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国外光学薄膜的应用和真空镀膜工艺 被引量：16
1
作者 宋继鑫 《光学技术》 CAS CSCD 1994年第1期32-38,共7页
本文概述了国外光学薄膜的典型应用和光学薄膜制造工艺的发展，着重阐述了国外的现代真空镀膜工艺。
关键词 光学薄膜 镀膜工艺 真空镀膜
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Ti、Mo、W、Cr及其合金镀层与超硬磨料之间结合性能的研究 被引量：33
2
作者 臧建兵 王艳辉 王明智 《金刚石与磨料磨具工程》 EI CAS 1997年第2期6-9,共4页
本文在研究金属与超硬磨料之间作用的基础上，讨论了实现镀层与磨料形成强力结合的条件，为高性能超硬工具的制造提供了理论和实践依据。
关键词 超硬磨料 结合强度 合金镀层 金属 工具 真空镀膜 PVD CVD
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新型可印刷FED场致发射显示器的研制 被引量：30
3
作者 郭太良 林志贤 +13 位作者 吴新坤 林建光 黄振武 林燕飞 郭明勇 林金堂 赵博选 林君坦 周小红 胡利勤 何国金 廖志君 张芳 朱佳 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第F01期404-408,共5页
介绍了国内外平板显示器,特别是场致发射显示器(FED)的市场预测和主要研究单位以及FED显示器的基本制作工艺流程,包括阴极激活和真空镀膜技术,论述了阴极激活技术及其对提高FED阴极发射能力的作用。采用丝网印刷、真空镀膜和阴极激活技... 介绍了国内外平板显示器,特别是场致发射显示器(FED)的市场预测和主要研究单位以及FED显示器的基本制作工艺流程,包括阴极激活和真空镀膜技术,论述了阴极激活技术及其对提高FED阴极发射能力的作用。采用丝网印刷、真空镀膜和阴极激活技术与低逸出功材料结合增强发射场强的方法研制出能显示视频图像的20英寸(50.8cm)单色FED显示器样机,其亮度已达300cd/m2,对比度已达400。并讨论了FED显示器今后可能的发展方向。 展开更多
关键词 场致发射显示器 阴极激活 电子发射 真空镀膜 丝网印刷
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真空镀膜技术的最新进展 被引量：13
4
作者 姜燮昌 《真空》 CAS 北大核心 1999年第5期1-7,共7页
本文介绍了旋转磁控溅射和电弧离子镀技术的最新进展。论述了旋转圆柱磁控溅射靶ＣＭａｇ、孪生磁控溅射靶Ｔｗ ｉｎＭａｇ 和旋转磁控柱状弧源的特性及其应用。本文还对Ｌｏｗ Ｅ膜和ＩＴＯ膜的制备工艺和设备进行了分析研究。
关键词 真空镀膜 柱状弧源 旋转磁控溅射 电弧离子镀
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气体放电实验与帕邢定律 被引量：18
5
作者 侯清润 茅卫红 陈宜保 《物理实验》 北大核心 2004年第1期3-4,8,共3页
利用真空镀膜机的离子轰击装置研究了气体放电电压与气体压力的关系 .在保持气体放电电流不变的情况下 ,气体放电电压是气体压力的函数 .改变气体压力时 ,放电电压有一极小值 .
关键词 帕邢定律 气体放电 真空镀膜 离子轰击 放电电压 气体压力 真空电子学
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多波段激光滤光膜的研制 被引量：16
6
作者 贺才美 付秀华 +1 位作者 孙钰林 李美萱 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1550-1554,共5页
针对光学仪器对多光谱光轴测试的特殊要求,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过对材料的光学特性、膜系设计和监控厚度误差的分析,优化工艺参数,在多光谱ZnS基底上,成功镀制多波段激光滤光膜,实现了多波段光谱的分束... 针对光学仪器对多光谱光轴测试的特殊要求,采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过对材料的光学特性、膜系设计和监控厚度误差的分析,优化工艺参数,在多光谱ZnS基底上,成功镀制多波段激光滤光膜,实现了多波段光谱的分束。所镀膜层在30。角入射条件下,可见400～700 nm波长范围内平均透射率高于90%,1064 nm和1 540 nm波长处的透射率都低于5%,在红外波长10.6μm透射率高于92%,并且解决了膜层牢固性问题,能够承受激光光源的照射和恶劣的环境测试,完全满足光学仪器的使用要求。 展开更多
关键词 薄膜 激光滤光膜 真空镀膜 离子辅助沉积 光学特性
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钕铁硼永磁材料腐蚀机理及防护研究进展 被引量：18
7
作者 邓文宇 王朋阳 +7 位作者 齐丽君 段永利 孙宝玉 万亿 张昕洁 谢元华 杜广煜 刘坤 《真空》 CAS 2020年第5期45-51,共7页
钕铁硼作为第三代稀土永磁材料,在世界磁性材料领域占据着举足轻重的地位,在国防、航空航天、信息通讯、汽车、能源、节能环保、医疗器械等领域具有广泛应用,但钕铁硼永磁材料易被腐蚀的特点限制了其应用的进一步拓展。本文论述了钕铁... 钕铁硼作为第三代稀土永磁材料,在世界磁性材料领域占据着举足轻重的地位,在国防、航空航天、信息通讯、汽车、能源、节能环保、医疗器械等领域具有广泛应用,但钕铁硼永磁材料易被腐蚀的特点限制了其应用的进一步拓展。本文论述了钕铁硼永磁材料的物相组成、腐蚀过程和腐蚀产物,阐述了钕铁硼永磁材料高温氧化、湿热吸氢和电化学腐蚀等腐蚀特性。本文还从提升自身耐腐蚀性和表面涂层防护两方面总结了钕铁硼永磁材料腐蚀防护技术,重点阐述了电镀、化学镀、有机物涂层及物理气相沉积等技术的基本原理、研究进展和发展方向。钕铁硼腐蚀防护技术的研究是推动钕铁硼永磁材料应用领域扩展的关键。 展开更多
关键词 钕铁硼 腐蚀机理 防护技术 真空镀膜
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光学塑料真空镀膜附着力机理与工艺研究 被引量：14
8
作者 潘永强 卢进军 万菁昱 《应用光学》 CAS CSCD 2003年第3期32-34,共3页
　依据光学塑料的基本特性,研究光学塑料真空镀膜过程中附着力的有关问题。论述薄膜生长过程中影响薄膜附着力的各种因素,针对其相关因素作了具体的理论分析。在真空镀膜实验的基础上,提出了一种提高真空镀膜附着力的具体方法。
关键词 光学塑料 真空镀膜 附着力 薄膜生长 生长工艺 生长机理
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钢筋腐蚀光纤传感器的研究 被引量：11
9
作者 李学金 林文山 +1 位作者 范平 汤皎宁 《测控技术》 CSCD 2001年第8期10-11,13,共3页
将钢筋利用真空镀膜沉积在光纤的纤芯上 ,使之形成敏感光纤 ,从而制备了用于监测模拟混凝土结构钢筋腐蚀的光纤传感器 ,该方法基于光纤纤芯上的敏感膜能够将腐蚀信息传递给光纤内传导的光波 ,从而获取腐蚀信息 ,实现腐蚀监测。对光纤传... 将钢筋利用真空镀膜沉积在光纤的纤芯上 ,使之形成敏感光纤 ,从而制备了用于监测模拟混凝土结构钢筋腐蚀的光纤传感器 ,该方法基于光纤纤芯上的敏感膜能够将腐蚀信息传递给光纤内传导的光波 ,从而获取腐蚀信息 ,实现腐蚀监测。对光纤传感器上钢筋膜的腐蚀传感能力的研究 。 展开更多
关键词 光纤传感器 智能结构 钢筋腐蚀 真空镀膜
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高精度碳纤维反射器制造技术 被引量：16
10
作者 方芳 桂涛 《电子机械工程》 2012年第5期53-56,共4页
碳纤维复合材料制件在雷达产品中的应用越来越广,文中介绍了一种获得毫米波高精度反射器的先进工艺方案。首先设计研制高精度母模和碳纤维复合材料模具,然后以该高精度复合材料模具为基础,筛选高性能、成型工艺性好的碳纤维预浸料,通过... 碳纤维复合材料制件在雷达产品中的应用越来越广,文中介绍了一种获得毫米波高精度反射器的先进工艺方案。首先设计研制高精度母模和碳纤维复合材料模具,然后以该高精度复合材料模具为基础,筛选高性能、成型工艺性好的碳纤维预浸料,通过铺层设计、工艺参数优化等手段,采用热压罐法成型出高精度的碳纤维反射器,之后利用先进的真空镀膜金属化方法对反射器进行金属化。最后获得的Φ400 mm反射器的型面精度为0.039 mm,达到了毫米波的精度要求,其重量仅0.9 kg,较原铝反射器减重80%以上。 展开更多
关键词 碳纤维复合材料 预浸料 铺覆 固化 真空镀膜
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光学薄膜厚度修正挡板的设计 被引量：11
11
作者 林坚 林永钟 廖群峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 1999年第9期841-845,共5页
本文论述一种用于镀制光学薄膜的厚度修正挡板新的设计方法我们通过应用截流蒸气云静止挡板技术和采用平面静止挡板透视投影法来设计光学薄膜厚度修正挡板最后给出设计和实验的结果
关键词 光学薄膜 厚度修正挡板 透视投影 真空镀膜
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真空镀膜与“502”熏显法显现非渗透性客体上汗潜手印的比较研究 被引量：14
12
作者 刘丹 常柏年 李孝君 《刑事技术》 2011年第2期3-7,共5页
目的探索真空镀膜手印显现技术,提高现场潜在手印显现率。方法通过真空镀膜与"502"熏显法显现常见非渗透性客体上汗潜手印的对比实验,比较二者显现效果优劣。结果真空镀膜法对于显现常见非渗透性客体上的新鲜和陈旧汗潜手印... 目的探索真空镀膜手印显现技术,提高现场潜在手印显现率。方法通过真空镀膜与"502"熏显法显现常见非渗透性客体上汗潜手印的对比实验,比较二者显现效果优劣。结果真空镀膜法对于显现常见非渗透性客体上的新鲜和陈旧汗潜手印都有着明显的优势。结论真空镀膜是一种更为灵敏的非渗透性客体手印显现方法,是现有手印显现方法的重要补充。 展开更多
关键词 真空镀膜 “502”熏显 非渗透性客体 指纹显现
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浅谈低辐射玻璃 被引量：6
13
作者 龚建华 张浙军 《真空与低温》 2001年第2期110-113,共4页
为了论述低辐射玻璃的辐射特征，简略阐述了低辐射膜层的物理基础和膜系结构， 着重从低辐射膜的制备工艺来看待国产相应设备在气氛隔离方面的不足，探讨了解决这一问 题的可行方法。
关键词 真空镀膜 镀膜工艺 镀膜设备 镀膜玻璃 制备工艺 低辐射玻璃 气氛隔离 辐射膜
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半球形基底镀膜膜厚均匀性理论分析 被引量：13
14
作者 吴伟 王济洲 +2 位作者 熊玉卿 王多书 冯煜东 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期320-324,共5页
对特殊的非平面基片-半球表面上镀制薄膜的膜厚均匀性进行了理论分析研究。首先,推导了半球面静止时球面各点的膜厚方程以及此时半球面能够镀膜的区域。然后推算了半球表面沿通过球心竖直方向的轴转动后球面各位置处的膜厚方程,另外当... 对特殊的非平面基片-半球表面上镀制薄膜的膜厚均匀性进行了理论分析研究。首先,推导了半球面静止时球面各点的膜厚方程以及此时半球面能够镀膜的区域。然后推算了半球表面沿通过球心竖直方向的轴转动后球面各位置处的膜厚方程,另外当蒸发源与球心的水平距离小于半球面半径时,存在一定区域无法镀膜,对该区域进行了理论计算。最后通过计算相对膜厚分析了半球表面膜层厚度分布情况。选择合适的蒸发源与基底间的几何配置可获得小范围内相对较为均匀的镀膜区域。该研究工作对半球面这种复杂的非平面基片上镀膜膜厚均匀性研究工作具有理论指导意义,同时对改善此种表面上的膜厚分布研究提供了相关的理论依据。 展开更多
关键词 膜厚均匀性 半球形基底 真空镀膜 理论分析
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圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理 被引量：7
15
作者 孙东明 《昆明理工大学学报（理工版）》 2000年第2期54-57,共4页
介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法 .并对如何发挥圆柱形。
关键词 磁控溅射 靶 真空镀膜
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多波段红外增透与保护膜技术的研究 被引量：8
16
作者 付秀华 姜会林 +1 位作者 付新华 王崇娥 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1183-1185,共3页
采用电子束真空镀膜和离子辅助沉积的方法，在口径φ150mm，厚度6mm．且具有较大曲率的多光谱ZnS导流罩上，镀制红外增透保护膜。所镀膜层在3～5μm平均透过率高于90％，在8～10μm平均透过率高于92％，并且能够承受恶劣的环境测试。
关键词 工程通用技术 红外增透与保护膜 真空镀膜 离子辅助沉积
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宽带增透膜反射光谱的理论与实测偏差的修正 被引量：8
17
作者 缪毅强 毛书正 罗琦琨 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第6期429-432,共4页
探讨用折射率补偿即改变厚度的方法 ,并辅助于计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差 ,取得了良好效果 。
关键词 膜系结构 反射率 真空镀膜 增透膜 折射率补偿 反射光谱 计算机修正 光学透镜 光路设计
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从欧洲真空镀膜会议分析光学薄膜及其技术的研究和发展 被引量：2
18
作者 黄心耕 刘江 王素英 《光学仪器》 1999年第4期238-242,共5页
简要介绍了９６ 年欧洲真空镀膜会议概况，结合９４ 年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容，对欧洲各国在光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍；并介绍了广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软Ｘ射线多层... 简要介绍了９６ 年欧洲真空镀膜会议概况，结合９４ 年第一届欧洲真空镀膜专题讨论会的内容，对欧洲各国在光学薄膜和薄膜技术的研究动向作了介绍；并介绍了广泛应用于激光、红外及航天等高技术中的类金刚石和金刚石薄膜、软Ｘ射线多层膜的研究成果。 展开更多
关键词 光学薄膜 薄膜技术 类金刚石 软X射线 真空镀膜
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可见与红外双波段宽带增透膜的研制 被引量：10
19
作者 贺才美 付秀华 +1 位作者 张家斌 李珊 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第10期2929-2933,共5页
根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上镀制增透膜,要求薄膜在可见与近红外波段400～1000nm及远红外波段7～11μm的平均透射率均大于90%。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF3作为高低折射率材料... 根据军用光学仪器的使用要求,在多光谱ZnS基底上镀制增透膜,要求薄膜在可见与近红外波段400～1000nm及远红外波段7～11μm的平均透射率均大于90%。采用电子束真空镀膜的方法并加以离子辅助沉积系统,通过选择ZnS和YbF3作为高低折射率材料,利用最新OptiLayer软件三大模块的功能辅助,调整镀膜工艺参数,改进监控方法,减少膜厚控制误差,在多光谱ZnS基底上成功镀制符合使用要求的增透膜。所镀膜层在可见与近红外波段400～1000nm的平均透射率大于91%,远红外波段7～11μm的平均透射率大于90%,能够承受恶劣的环境测试,完全满足军用光学仪器的使用要求。 展开更多
关键词 光学薄膜 双波段增透膜 真空镀膜 离子辅助沉积
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