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《微纳电子技术》是中文核心期刊,是国家新闻出版局批准公开发行、中国电子科技集团公司主管、中国电子科技集团公司第十三研究所主办的科技期刊。 《微纳电子技术》的前身是《半导体情报》,创刊于1964年。2002年为了顺应国内外纳米科技发展的趋势,《半导体情报》完成了其历史使命,更名为《微纳电子技术》,是中国最早公开出版发行的涉足纳米科学与技术领域的杂志,对国内纳米科学与技术、MEMS技术领域具有一定的影响。其内容包括:纳米电子学、纳米电子器件、纳米材料、纳米测量技术与设备、MEMS器件与技术、纳米技术应用以及国内外纳米材料与器件的最新进展报道,兼顾微米电子领域的最新研究成果和进展。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备。