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工模具PCVD表面陶瓷化成套工业技术
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摘要
脉冲直流PCVD工模具表面强化的技术原理是:在专用的PCVD设备中,在一定的温度、气压条件下通入一定比例的工作气体,利用等离子场的能量,促成化学反应,在工模具表面形成耐热、超硬强化层。研制出的专用PCVD设备采用独特设计的内热式加热系统,真空室内安装发热器件,比外热式显著提高了热效率及加热速率,逆变式脉冲直流电源频率范围大、负脉冲深度可调。
出处
《中国科技成果》
2005年第9期60-60,共1页
China Science and Technology Achievements
关键词
PCVD
工模具
表面陶瓷化
工业技术
CVD设备
技术原理
表面强化
脉冲直流
工作气体
等离子场
化学反应
加热系统
加热速率
频率范围
直流电源
强化层
内热式
热效率
外热式
逆变式
专用
超硬
分类号
TG76 [金属学及工艺—刀具与模具]
O484.1 [理学—固体物理]
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