales that were previously not possible but which can now greatly benefit dental research. For example, a nanoindenter with a high resolution imaging capability can help to elucidate the mechanisms with which certain diseases can damage and compromise the structural integrity of teeth at the micro- and nanometer scale. With this information, clinicians and researchers can then work towards how best to tackle these problems or even preventing them. 展开更多
关键词 纳米机械性 纳米结构 微结构 生物材料
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氧化镓晶体不同晶面的纳米力学性能 被引量:3
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作者 周海 宋放 +1 位作者 韦嘉辉 李永康 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期135-139,共5页
为了分析易解理的脆性氧化镓晶体的精密加工过程中材料去除机理,采用金刚石压头、G200型纳米压痕仪,分别对氧化镓晶体的(100)和(010)2个主要晶面的纳米力学性能进行了试验研究。纳米压痕试验发现:2个晶面都有"pop-in"现象,首... 为了分析易解理的脆性氧化镓晶体的精密加工过程中材料去除机理,采用金刚石压头、G200型纳米压痕仪,分别对氧化镓晶体的(100)和(010)2个主要晶面的纳米力学性能进行了试验研究。纳米压痕试验发现:2个晶面都有"pop-in"现象,首次出现pop-in的载荷分别为:4.31 m N和5.42 m N。通过变载荷纳米划痕试验和VK-X110激光显微系统观测,发现2个晶面都有"pile-up"现象,刻划过程中期均出现了塑性域加工特征,(100)和(010)晶面的塑性域加工切削深度范围分别是96.5~576.8 nm和84.6~421.6 nm。 展开更多
关键词 氧化镓晶体 纳米压痕 纳米划痕 力学性能 塑性域加工
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Microstructure to thermomagnetic and mechanical properties relationship in Gd75Ge15Si5Pr5 alloy
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作者 M.Hasiak A.Laszcz 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第11期1213-1217,共5页
The relationship between topography,thermo magnetic and mechanical properties in the as-cast Gd75Ge15Si5Pr5 alloy was studied.Atomic force microscopy investigations accompanied by micrograph analysis confirm dual phas... The relationship between topography,thermo magnetic and mechanical properties in the as-cast Gd75Ge15Si5Pr5 alloy was studied.Atomic force microscopy investigations accompanied by micrograph analysis confirm dual phase nature(observed as dark and bright phase)of the investigated material.The mechanical properties studies performed with respect to the Oliver-Pharr procedure show that the average instrumental hardness,Young’s modulus and elastic deformation energy to total energy ratio equal 905 HV and 596 HV,131 and 91 GPa,40%and 45%for the dark and bright phase,respectively.The Curie point defined as inflection point on the magnetization versus temperature curve M(T)recorded in zero-field cooled mode equals 283 K.From the law of approach to magnetic saturation the temperature dependence of effective anisotropy constant Keff was calculated in ferromagnetic region.It is also stated that the minimum observed on thermomagnetic M(T)characteristic at 100 K is associated with Keff(T)dependence. 展开更多
关键词 Thermomagnetic properties nanomechanical properties Magnetocrystalline ANISOTROPY GdGeSi ALLOYS CURIE point RARE earths
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低碳结构钢的氢脆行为研究 被引量:1
11
作者 闫光龙 罗刚 +2 位作者 黄蔚莉 符利兵 郭克星(编译) 《焊管》 2023年第3期53-58,共6页
采用宏观、微观、纳米等手段,开展低碳钢在酸性环境中氢诱导作用对其力学性能影响进行研究。从研究结果可以看出,氢浓度和腐蚀扩展速率存在一定关系,低碳钢暴露于富氢酸性环境28天后,体积弹性模量显著降低。通过微观结构分析,发现氢渗... 采用宏观、微观、纳米等手段,开展低碳钢在酸性环境中氢诱导作用对其力学性能影响进行研究。从研究结果可以看出,氢浓度和腐蚀扩展速率存在一定关系,低碳钢暴露于富氢酸性环境28天后,体积弹性模量显著降低。通过微观结构分析,发现氢渗透引起的大晶粒的变形、裂纹和氢鼓包是性能下降的主要原因。此外,通过在不同时间对试样的不同区域进行纳米压痕,确定了氢对晶粒纳米弹性和纳米硬度性能的影响。在宏观、微观和纳米层面上对受到氢损伤钢的力学性能的进一步研究,将对低碳结构钢的维护和使用寿命预测提供一种新途径。 展开更多
关键词 低碳结构钢 氢脆 弹性模量 纳米力学性能
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磁控溅射制备钽铬非晶态合金涂层及其性能研究 被引量:2
12
作者 李彩燕 郭策安 +2 位作者 柳泉 王蕴欢 赵朗 《沈阳理工大学学报》 CAS 2022年第2期31-36,共6页
以Ta和Cr分别作为射频和直流磁控溅射靶材,采用双靶共溅射方式在炮钢PCrNi3MoVA表面制备Ta含量(原子百分数)分别为50%、60%、70%的Ta-Cr非晶态合金涂层。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)/能谱仪(EDS)、纳米压痕仪等表征Ta-C... 以Ta和Cr分别作为射频和直流磁控溅射靶材,采用双靶共溅射方式在炮钢PCrNi3MoVA表面制备Ta含量(原子百分数)分别为50%、60%、70%的Ta-Cr非晶态合金涂层。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)/能谱仪(EDS)、纳米压痕仪等表征Ta-Cr涂层的物相组成、表观形貌、化学成分和力学性能;采用极化曲线测量方法评价Ta-Cr涂层的耐蚀性。结果表明:调控双靶的溅射功率可改变Ta在涂层中的含量;Ta-Cr涂层因其晶化温度高而易形成由非晶态相与Cr晶相组成的两相组织;随着Ta含量降低,Ta-Cr涂层的硬度、弹性模量与韧性均升高,Ta_(50)Cr_(50)涂层的硬度和弹性模量最高,分别为14.2GPa和205.2GPa;不同Ta含量的Ta-Cr涂层均具有较低的自腐蚀电流密度(J_(corr)),Ta_(60)Cr_(40)的J_(corr)仅为0.588μA/cm^(2),耐蚀性最佳。 展开更多
关键词 磁控溅射 钽-铬合金 非晶态涂层 纳米力学性能 极化曲线
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Nanomechanical Properties of Molecular Deposition Film
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作者 兰惠清 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2005年第3期20-22,共3页
Two nanomechanical properties of the moleculor deposition ( MD ) film deposited on the Au substrate were studied. The first is its nanotribological property investigated by an atomic force microscope, which indicate... Two nanomechanical properties of the moleculor deposition ( MD ) film deposited on the Au substrate were studied. The first is its nanotribological property investigated by an atomic force microscope, which indicates that the deposition of the MD film could reduce the frictional force. The second is its nanoindent property studied by a nano-indenter. The results show that, after the MD film is deposited on the Au substrate , the elastic modulus, hardness and load decreased all, moreover, the elastic deformation increased and the plastic deformation decreased, which indicates that the MD film can improve the nanomechanical properties of the Au substrate. 展开更多
关键词 molecular deposition film atomic force miroscope nanomechanical properties nanoindent
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磁控溅射制备BCN薄膜纳米力学和摩擦磨损行为的研究 被引量:1
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作者 徐淑艳 马欣新 孙明仁 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期520-524,共5页
利用直流磁控溅射技术制备三元BCN薄膜,通过改变N2/Ar流量比(0.0~0.3)得到不同含氮量的薄膜.采用X射线光电子能谱仪和傅立叶红外光谱仪分析薄膜的成分和结构,采用纳米压入仪分析薄膜的纳米力学性能和纳米摩擦磨损特性,分别采... 利用直流磁控溅射技术制备三元BCN薄膜,通过改变N2/Ar流量比(0.0~0.3)得到不同含氮量的薄膜.采用X射线光电子能谱仪和傅立叶红外光谱仪分析薄膜的成分和结构,采用纳米压入仪分析薄膜的纳米力学性能和纳米摩擦磨损特性,分别采用连续刚度测量法和横向力测量法测试薄膜的硬度和划痕行为.结果表明:薄膜中氮含量随N2/Ar流量比增加而增大并趋于稳定;反应气体中的氮优先与硼结合生成B—N键,当N2/Ar流量比超过一定值后,部分氮与碳结合生成C=N键;薄膜的纳米硬度和弹性模量随薄膜中氮含量的增加而下降;BCN薄膜的划痕深度与薄膜的结构密切相关,而摩擦系数受薄膜结构的影响不明显;在相同载荷下薄膜的划痕深度随薄膜中氮含量增加而增大;对于同一试样,薄膜在未破裂之前摩擦系数基本保持在0.10左右,薄膜破裂后摩擦系数迅速增至0.46. 展开更多
关键词 BCN薄膜 组织结构 纳米力学性能 纳米摩擦磨损性能
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基于微观形貌及纳观力学性能的PVA纤维沥青复合加强机理研究
15
作者 曾赟 孙凤 +1 位作者 郑嘉 赵阳 《公路》 北大核心 2023年第6期343-352,共10页
为了揭示PVA纤维复合加强沥青及沥青混合料性能机理,采用原子力显微镜对单丝PVA纤维作用区域下的沥青及不同掺量下的PVA纤维沥青胶浆进行扫描观察,通过表面形貌变化、表面粗糙度、纳观黏附力、四组分变化以及模量等指标对PVA纤维与沥青... 为了揭示PVA纤维复合加强沥青及沥青混合料性能机理,采用原子力显微镜对单丝PVA纤维作用区域下的沥青及不同掺量下的PVA纤维沥青胶浆进行扫描观察,通过表面形貌变化、表面粗糙度、纳观黏附力、四组分变化以及模量等指标对PVA纤维与沥青的相互作用进行评价。结果表明,单丝PVA纤维作用下的沥青区域表面形貌更加崎岖,黏附力和模量代表值提高明显,相较于不同掺量下复合的PVA纤维沥青胶浆,其表面“蜂窝状”结构逐步减小,表面形貌由“山峦叠嶂”状态朝着“丘陵起伏”状态转变。单丝纤维与沥青作用的微单元下,纤维与沥青相互吸持,这种吸持在局部引起了沥青四组分变化,进而在数以万计的纤维作用下,总体复合提升沥青力学性能。 展开更多
关键词 沥青混合料 聚乙烯醇(PVA)纤维 原子力显微镜 纳观力学性能
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基于原子力显微镜的溶液环境下单个天然状态病毒颗粒多参数成像及纳米力学特性分析
16
作者 杨艳琪 冯雅琦 +1 位作者 魏佳佳 李密 《生物化学与生物物理进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2023年第7期1728-1741,共14页
目的研究单个病毒颗粒的行为特性对于揭示调控病毒生命周期的内在机制、发展新型抗病毒治疗方法具有重要基础意义。原子力显微镜(AFM)的出现为高分辨率探测单个病毒颗粒的结构和力学特性提供了新的强大工具,极大地促进了物理病毒学的发... 目的研究单个病毒颗粒的行为特性对于揭示调控病毒生命周期的内在机制、发展新型抗病毒治疗方法具有重要基础意义。原子力显微镜(AFM)的出现为高分辨率探测单个病毒颗粒的结构和力学特性提供了新的强大工具,极大地促进了物理病毒学的发展。然而,目前人们对于力学特性在病毒生命活动过程中调控作用的认知仍然很不足,特别是利用多参数AFM成像技术对病毒颗粒开展的研究还不多见。本文结合AFM多参数成像技术和压痕实验技术研究了溶液环境下化学刺激诱导的单个天然状态病毒颗粒结构及力学特性动态变化。方法通过在盖玻片基底表面覆盖一层多聚赖氨酸以将慢病毒颗粒吸附到基底,随后利用AFM直接在溶液环境下对天然状态的单个病毒颗粒进行探测。基于AFM峰值力轻敲(PFT)多参数成像模式,同时获取单个病毒颗粒的形貌结构及力学特性图。在AFM形貌图导引下控制AFM探针移动至单个病毒颗粒中央部位进行压痕实验以测量病毒力学特性。利用75%酒精溶液对病毒颗粒进行处理后,对病毒颗粒的形貌结构及力学特性变化情况进行观测。结果利用AFM在溶液环境下可对单个病毒颗粒的形貌及力学特性进行高质量成像表征,实验结果显示病毒颗粒在空气中和溶液中分别呈现不同的黏附特性和弹性特性。经过酒精处理后,病毒颗粒形状变得不规则,且病毒颗粒的杨氏模量显著增加,形变能力显著减弱。结论本文结果为研究溶液环境下单个天然状态病毒颗粒的结构和纳米力学特性提供了新的方法,对于病毒学研究具有广泛的基础意义。 展开更多
关键词 原子力显微镜 病毒颗粒 多参数AFM成像 纳米力学特性 力曲线 杨氏模量
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基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术
17
作者 耿俊媛 张号 +2 位作者 孟祥和 谢晖 赵新 《中国科学:技术科学》 EI CSCD 北大核心 2024年第12期2221-2254,共34页
三维微纳电子器件因其结构紧凑、功能密度高等特点,逐渐成为主流的半导体元件形式,实现三维微纳表面多参数量化分析是控制三维器件功能质量的关键.原子力显微镜具备高分辨率力反馈成像能力,是实现微纳表面形貌、电学和力学特性同步检测... 三维微纳电子器件因其结构紧凑、功能密度高等特点,逐渐成为主流的半导体元件形式,实现三维微纳表面多参数量化分析是控制三维器件功能质量的关键.原子力显微镜具备高分辨率力反馈成像能力,是实现微纳表面形貌、电学和力学特性同步检测的重要工具.本文综述了基于原子力显微镜的三维表面多参数检测技术,首先介绍了原子力显微镜微纳表面形貌、电势和力学特性检测原理;随后归纳了近年来基于原子力显微镜的三维表面形貌测量方法,讨论了各类三维表面形貌检测技术的优缺点,并总结了当下已开发的三维表面电势表征方法和三维表面纳米力学特性表征方法,分析了三维表面电学与力学特性测量的必要性.最后,对三维表面多参数检测技术的发展方向及其所面临的挑战进行了展望和简要概括.本文所概述的原子力显微镜三维表面多参数检测方法将为推动三维微纳电子器件功能机理问题研究提供强大的技术支持. 展开更多
关键词 三维微纳电子器件 原子力显微镜 三维表面形貌 三维表面电势 三维表面纳米力学特性
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